MDXN-25D4 Hochpräziser Maskenausrichter, China MDXN-25D4 Hochpräziser Maskenausrichter Hersteller, Lieferanten, Fabrik

Beschreibung

Dieses Gerät wird hauptsächlich für die Entwicklung und Produktion kleiner und mittelgroßer integrierter Schaltkreise, Halbleiterkomponenten und Oberflächenwellengeräte verwendet. Aufgrund des fortschrittlichen Nivellierungsmechanismus und der geringen Nivellierungskraft eignet sich diese Maschine nicht nur für die Belichtung verschiedener Arten von Substraten, sondern auch für die Belichtung leicht fragmentierender Substrate wie Kaliumarsenid und Phosphatstahl sowie für die Belichtung nicht kreisförmiger und kleiner Substrate.

MDXN-25D4 Herstellung hochpräziser Mask Aligner

Normen

Die wichtigsten technischen Parameter

1. Belichtungsart: einseitige Belichtung
2. Belichtungsbereich: 110 x 110 mm;
3. Gleichmäßigkeit der Belichtung: ≥ 97 %;
4. Belichtungsintensität: 0–30 mW/cm² einstellbar;
5. UV-Strahlwinkel: ≤ 3 °
6. Zentrale Wellenlänge des ultravioletten Lichts: 365 nm;
7. Lebensdauer der UV-Lichtquelle: ≥ 20000 Stunden; (2 Jahre Garantie)
8. Einführung eines elektronischen Verschlusses;
9. Belichtungsauflösung: 1 μM
10.Kamerasichtbereich: ± 15 mm Y: ± 15 mm
11. Ausrichtungsbereich: x: ± 4 mm, Y: ± 4 mm, Q: ± 3°.
12. Ausrichtungsgenauigkeit: 1 µm (unter guten Umgebungsbedingungen)
13. Abstandsbereich: 0–50 µm einstellbar.
14. Belichtungsmethode: Kontaktbelichtung (harte/weiche/Mikroberührung)
15. Ausgleichsmethode: Luftflotation.
16. Mikroskopisches System: CCD-System mit doppeltem Sichtfeld, Objektivlinse 1.6- bis 10-fach, Computer-Bildverarbeitungssystem, 19-Zoll-LCD-Monitor; Gesamtvergrößerung 91-570-fach. Objektivabstand: 50-120 mm.
17. Maskengröße: 127 x 127 mm, 102 x 102 mm
18. Substratgröße: Φ102mm；Φ76mm
19. Substratdicke: ≤1mm
20. Belichtungszeit: 0–999.9 Sekunden einstellbar.
21.Leistung: 220 V, 50 Hz, 1.5 kW.
22.Luftquelle?0.4Mpa
23. Vakuumgrad: -0.07 MPa ~ -0.09 MPa

Verpackung & Lieferung

Details zum hochpräzisen Mask Aligner MDXN-25D4

MDXN-25D4 Hochpräziser Mask Aligner Fabrik

Unternehmensprofil

Wir verfügen über 16 Jahre Erfahrung im Geräteverkauf. Wir können Ihnen professionelle Komplettlösungen für Front-End- und Back-End-Package-Line-Geräte für Halbleiter aus China anbieten.