Vakuumplasma-Hauptgerät (150) |
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Gerätgröße |
L 1100×B 940×H 1755mm |
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Gewicht |
600kg |
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Energieversorgung |
AC380V, 50/60Hz, 5-polig, 25A (Gesamtöffnungstyp über C) |
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Plasmagenerator-Spezifikation |
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Leistung |
Funkfrequenz |
Mittel-frequenz |
0~1000W |
0-2000w |
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Versorgungsfrequenz |
13,56 MHz |
40 K Hz |
Vakuumsystem |
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Vakuumpumpe |
Leap-Monopol-Pumpe VSV 65 + Bowse-Lots-Pumpe BSJ 70 |
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Vakuumpipeline |
Alles aus Edelstahl, inklusive hochwertiger Vakuumbellows |
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Materialqualität |
alufer |
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Dicke |
25mm |
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Dichte |
Militärisches Schweißversiegelung |
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Innendimensionen der Kammer |
500*500*600mm (Breite * Höhe * Tiefe) |
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Effektive Größe der Elektrodenplatte |
372(W) X 451(T)mm |
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Verfügbares Platzierungsfeld |
24 mm |
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Elektroplattieranordnung |
Horizontale Elektrodenplatte |
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Tabletts |
Standardset, Material optional (Aluminium, Stahlwiremesh) |
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Arbeitsfläche |
8 Schichten |
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Prozessgas |
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Strömungsbereich |
0~300SCCM |
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Prozessgas Gasroute |
Standardmäßig mit zwei Wegen, kann angepasst werden. Die Prozessgasleitung besteht aus Ferroflon |
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Kontrollsystem |
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SC |
PC-Steuerung |
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Interaktiver Modus |
Windows-Schnittstelle |
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