1. Für das Gerät erforderliche Energie: Mainframe-Stromversorgung: 220 V, 50 Hz, Stromverbrauch ≤ 1.5 kW;
2. Ausgestattet mit einer Vakuumpumpe mit einer Stromversorgung von 220 V;
3.Größe und Gewicht: Größe: 1200 (Länge) × 720 (Breite) × 1500 (Höhe). Gewicht ≤ 170 kg;
4.Stellen Sie den Maschinenkörper auf eine dafür vorgesehene Werkbank;
5. Belichtungsart: Kontakttyp, Plattenausrichtung, beidseitige Belichtung;
6. Belichtungsbereich: φ100mm;
7. Ungleichmäßige Belichtung: ≤±3 %;
8. Belichtungsintensität: ≥5mW/cm2;
9. Belichtungsauflösung: 2 μm;
10. Belichtungsmodus: Doppelseitige Gleichzeitige Belichtung;
11. Ausrichtungsbereich: X: ±5 mm Y: ±5 mm;
12. Gravurgenauigkeit: 2 μm;
13. Rotationsbereich: Rotationseinstellung in Q-Richtung ≤ ± 5 °;
14. Mikroskopisches System: CCD-System mit doppeltem Sichtfeld, Objektivlinse 1.6- bis 10-fach, Computer-Bildverarbeitungssystem, 19-Zoll-LCD-Monitor;
15.Maskengröße: Vakuumadsorption möglich