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Projekt
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Spezifikationen
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Bemerkungen
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1 |
Geräteübersicht |
Gerätename: Vollautomatische Maschine zur Entwicklung gleichmäßiger Leime
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Gerätemodell: MD-2C2D6
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Verarbeitungswaferspezifikationen: Kompatibel mit 4/6-Zoll-Standardwafern
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Prozessablauf der gleichmäßigen Verleimung: Blumenkorb aufschneiden → zentrieren → gleichmäßige Verleimung (Tropfen → gleichmäßige Verleimung → Randentfernung, zurück
Spülen) → heiße Platte → kalte Platte → Korbplatzierung Ablauf des Entwicklungsprozesses: Blumenkorb aufschneiden → Zentrieren → Entwicklung (Entwicklungslösung → deionisiertes Wasser, Rückspülen → Stickstofftrocknung) → heiße Platte → kalte Platte → Korbplatzierung |
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Gesamtgröße (ungefähr): 2100 mm (B) * 1800 mm (T) * 2100 mm (H)
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Größe des Chemikalienschranks (ungefähr): 1700 (B) x 800 (T) x 1600 mm (H)
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Gesamtgewicht (ungefähr): 1000 kg
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Werkbankhöhe: 1020 ± 50mm
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2 |
Kassetteneinheit
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Menge: 2
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Kompatible Größe: 4/6 Zoll
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Kassettenerkennung: Mikroschaltererkennung
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Auszugserkennung: Ja, Reflexionssensor
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3 |
Roboter |
Menge: 1
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Typ: Doppelarm-Vakuum-Adsorptionsroboter
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Freiheitsgrad: 4-Achsen (R1, R2, Z, T)
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Fingermaterial: Keramik
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Substratfixierungsmethode: Vakuumadsorptionsmethode
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Mapping-Funktion: Ja
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Positioniergenauigkeit: ± 0.1mm
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4 |
Zentriereinheit
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Menge: 1-Set
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Optionale optische Ausrichtung
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Ausrichtungsmethode: Mechanische Ausrichtung
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Zentriergenauigkeit: ± 0.2 mm
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5 |
Einheitliches Leimwerk |
Menge: 2 Sets (die folgenden Konfigurationen gelten für jede Einheit)
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Spindeldrehzahl: -5000 U/min ~ 5000 U/min
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Tragrolle
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Spindelrotationsgenauigkeit: ± 1 U/min (50 U/min – 5000 U/min)
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Minimale Einstellung der Spindeldrehzahl: 1 U/min
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Maximale Beschleunigung der Spindelrotation: 20000 U/min
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Tragrolle
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Tropfarm: 1 Satz
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Fotolackrohrweg: 2 Wege
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Durchmesser der Fotolackdüse: 2.5 mm
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Fotolackisolierung: 23 ± 0.5 ℃
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optional
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Feuchtigkeitsdüse: Ja
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RRC: Ja
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Puffer: Ja, 200ml
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Klebeabwurfmethode: Center Dropping und Scanning Dropping sind optional
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Kantenentfernungsarm: 1 Satz
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Durchmesser der Randentfernungsdüse: 0.2 mm
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Überwachung des Flüssigkeitsdurchflusses durch Kantenentfernung: Schwimmer-Durchflussmesser
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Durchflussbereich der Kantenentfernungsflüssigkeit: 5–50 ml/min
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Rückspülleitung: 2 Wege (je 4/6 Zoll mit 1 Kanal)
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Rückspüldurchflussüberwachung: Schwimmer-Durchflussmesser
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Durchflussbereich der Rückspülflüssigkeit: 20–200 ml/min
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Chip-Fixierungsmethode: Vakuumadsorptions-Chuck für kleine Bereiche
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Vakuumdruckalarm: digitaler Vakuumdrucksensor
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Spannfuttermaterial: PPS
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Bechermaterial: PP
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Becherabsaugungsüberwachung: digitaler Drucksensor
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6 |
Entwicklungsabteilung |
Verschluss: ja
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Menge: 2 Sets (die folgenden Konfigurationen gelten für jede Einheit)
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Spindeldrehzahl: -5000 U/min ~ 5000 U/min
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Tragrolle
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Spindelrotationsgenauigkeit: ± 1 U/min (50 U/min – 5000 U/min)
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Minimale Einstellung der Spindeldrehzahl: 1 U/min
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Maximale Beschleunigung der Spindelrotation: 20000 U/min
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Tragrolle
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Entwicklungsarm: 1 Satz
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Entwicklungspipeline: 2-Wege (Fächer-/Säulendüse)
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Entwicklerfiltration: 0.2 µm
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Entwicklertemperaturregelung: 23 ± 0.5 ℃
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optional
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Durchflussbereich der Entwicklungslösung: 100–1000 ml/min
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Bewegungsmodus des Entwicklungsarms: Fixpunkt oder Scannen
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Fixierarm: 1 Satz
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Deionisierte Wasserleitung: 1 Kreislauf
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Durchmesser der Düse für deionisiertes Wasser: 4 mm (Innendurchmesser)
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Durchflussbereich für deionisiertes Wasser: 100–1000 ml/min
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Stickstoff-Trocknungsleitung: 1 Kreislauf
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Stickstoffdüsendurchmesser: 4mm (Innendurchmesser)
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Stickstoffflussbereich: 5–50 l/min
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Entwickler, deionisiertes Wasser, Stickstoff-Durchflussüberwachung: Schwebekörper-Durchflussmesser
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Rückspülleitung: 2 Wege (je 4/6 Zoll mit 1 Kanal)
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Rückspüldurchflussüberwachung: Schwimmer-Durchflussmesser
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Durchflussbereich der Rückspülflüssigkeit: 20–200 ml/min
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Chip-Fixierungsmethode: Vakuumadsorptions-Chuck für kleine Bereiche
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Vakuumdruckalarm: digitaler Vakuumdrucksensor
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Spannfuttermaterial: PPS
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Spannfuttermaterial: PPS
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Bechermaterial: PP
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Becherabsaugungsüberwachung: digitaler Drucksensor
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7 |
Klebrigmachereinheit |
Menge: 2
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optional
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Temperaturbereich: Raumtemperatur ~ 180 °C
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Temperaturgleichmäßigkeit: Raumtemperatur ~ 120 °C ± 0.75 °C
120.1 °C ~ 180 °C ± 1.5 °C (10 mm vom Rand entfernen, mit Ausnahme des Auswerferstiftlochs) |
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Minimaler Anpassungswert: 0.1 °C
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Temperaturregelungsmethode: PID-Einstellung
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PIN-Höhenbereich: 0–20 mm
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PIN-Material: Körper SUS304, PIN-Stiftkappe PI
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Backspalt: 0.2mm
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Übertemperaturalarm: positiver und negativer Abweichungsalarm
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Fördermethode: Sprudeln, 10 ± 2ml/min
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Kammerbetriebsvakuum: -5-20 kPa
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8 |
Warmhalteplatten-Einheit |
Menge: 10
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Temperaturbereich: Raumtemperatur ~ 250 °C
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Temperaturgleichmäßigkeit: Raumtemperatur ~ 120 °C ± 0.75 °C
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (10 mm vom Rand entfernen, mit Ausnahme des Auswerferstiftlochs) |
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Minimale Anpassungsmenge: 0.1 ℃
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Temperaturregelungsmethode: PID-Einstellung
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PIN-Höhenbereich: 0–20 mm
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PIN-Material: Körper SUS304, PIN-Stiftkappe PI
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Backspalt: 0.2mm
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Übertemperaturalarm: positiver und negativer Abweichungsalarm
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9 |
Kalte Platteneinheit
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Menge: 2
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Temperaturbereich: 15-25 ℃
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Kühlmethode: Umwälzpumpenkühlung mit konstanter Temperatur
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10 |
Chemische Versorgung |
Fotolacklagerung: pneumatische Leimpumpe * 4 Sätze (Optionaler Tank oder elektrische Leimpumpe)
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Kleberabgabevolumen: maximal 12 ml pro Sitzung, Genauigkeit ± 0.2 ml
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Kantenentfernung/Rückspülen/RRC-Versorgung: 18L Drucktank * 2 (automatische Nachfüllung)
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Kantenentfernung/Rückspülen/RRC-Flüssigkeitsstandsüberwachung: photoelektrischer Sensor
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Überwachung des Flüssigkeitsstands von Fotolack: optischer Sensor
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Abgabe gleichmäßiger Klebstoffabfallflüssigkeit: 10-Liter-Abfallflüssigkeitstank
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Entwicklerversorgung: 18-Liter-Druckbehälter * 4 (im Chemikalienschrank außerhalb der Maschine aufbewahrt)
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Versorgung mit deionisiertem Wasser: Direktversorgung ab Werk
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Entwicklung einer Flüssigkeitsstandsüberwachung: photoelektrischer Sensor
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Entwicklerabfallentsorgung: Fabrikabfallentsorgung
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Versorgung mit Klebrigmacher: 10L Drucktank * 1, 2L Drucktank * 1
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Füllstandsüberwachung des Tackifiers: optischer Sensor
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11 |
Steuersystem |
Steuerungsmethode: SPS
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Mensch-Maschine-Bedienschnittstelle: 17-Zoll-Touchscreen
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Unterbrechungsfreie Stromversorgung (USV): Ja
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Legen Sie Verschlüsselungsberechtigungen für Gerätebediener, Techniker und Administratoren fest
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Signalturmtyp: rot, gelb, grün 3 Farben
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12 |
Indikatoren für die Systemzuverlässigkeit
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Betriebszeit: ≥95 %
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MTBF: ≥ 500h
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MTTR: ≤ 4 Stunden
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MTBA: ≥24h
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Fragmentierungsrate: ≤ 1/10000
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13 |
Weitere Funktionen
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Gelbes Licht: 4 Sätze (Position: über der Leimmisch- und Entwicklungseinheit)
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THC: Ja, 22.5 °C ± 0.5 °C, 45 % ± 2 %
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optional
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FFU: Klasse 100, 5 Sätze (Prozesseinheit und ROBOT-Bereich)
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Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle Rechte vorbehalten
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NEIN
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
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