MDXN-25D4 Hochpräzisions-Maskenanordner , China MDXN-25D4 Hochpräzisions-Maskenanordner Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeschreibung

Diese Ausrüstung wird hauptsächlich für die Entwicklung und Produktion von kleinen und mittleren integrierten Schaltungen, Halbleiterkomponenten und Oberflächenakustikwellenbauelementen verwendet. Aufgrund des fortschrittlichen Nivelliermechanismus und der geringen Nivellierkraft eignet sich diese Maschine nicht nur zur Belichtung verschiedener Arten von Substraten, sondern auch zur Belichtung leicht brüchiger Substrate wie Kalziumarsenid und Phosphatstahl sowie zur Belichtung nicht runder und kleiner Substrate.

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture

Spezifikation

Haupttechnische Parameter

1. Belichtungstyp: Einseitige Belichtung
2. Belichtungsfläche: 110X110mm;
3. Belichtungsuniformität: ≥ 97%;
4. Belichtungsintensität: 0-30mw/cm2 verstellbar;
5. UV-Strahlwinkel: ≤ 3 °
6. Zentrale Wellenlänge des Ultraviolettlichts: 365nm;
7. Lebensdauer der UV-Lichtquelle: ≥ 20000 Stunden; (2 Jahre Garantie)
8. Elektronisches Verschlussystem eingesetzt;
9. Belichtungsauflösung: 1 μ M
10. Kamerablickfeld: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Ausrichtungsbereich: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Ausrichtungspräzision: 1um (unter guten Umweltbedingungen)
13. Trennungsdistanzbereich: 0-50um einstellbar.
14. Belichtungsmethode: Kontaktblendung (hart/weich/mikro-Berührung).
15. Gleichgewichtsmethode: Luftkissen.
16. Mikroskopisches System: Dual-Feld-CDD-System, Okularlinsen 1,6X~10X, Computersystem zur Bildverarbeitung, 19" LCD-Monitor; Gesamtvergrößerung 91-570x. Distanz der Objektive: 50-120mm.
17. Maskengröße: 127*127mm; 102*102mm
18. Substratgröße: Φ102mm; Φ76mm
19. Substratdicke: ≤1mm
20. Belichtungszeit: 0-999,9 Sekunden einstellbar.
21.Leistung: 220V 50Hz 1,5kw.
22.Luftquelle? 0,4Mpa
23.Vakuumsgrad: -0,07MPa~-0,09Mpa

Verpackung & Lieferung

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner details

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner factory

Unternehmensprofil

Wir haben 16 Jahre Erfahrung im Geräteverkauf. Wir können Ihnen eine umfassende professionelle Lösung für Halbleiter-Ausrüstungen aus China sowohl für Front- als auch für Back-End-Bereiche bieten.