Vakuum-Plasma-Host-Einheit (60)
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Ausrüstungsgröße
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L 950×B 900×H 1650mm
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Gewicht
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350Kg
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Bedarfsgerechte Stromversorgung
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AC380 V, 50/60 Hz, 5 Leitungen, 16 A (total offener Typ über C)
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Spezifikation des Plasmagenerators
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Werkzeuge
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Hochfrequenz
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Zwischenfrequenz
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0 ~ 600W
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0-1000W
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Versorgungsfrequenz
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13.56MHz
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40 K Hz
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Vakuumsystem
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Vakuumpumpe
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Zweistufige Rotationspumpe (Ölpumpe): 40m3/h
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Vakuumleitung
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Komplette Edelstahlleitung sowie hochfester Vakuumbalg
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Materialqualität
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Aluminiumlegierung (individuell anpassbarer Hohlraum aus Edelstahl)
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Dicke
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25 mm
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Dichtheit
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Schweißdichtung in Militärqualität
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Innenmaße des Hohlraums
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375*375*430mm (Breite*Höhe*Tiefe)
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Effektive Größe der elektrischen Platte
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247*281mm (Breite*Tiefe)
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Verfügbarer Platzabstand
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22 mm
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Galvanikanordnung
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Horizontales Layout, kann aktiv extrahiert werden
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Tabletts
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Standard-Set, Material optional (Aluminium, Stahldrahtgeflecht)
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Arbeitsraum
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6 Schicht
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Prozessgas
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Durchflussbereich
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0 bis 300 SCCM
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Prozessgas-Gasweg
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Standardmäßig mit zwei Wegen, kann individuell angepasst werden. Die Prozessgasleitung besteht aus Ferroflon
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Navar
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SC
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PLC
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interaktiver Modus
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7-Zoll-Touchscreen
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