Vakuum-Plasma-Host-Einheit (60) | ||||
Ausrüstungsgröße | L 950×B 900×H 1650mm | |||
Gewicht | 350Kg | |||
Bedarfsgerechte Stromversorgung | AC380 V, 50/60 Hz, 5 Leitungen, 16 A (total offener Typ über C) | |||
Spezifikation des Plasmagenerators | ||||
Werkzeuge | Hochfrequenz | Zwischenfrequenz | ||
0 ~ 600W | 0-1000W | |||
Versorgungsfrequenz | 13.56MHz | 40 K Hz | ||
Vakuumsystem | ||||
Vakuumpumpe | Zweistufige Rotationspumpe (Ölpumpe): 40m3/h | |||
Vakuumleitung | Komplette Edelstahlleitung sowie hochfester Vakuumbalg | |||
Materialqualität | Aluminiumlegierung (individuell anpassbarer Hohlraum aus Edelstahl) | |||
Dicke | 25 mm | |||
Dichtheit | Schweißdichtung in Militärqualität | |||
Innenmaße des Hohlraums | 375*375*430mm (Breite*Höhe*Tiefe) | |||
Effektive Größe der elektrischen Platte | 247*281mm (Breite*Tiefe) | |||
Verfügbarer Platzabstand | 22 mm | |||
Galvanikanordnung | Horizontales Layout, kann aktiv extrahiert werden | |||
Tabletts | Standard-Set, Material optional (Aluminium, Stahldrahtgeflecht) | |||
Arbeitsraum | 6 Schicht | |||
Prozessgas | ||||
Durchflussbereich | 0 bis 300 SCCM | |||
Prozessgas-Gasweg | Standardmäßig mit zwei Wegen, kann individuell angepasst werden. Die Prozessgasleitung besteht aus Ferroflon | |||
Navar | ||||
SC | PLC | |||
interaktiver Modus | 7-Zoll-Touchscreen |
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