Vakuum-Plasma-Hosteinheit(100) |
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Ausrüstungsgröße |
L 1000×B 900×H 1750mm |
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Gewicht |
500Kg |
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Bedarfsgerechte Stromversorgung |
AC380 V, 50/60 Hz, 5 Leitungen, 25 A (total offener Typ über C) |
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Spezifikation des Plasmagenerators |
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Werkzeuge |
Hochfrequenz |
Zwischenfrequenz |
0 ~ 600W |
0-1000W |
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Versorgungsfrequenz |
13.56MHz |
40 K Hz |
Vakuumsystem |
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Vakuumpumpe |
Überflug-Kreiselpumpe (Ölpumpe): 60 m3/h |
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Vakuumleitung |
Komplette Edelstahlleitung sowie hochfester Vakuumbalg |
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Materialqualität |
Alufer |
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Dicke |
25 mm |
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Dichtheit |
Schweißdichtung in Militärqualität |
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Innenmaße des Hohlraums |
450*450*500mm (Breite*Höhe*Tiefe) |
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Effektive Größe der elektrischen Platte |
322*351mm (Breite *Tiefe) |
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Verfügbarer Platzabstand |
20 mm |
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Galvanikanordnung |
Horizontale Elektrodenplatte |
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Tabletts |
Standard-Set, Material optional (Aluminium, Stahldrahtgeflecht) |
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Arbeitsraum |
8 Schicht |
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Prozessgas |
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Durchflussbereich |
0 bis 300 SCCM |
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Prozessgas-Gasweg |
Standardmäßig mit zwei Wegen, kann individuell angepasst werden. Die Prozessgasleitung besteht aus Ferroflon |
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Navar |
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SC |
PLC |
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interaktiver Modus |
7-Zoll-Touchscreen |
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