MDHS-AL8 8" Vollautomatischer Einseitiger Lithografie-Maschine , China MDHS-AL8 8" Vollautomatischer Einseitiger Lithografie-Maschine Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeschreibung

MDHS-AL8 8" Vollautomatischer Einseitiger Lithografie-Maschine

1. Arbeitsmodus: Der Lade-Roboter lädt automatisch Wafer aus der A-B (wiederverwendbaren) Waferbox zur Vorpositionierung

arbeitsplatz, und durch die Einstellung der Kamera-Positionierungsscheibe und des automatischen Drehungssystems wird die Vorpositionierung der Scheibe erreicht; Der Lade-Roboter lädt dann die vorpositionierten Scheiben auf den Ausrichtungstisch. Durch computergestützte Bilderkennung und Einstellung des automatischen Ausrichtungssystems kann die automatische Ausrichtung der Grafiken auf dem Masken und den Scheiben erreicht werden. Es ist auch möglich, eine Belichtung ohne grafische Ausrichtung durchzuführen. Nach der automatischen Belichtung durch das Überbelichtungssystem platziert der Entlade-Roboter die Scheiben automatisch in die C-D (wiederverwendbar) Scheibenschachtel.
2. Belichtungsfläche: 160 × 160mm;
3. Ungleichmäßige Belichtungsintensität: ≤ 3%;
4. Belichtungsstärke: 0~≥ 40mw/cm2 einstellbar (Strahlwinkel 2 °);
5. UV-Strahlwinkel: ≤ 3 °;
6. Zentrale Wellenlänge des Ultraviolets: 365nm;
7. Lebensdauer der UV-Lichtquelle: ≥ 20000 Stunden;
8. Trennfähigkeit: 0~≥ 1000um einstellbar;
9. Ausrichtungsgenauigkeit: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Belichtungsgenauigkeit: Kontaktdosis ± 1 μ m. Nahbelichtungstrennung von 20 μ M Strahlwinkel 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Belichtungsmethoden: Hartkontakt, Weichkontakt und Nahbelichtung;
12. Belichtungsmodus: Sie können zwischen einmaliger Belichtung oder Offset-Belichtung wählen
13. Voreinstellungs-Bilderkennung und Automatisches Rotiersystem (einschließlich der Voreinstellungswerkbank): Drehwinkel Q ≥ ± 180 °, Drehgenauigkeit Q ≤ 0,01 °;
14. Bilderkennung und automatisches Ausrichtungssystem (einschließlich UVW-Ausrichtungswerkbank): Ausrichtungsbereich X Y ≥ ± 5mm, Drehwinkel Q ≥ ± 3 °, und die beiden Okulare des Mikroskops werden von zwei XYZ-Elektrikplattformen gesteuert.
15. Maskengröße: 5 "× 5" und 7" × 7 ";
16. Wafergröße: 4 "und 6";
17. Obere und untere Filmbox Arbeitsplätze: Doppelarbeitsplätze;
18. Fußpolster Luftmatratze
19. Lade- und Entladedoppelarm Roboterarm: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Anzahl der Wafer im Waferkasten: auf Basis der Anzahl der Wafer im Waferkasten des Kunden bestimmt;
21. Positionstischhebung: Z ≥ ± 25mm;
22. Belichtungszeit: von 0 bis 999,9 Sekunden einstellbar;
23. Produktionsrhythmus: >120 Stück pro Stunde;
24. Stromversorgung: Einphasig AC220V 50Hz, Verbrauch ≤ 3KW;
25. Saubere Luftdruck: ≥ 0,4MPa;
26. Vakuumgrad: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Größe: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Gewicht: ca. 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Diese Maschine besteht aus einem LED-Ultraviolett-Belichtungskopf, einem Bilderkennungs- und Automatischen-Drehungssystem, einer vorpositionierten Arbeitsplatte sowie einem System zur Bilderkennung und automatischen Ausrichtung, Ausrichtungsarbeitsplatten, Lade-Roboter, Entlade-Roboter, Regale und elektrische Steuerungsanlagen, Ersatzteile usw.

Spezifikation

1. Belichtungskopf: Ein LED-UV-Belichtungskopf (365nm);
2. Bilderkennung und Präalignierungs-Arbeitsplatz:
1) 1 Kamera (1,3 Millionen Pixel)
2) Zentrierpositionierungshalter
3) 1 Drehplattform (mit Servomotor)
4) 1 Positioniersystem
3. Bilderkennung und automatisches Ausrichtungssystem:
1) 2 Kameras (5-Megapixel-Hochgeschwindigkeitskameras)
2) 2 Objektive (4x Hochauflösungsobjektiv)
3) Ein Industrie-PC
4) Eine Steuerung (gesteuert durch PLC)
5) Eine Satz Abstimmungsplattform (mit 5-Phasen Schrittmotor)
6) Ein Satz Bewegungssystem
7) Das Oberplatengerät verwendet einen Motor für Heben und Senken
7) Die Software verwendet die neueste Version von LabVIEW Professional Edition
4. Laden und Entladen des mechanischen Arms:
1) X Y. Ein Satz Z automatischer Bewegungsmechanismus
2) Doppelter Roboterarm (Lade- und Entladearme)
5. Waferbox-Festhaltemechanismus:
1) AB ist die feste Positionierung der Fütterungsfoliebox
2) CD ist die feste Positionierung der Schneidefolie-Box
3) G ist die feste Positionierung der NG-Position-Folie-Box
6. Kamerafixierplattform:
7. Zwei Satz Y.Z elektrischer Einstellmechanismen (von Servomotoren gesteuert)
8. Rack und elektrische Steuerungsanzeige:
1) 1 Industrie-PC
2) Ein Satz PLC;
3) Ein Satz Elektroventile und Steuersystem
4) Ein Satz digitaler pneumatischer Instrumente
5) Eine Reihe von Steuerungskonsolen
8. Ersatzteile:
1) Tracheal: 15 Meter
2) 2 Magnetventile
3) Vakuumpumpe: 1 Einheit
9. Technische Daten:
1) Ein Benutzerhandbuch
2) Ein Konformitätszertifikat
10. Zusätzlich
Die Gerätesoftware muss mit dem SECS-Kommunikationsprotokoll ausgestattet sein, und der Käufer stellt eine dynamische Bibliothek bereit, die die Funktion des Anschlusses an das MES-System des Käufers hat, automatisch Produktions Chargennummern, Arbeitsnummern und Betriebsstatus aufzeichnet und sie hochlädt. Gleichzeitig verfügt es über die Funktion zur Identifizierung des QR-Codes der Maske, vergleicht ihn mit dem QR-Code der Maske im MES-System und verhindert, dass die falsche Maske genommen wird.

Verpackung & Lieferung