Halbautomatisches RTP Rapid Thermal Processing für Wafer-Halbleiter SlC LED MEMS , China Halbautomatisches RTP Rapid Thermal Processing für Wafer-Halbleiter SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeschreibung

Schnelle Thermische Verarbeitung

Zuverlässige RTP-Ausrüstung für komplexe Halbleiter、SlC、LED und MEMS bereitstellen

Funktion

* Infrarot-Halogenröhrenheizung, Abkühlung mittels Luftkühlung;
* PlD-Temperaturregler für die Lampenleistung, die eine genaue Temperaturregelung sicherstellt und eine gute Reproduzierbarkeit und Temperaturgleichmäßigkeit gewährleistet;
* Der Materialzugang ist auf der WAFER-Oberfläche positioniert, um während des Annealing-Prozesses kalte Punkte zu vermeiden und eine gute Temperaturgleichmäßigkeit des Produkts sicherzustellen;
* Sowohl atmosphärische als auch Vakuumbearbeitungsverfahren können ausgewählt werden, mit Vorbehandlung und Reinigung des Körpers;
* Zwei Sätze von Prozessgasen sind standardmäßig vorhanden und können auf bis zu 6 Sätze von Prozessgasen erweitert werden;
* Die maximale Größe eines messbaren Einzelsilizium-Proben ist 12 Zoll (300x300 MM);
* Die drei Sicherheitsmaßnahmen des sicheren Temperaturöffnungs-Schutzes, der Temperaturregler-Öffnungsberechtigungsschutz und der Notstoppsicherheit des Geräts werden vollständig umgesetzt, um die Sicherheit des Instruments zu gewährleisten;

Testbericht

Übereinstimmung der 20. Grades Kurven

20 Temperaturenkurven bei 850 ℃ Regelung

Übereinstimmung der 20 Durchschnittstemperaturkurven

Temperaturregelung bei 1250 ℃

RTP-Temperaturregelung für den 1000 ℃ Prozess

Prozess bei 960 ℃, gesteuert durch einen Infrarot-Pyrometer

LED-Prozessdaten

RTD Wafer ist ein Temperatursensor, der spezielle Verfahrenstechniken verwendet, um Temperatursensoren (RTDs) an bestimmten Stellen auf der Oberfläche eines Wafers einzubetten und ermöglicht die Echtzeitmessung der Oberflächentemperatur des Wafers.

Echte Temperaturmessungen an spezifischen Stellen auf dem Wafer sowie die gesamte Temperaturverteilung des Wafers können durch RTD Wafer erhalten werden; Es kann auch zur kontinuierlichen Überwachung transienter Temperaturänderungen auf Wafers während des Wärmebehandlungsprozesses verwendet werden.

Spezifikation

Verpackung & Lieferung

Unternehmensprofil

Wir haben 16 Jahre Erfahrung im Verkauf von Ausrüstungen. Wir können Ihnen eine umfassende Lösung für Halbleiter-Fertigung und -Verpackungslinien aus China bieten!