MDHS-AL8 8" Vollautomatische einseitige Lithografiemaschine, China MDHS-AL8 8" Vollautomatische einseitige Lithografiemaschine Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Beschreibung

MDHS-AL8 8" Vollautomatische einseitige Lithografiemaschine

1. Arbeitsmodus: Der Laderoboter lädt automatisch Wafer aus der AB (recycelbaren) Waferbox in die Vorpositionierungsbox.

Werkbank, und durch die Anpassung des Kamerapositionierungswafers und des automatischen Rotationssystems wird die Vorpositionierung des Wafers erreicht; Der Laderoboter lädt dann die vorpositionierten Wafer auf die Ausrichtungswerkbank. Durch Computerbilderkennung und automatische Anpassung des Ausrichtungssystems kann die automatische Ausrichtung der Grafiken auf der Maske und den Wafern erreicht werden. Es ist auch möglich, eine Belichtung abzuschließen, ohne die Grafiken auszurichten. Nach der automatischen Belichtung durch das Überbelichtungssystem legt der Entladeroboter die Wafer automatisch in die CD-Waferbox (recycelbar).
2. Belichtungsbereich: 160 × 160 mm;
3. Ungleichmäßige Belichtungsbeleuchtungsstärke: ≤ 3 %;
4. Belichtungsintensität: 0~≥ 40mW/cm2 einstellbar (Abstrahlwinkel 2°);
5. UV-Strahlwinkel: ≤ 3 °;
6. Mittlere Wellenlänge des ultravioletten Lichts: 365 nm;
7. Lebensdauer der UV-Lichtquelle: ≥ 20000 Stunden;
8. Trennkapazität: 0 ~ ≥ 1000 µm einstellbar;
9. Ausrichtungsgenauigkeit: ≤ ± 1.5 μM;
10. Belichtungsgenauigkeit: Kontaktbelichtung ± 1 μ m. Nahbelichtungsabstand von 20 μ m Strahlwinkel 2 ° ≤ ± 2 μ m
11. Expositionsmethoden: harter Kontakt, weicher Kontakt und Annäherungsexposition;
12. Belichtungsmodus: Sie können zwischen einmaliger Belichtung oder versetzter Belichtung wählen
13. Vorpositionierungs-Bilderkennung und automatisches Rotationssystem (einschließlich Vorpositionierungs-Werkbank): Rotationswinkel Q ≥ ± 180 °, Rotationsgenauigkeit Q ≤ 0.01 °;
14. Bilderkennungs- und automatisches Ausrichtungssystem (einschließlich UVW-Ausrichtungswerkbank): Ausrichtungsbereich XY ≥ ± 5 mm, Drehwinkel Q ≥ ± 3 ° und zwei Linsen des Mikroskops werden von zwei elektrischen XYZ-Plattformen gesteuert.
15. Maskengröße: 5" × 5" und 7" × 7";
16. Wafergröße: 4" und 6";
17. Obere und untere Filmbox-Arbeitsstationen: Doppelarbeitsstationen;
18. Fußkissen-Airbag
19. Be- und Entladen des Doppelarm-Roboterarms: Z ≥ 350 mm, R135 mm;
20. Anzahl der Wafer in der Waferbox: wird anhand der Anzahl der Wafer in der Waferbox des Kunden ermittelt;
21. Anheben des Positioniertisches: Z ≥ ± 25 mm;
22. Belichtungszeit: einstellbar von 0 bis 999.9 Sekunden;
23. Produktionsrhythmus: >120 Stück pro Stunde;
24. Stromversorgung: einphasig AC 220 V, 50 Hz, Stromverbrauch ≤ 3 kW;
25. Sauberer Luftdruck: ≥ 0.4 MPa;
26. Vakuumgrad: -0.07 MPa ~ -0.09 MPa;
27. Größe: 1400 * 1000 * 2100 mm;
28. Gewicht: ca. 400 kg

Diese Maschine besteht aus einem LED-Ultraviolett-Belichtungskopf, einem Bilderkennungs- und automatischen Rotationssystem, einer vorpositionierten Werkbank, einem Bilderkennungs- und automatischen Ausrichtungssystem, Ausrichtungswerkbänken, Laderobotern, Entladerobotern, Gestellen und elektrischer Steuerungsausrüstung, Ersatzzubehör usw.

Normen

1. Belichtungskopf: Ein LED-Ultraviolett-Belichtungskopf (365 nm);
2. Bilderkennungs- und Vorausrichtungs-Workbench:
1) 1 Kamera (1.3 Millionen Pixel)
2) Mittelpositionierungsvorrichtung
3) 1 Satz rotierende Plattform (mit Servomotor)
4) 1 Satz Positionierungssystem
3. Bilderkennung und automatisches Ausrichtungssystem:
1) 2 Kameras (5 Millionen Pixel hohe Bildrate)
2) 2 Objektive (4x High-Definition-Objektiv)
3) Ein Industriecomputer
4) Ein Controller (gesteuert durch SPS)
5) Ein Satz Ausrichtungsplattformen (mit 5-Phasen-Schrittmotor)
6) Ein Satz Sportsysteme
7) Die obere Platte verfügt über einen Motor zum Heben und Senken
7) Die Software verwendet die neueste Version der LabVIEW Professional Edition
4. Mechanischer Be- und Entladearm:
1) X Y. Ein Satz automatischer Z-Bewegungsmechanismen
2) Roboterarm mit zwei Armen (Lade- und Entladearme)
5. Befestigungsmechanismus der Waferbox:
1) AB ist die feste Positionierung der Zuführfolienbox
2) CD ist die feste Positionierung der Schneidefilmbox
3) G ist die feste Positionierung der Filmbox in der NG-Position
6. Feste Kameraplattform:
7. Zwei Sätze elektrischer YZ-Einstellmechanismen (gesteuert durch Servomotoren)
8. Rack und elektrische Steuerkonsole:
1) 1 Industrie-Computer
2) Ein Satz SPS;
3) Ein Satz Magnetventile und Steuersystem
4) Ein Satz digitaler pneumatischer Instrumente
5) Ein Satz Steuerkonsolen
8. Ersatzaufsätze:
1) Tracheal: 15 Meter
2) 2 Magnetventile
3) Vakuumpumpe: 1 Einheit
9. Technische Daten:
1) Eine Bedienungsanleitung
2) Eine Konformitätsbescheinigung
10. Zusätzlich
Die Gerätesoftware muss mit dem SECS-Kommunikationsprotokoll ausgestattet sein, und der Käufer stellt eine dynamische Bibliothek mit der Funktion zum Andocken an das MES-System des Käufers bereit, die automatisch die Produktchargennummer, die Auftragsnummer und den Betriebsstatus aufzeichnet und hochlädt. Gleichzeitig hat es die Funktion, den QR-Code der Maskenplatte zu identifizieren, ihn mit dem QR-Code der Maskenplatte des MES-Systems zu vergleichen und zu verhindern, dass die falsche Maskenplatte entnommen wird.

Verpackung & Lieferung