MDICP-5000F Vollautomatische ICP-Ätzmaschine / Halbleiterausrüstung mit induktiv gekoppeltem Plasma, China MDICP-5000F Vollautomatische ICP-Ätzmaschine / Halbleiterausrüstung mit induktiv gekoppeltem Plasma, Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Beschreibung

MDICP-5000F Vollautomatische ICP-Ätzmaschine

Executive summary

Das Gerät ist ein Zweikammer-Vakuumsystem. Eine Kammer ist die Injektionsprobenkammer und die andere die Ätzkammer. Zwischen der Injektionsprobenkammer und der Ätzkammer ist eine Vakuumschleuse installiert, und die Injektionsproben werden mit einem Manipulator transportiert.
Die Ausrüstung besteht hauptsächlich aus einem Vakuumsystem, einem Gaskreislaufsystem, einem elektrischen System, einem Steuersystem, einem Kühlsystem, einem Filmzufuhr- und -aufnahmemechanismus, einem Alarmsystem usw.

Vakuumsystem

Das System besteht aus einer Molekularpumpe mit einer Pumpgeschwindigkeit von 600 l/s + einer importierten Vakuum-Trockenpumpe mit einer Pumpgeschwindigkeit von l/s, um die Ätzkammer auf Hochvakuum zu pumpen. Zwischen der Molekularpumpe und der Ätzkammer ist ein elektrisches dynamisches Druckregelventil installiert. Die importierte Trockenpumpe ist die Vorpumppumpe der Ätzkammer und die Vorderstufenpumpe der Molekularpumpe. Verwenden Sie eine weitere mechanische Pumpe mit einer Pumpgeschwindigkeit von l/s, um die Probenkammer zu evakuieren. Für die Verbindung zwischen mechanischer Pumpe und Vakuumkammer und Molekularpumpe werden Edelstahlbälge verwendet, und es ist ein elektromagnetisches pneumatisches Blockventil installiert.

Konstantdruck-Kontrollsystem

Das Gerät ist mit einem nachgeschalteten Konstantdruckkontrollsystem ausgestattet und in der Luftabsaugleitung ist ein elektrisch einstellbares Ventil installiert. Durch die Messung der Filmstärke (importierte Teile) wird das einstellbare Ventil gesteuert, um die Vakuumkammer auf einen konstanten Druck zu bringen und so die Prozessstabilität zu verbessern.

Konstantdruck-Kontrollsystem

Gaskreislaufsystem

Zwei Sätze HF-Stromversorgung mit automatischer Anpassung.

Alarmanlage

Sicherheitsanforderungen an die Ausrüstung.

Normen

Name	Spc	Marke	Nr./Satz	Note
Ätzkammer, Luftabsaugleitung, Sichtfenster, reservierte Schnittstelle usw.	Standard	JSWN	1	Korrosionsschutz
Rahmen, Schaltschrank, Dichtungen, Normteile, etc.	Standard	JSWN	1
Hebesystem für Ätzkammerdeckel	Standard	JSWN	1	Korrosionsschutz
Ätzelektrode und Kühlsystem	Standard	JSWN	1	Korrosionsschutz
Molekularpumpe (Saugvermögen 600 l/s)	Final Fantasy 620/150	KYKY	1	Korrosionsschutz
Einlass Trockenpumpe (Saugvermögen 9 L/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Korrosionsschutz
Mechanische Pumpe (Saugvermögen 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektrischer Regelschieber	DCQ-150	JSWN	1	Korrosionsschutz
Pneumatisches Balg-Absperrventil	KF40	JSWN	3	Korrosionsschutz
Filmdicke	KF16	INFICON	1	Korrosionsschutz
Massendurchflussregler	D07	Sevenstar	4	Korrosionsschutz
Pneumatisches Membranventil	1/4″-Videorecorder	-	4	Korrosionsschutz
Edelstahlrohr, Rohrverbindung usw.	1/4″-Videorecorder	-	4	Korrosionsschutz
HF-Stromversorgung / automatischer Matcher	-	China (OptionalCROWN1310)	1
HF-Stromversorgung / automatischer Matcher	-	China (OptionalCROWN1310)	1
Verbundvakuummeter	ZDF	RB	1
IPC	2U	China	1
LCD-Touchscreen	17inch	China	1
SPS-Steuerungssystem	S7-200	Siemens	1
Steuerungssystem für Elektroantrieb	Standard	JSWN	1
Kühlwassererkennungs- und Rohrleitungssystem	Standard	JSWN	1
Druckluft-Erkennungs- und Leitungssystem	Standard	JSWN	1
Kühlumlaufwassermaschine	HX	China	1
Ätz-Injektionskammer	Standard	JSWN	1
Vakuumverschluss	SMC	SMC	1
Manipulator-Steuerungssystem	SMC	SMC	1

Technische Mailparameter

1. Grenzvakuum: Ätzkammer 9.0×10-5Pa (Innenluftfeuchtigkeit ≤ 55 %)
Injektionsprobenahmekammer 6.0×10-1Pa
2. Ätzmaterial: Ⅲ, Ⅴ Material, Si, SiO2 usw.
3. Ätzrate: ~ 1μ/min
4. Ätzgleichmäßigkeit: ≤±5％(Bereich φ125mm)
6. Elektrodengröße: φ200mm

Verpackung & Lieferung

Um die Sicherheit Ihrer Waren besser zu gewährleisten, werden professionelle, umweltfreundliche, bequeme und effiziente Verpackungsdienste angeboten.

Unternehmensprofil

Wir verfügen über 16 Jahre Erfahrung im Geräteverkauf. Wir können Ihnen professionelle Komplettlösungen für Semiconductor Front-End- und Back-End Package Line-Geräte aus China anbieten.