Diese Anlage ist eine Präzisionslithografie-Maschine, die unser Unternehmen speziell für die Einsatzmerkmale von Lithografie-Maschinen in verschiedenen Universitäten und Forschungseinrichtungen entwickelt hat. Sie wird hauptsächlich für die Entwicklung und Produktion von Klein- und Mittelintegrierten Schaltkreisen, Halbleiterkomponenten, Optoelektronikbauelementen und Oberflächenakustikwellenbauelementen verwendet. Unter der Voraussetzung, die ursprünglichen Haupttechnischen Kennwerte des Geräts beizubehalten, haben wir einige Strukturen und Komponenten des Geräts optimiert, einige unnötige mechanische Aktionen reduziert und gesichert, dass die Ausfallpunkte des Geräts so weit wie möglich minimiert werden, wodurch auch der Betrieb des Geräts sehr stabil und zuverlässig ist.
Spezifikation
Haupttechnische Parameter
1. Belichtungstyp: Einseitig. 2. Belichtungsfläche: 110×110mm. 3. Ungleichmäßige Belichtungsbeleuchtung: ≤±3%. 4. Belichtungsintensität: 0-30mw/cm2 einstellbar. 5. UV-Strahlwinkel: ≤3°. 6. Zentrale Wellenlänge des UV-Lichts: 365nm. 7. Lebensdauer der UV-Lichtquelle: ≥500 Stunden. 8. Elektronischer Verschluss verwendet. 9. Belichtungsauflösung: 1 μm; 10.Mikroskopischer Scanbereich: X:±15mm Y:±15mm; 11.Ausrichtungsbereich: X,Y-Anpassung ±4mm; Q-Richtungsanpassung ±3°; 12.Graviergenauigkeit: 1 μ Die Genauigkeit der Benutzer-"Version" und "Chip" muss den nationalen Vorschriften entsprechen, und Umwelt, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Staub können streng kontrolliert werden. Es wird importierter positiver Fotolack verwendet, und die Dicke des gleichmäßigen Fotolacks kann s treng kontrolliert werden. Darüber hinaus sind die vorherigen und nachfolgenden Prozesse fortschrittlich; 13.Trennmenge; 0~50 μm einstellbar; 14.Beleuchtungsmethode: Naheinblendung, wobei eine feste Berührung, weiche Berührung und Mikro-Kraft-Berührungseinblendung erreicht werden kann; 15.Quadratfindungsformel: Luft
Verpackung & Lieferung
Unternehmensprofil
Wir haben 16 Jahre Erfahrung im Geräteverkauf. Wir können Ihnen eine umfassende professionelle Lösung für Halbleiter-Ausrüstungen aus China sowohl für Front- als auch für Back-End-Bereiche bieten.
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