Vakuum-Plasma-Hosteinheit(150) |
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Ausrüstungsgröße |
L 1100×B 940×H 1755mm |
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Gewicht |
600Kg |
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Bedarfsgerechte Stromversorgung |
AC380 V, 50/60 Hz, 5 Leitungen, 25 A (total offener Typ über C) |
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Spezifikation des Plasmagenerators |
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Werkzeuge |
Hochfrequenz |
Zwischenfrequenz |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
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Versorgungsfrequenz |
13.56MHz |
40 K Hz |
Vakuumsystem |
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Vakuumpumpe |
Sprungmonopolpumpe VSV 65 + Bowse Lots Pumpe BSJ 70 |
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Vakuumleitung |
Komplette Edelstahlleitung sowie hochfester Vakuumbalg |
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Materialqualität |
Alufer |
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Dicke |
25 mm |
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Dichtheit |
Schweißdichtung in Militärqualität |
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Innenmaße des Hohlraums |
500*500*600mm (Breite*Höhe*Tiefe) |
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Effektive Größe der elektrischen Platte |
372 (B) x 451 (T) mm |
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Verfügbarer Platzabstand |
24 mm |
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Galvanikanordnung |
Horizontale Elektrodenplatte |
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Tabletts |
Standard-Set, Material optional (Aluminium, Stahldrahtgeflecht) |
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Arbeitsraum |
8 Schicht |
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Prozessgas |
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Durchflussbereich |
0 bis 300 SCCM |
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Prozessgas-Gasweg |
Standardmäßig mit zwei Wegen, kann individuell angepasst werden. Die Prozessgasleitung besteht aus Ferroflon |
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Bar Systeme |
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SC |
PC-Steuerung |
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interaktiver Modus |
Windows-Schnittstelle |
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