Vakuumplasma-Hosteinheit (60) |
||||
Gerätgröße |
L 950×B 900×H 1650mm |
|||
gewicht |
350 kg |
|||
Energieversorgung |
AC380V, 50/60Hz, 5-polig, 16A (gesamt offener Typ über C) |
|||
Plasmagenerator-Spezifikation |
||||
leistung |
funkfrequenz |
mittel-frequenz |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
versorgungsfrequenz |
13,56 MHz |
40 K Hz |
||
Vakuumsystem |
||||
vakuumpumpe |
Zweistufige Drehkolbenpumpe (Ölpumpe): 40m³/h |
|||
vakuumpipeline |
Alles aus Edelstahl, inklusive hochwertiger Vakuumbellows |
|||
materialqualität |
Aluminiumlegierung (anpassbarer Edelstahlkammerkörper) |
|||
dicke |
25mm |
|||
dichte |
Militärisches Schweißversiegelung |
|||
Innendimensionen der Kammer |
375*375*430mm (Breite * Höhe * Tiefe) |
|||
Effektive Größe der Elektrodenplatte |
247*281mm (Breite * Tiefe) |
|||
Verfügbares Platzierungsfeld |
22mm |
|||
Elektroplattieranordnung |
Horizontales Layout, kann aktive Extraktion sein |
|||
tabletts |
Standardset, Material optional (Aluminium, Stahlwiremesh) |
|||
arbeitsfläche |
6 Schicht |
|||
prozessgas |
||||
Strömungsbereich |
0~300SCCM |
|||
Prozessgas Gasroute |
Standardmäßig mit zwei Wegen, kann angepasst werden. Die Prozessgasleitung besteht aus Ferroflon |
|||
navar |
||||
SC |
PLC |
|||
interaktiver Modus |
7-Zoll-Touchscreen |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved