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Plasma-Oberflächenbehandlung
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  • MD-SPV200 Vakuum-Plasma-Oberflächenbehandlungsmaschine Plasma-Reinigungsreiniger-Prozessor
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MD-SPV200 Vakuum-Plasma-Oberflächenbehandlungsmaschine Plasma-Reinigungsreiniger-Prozessor Deutschland

Beschreibung
MD-SPV200 Vakuum-Plasma-Oberflächenbehandlungsgerät
MD-SPV200 Vakuum-Plasma-Oberflächenbehandlungsmaschine Plasma-Reinigungsreiniger-Prozessordetails

Vorteile der Vakuum-Plasmareinigung

Die Plasmareinigung ist eine wichtige Methode zur Oberflächenmodifizierung von Materialien und wird in vielen Bereichen breit eingesetzt.
Und einige herkömmliche Reinigungsmethoden wie Ultraschallreinigung, UV-Reinigung usw. bieten die folgenden Vorteile:
(A)Niedrige Verarbeitungstemperatur
Die Verarbeitungstemperatur kann nur 80 °C – 50 °C betragen. Niedrige Verarbeitungstemperaturen stellen sicher, dass keine thermischen Effekte auf der Probenoberfläche auftreten.
(B)Keine Verschmutzung während des gesamten Prozesses
Der Plasmareiniger selbst ist ein sehr umweltfreundliches Gerät, das keinerlei Umweltverschmutzung verursacht und auch während des Behandlungsvorgangs keinerlei Schadstoffe freisetzt.
(C)Stabile Verarbeitungswirkung
Der Behandlungseffekt der Plasmareinigung ist sehr gleichmäßig und stabil und die Wirkung der Probenerhaltung ist auch nach einem langen Zeitraum gut.
(D)Kann Proben verschiedener Formen verarbeiten
Für komplex geformte Proben kann die Plasmareinigung die richtige Lösung sein.

MD-SPV200 Vakuum-Plasma-Oberflächenbehandlungsmaschine Plasma-Reinigungsreiniger-Prozessorfabrik
Teil der Probe
MD-SPV200 Vakuum-Plasma-Oberflächenbehandlungsmaschine Plasma-Reinigungsreiniger-Prozessorherstellung
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Normen
Vakuumplasma-Host (200)
Ausrüstungsgröße
1050×1700×1050mm (Breite, Höhe und Tiefe)
Gewicht
800Kg
Kraft verlangen
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A
Spezifikationen des Plasmagenerators
Netzstrom
Hochfrequenz
IF
0 ~ 1000W
0-2000W
Stromfrequenz
13.56MHz
40 kHz
Vakuumsystem
Vakuumpumpe
Feiyue Unipolarpumpe VSV100+Beide Rootspumpen BSJ70
Vakuumleitung
Alle Rohre aus Edelstahl und hochfeste Vakuumbälge
Ihres Materials
Aluminiumlegierung
Dicke
25 mm
Dichtheit
Verschweißte Dichtung in Militärqualität
Innenmaße des Hohlraums
600 × 600 × 600 mm (B × H × T)
Effektive Größe der Elektrodenplatte
472 x 451 mm (B x T)
Platz verfügbar
35 mm
Elektrodenplattenlayout
Horizontale Elektrodenplatte
Arbeitsablage
Ein Set ist Standard und das Material ist optional (Aluminium, Stahlgeflecht)
Arbeitsplatz
8 Etagen
Prozessgas
Durchflussbereich
0 bis 300 SCCM
Prozessgaskreislauf
Ausgestattet mit O2, Ar, N2 Dreiwegegas
Bar Systeme
Systemkontrolle
PC-Steuerung
interaktiver Modus
Windows-Oberfläche
Fabrik-Ansicht
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MD-SPV200 Vakuum-Plasma-Oberflächenbehandlungsmaschine Plasma-Reinigungsreiniger-Prozessor Lieferant
Anwendungen
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Verpackung & Lieferung
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Unternehmensprofil
Wir verfügen über 16 Jahre Erfahrung im Geräteverkauf. Wir können Ihnen eine Komplettlösung für Frontend- und Backend-Package-Line-Geräte für Halbleiter aus China anbieten!
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