Vakuum-Plasma-Host(200) |
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Ausrüstungsgröße |
1050×1700×1050mm (Breite, Höhe und Tiefe) |
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Gewicht |
800Kg |
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Kraft verlangen |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
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Spezifikationen des Plasmagenerators |
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Netzstrom |
Hochfrequenz |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
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Stromfrequenz |
13.56MHz |
40 kHz |
Vakuumsystem |
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Vakuumpumpe |
Feiyue Unipolarpumpe VSV100+Beide Rootspumpen BSJ70 |
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Vakuumleitung |
Alle Rohre aus Edelstahl und hochfeste Vakuumbälge |
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Ihres Materials |
Aluminiumlegierung |
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Dicke |
25 mm |
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Dichtheit |
Verschweißte Dichtung in Militärqualität |
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Innenmaße des Hohlraums |
600 × 600 × 600 mm (B × H × T) |
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Effektive Größe der Elektrodenplatte |
472 x 451 mm (B x T) |
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Platz verfügbar |
35 mm |
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Elektrodenplattenlayout |
Horizontale Elektrodenplatte |
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Arbeitsablage |
Ein Set ist Standard und das Material ist optional (Aluminium, Stahlgeflecht) |
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Arbeitsplatz |
8 Etagen |
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Prozessgas |
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Durchflussbereich |
0 bis 300 SCCM |
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Prozessgaskreislauf |
Ausgestattet mit O2, Ar, N2 Dreiwegegas |
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Bar Systeme |
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Systemkontrolle |
PC-Steuerung |
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interaktiver Modus |
Windows-Oberfläche |
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