Vakuumplasma-Host (200) | ||||
Ausrüstungsgröße | 1050×1700×1050mm (Breite, Höhe und Tiefe) | |||
Gewicht | 800Kg | |||
Kraft verlangen | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Spezifikationen des Plasmagenerators | ||||
Netzstrom | Hochfrequenz | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Stromfrequenz | 13.56MHz | 40 kHz | ||
Vakuumsystem | ||||
Vakuumpumpe | Feiyue Unipolarpumpe VSV100+Beide Rootspumpen BSJ70 | |||
Vakuumleitung | Alle Rohre aus Edelstahl und hochfeste Vakuumbälge | |||
Ihres Materials | Aluminiumlegierung | |||
Dicke | 25 mm | |||
Dichtheit | Verschweißte Dichtung in Militärqualität | |||
Innenmaße des Hohlraums | 600 × 600 × 600 mm (B × H × T) | |||
Effektive Größe der Elektrodenplatte | 472 x 451 mm (B x T) | |||
Platz verfügbar | 35 mm | |||
Elektrodenplattenlayout | Horizontale Elektrodenplatte | |||
Arbeitsablage | Ein Set ist Standard und das Material ist optional (Aluminium, Stahlgeflecht) | |||
Arbeitsplatz | 8 Etagen | |||
Prozessgas | ||||
Durchflussbereich | 0 bis 300 SCCM | |||
Prozessgaskreislauf | Ausgestattet mit O2, Ar, N2 Dreiwegegas | |||
Bar Systeme | ||||
Systemkontrolle | PC-Steuerung | |||
interaktiver Modus | Windows-Oberfläche |
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