Abschleifbare Wafer
|
Größe
|
Zoll
|
4,5,6,8
|
Reibungsart
|
-
|
Senkrecht-eintauchende Schleifmethode
|
|
Schleifscheibenwelle
|
Typen
|
-
|
Luftlager
|
MENGE
|
-
|
1
|
|
Geschwindigkeit
|
u/min
|
0~5000
|
|
Ausgangsleistung
|
KW
|
5.5/7.5
|
|
Hubweg
|
mm
|
150
|
|
Vorschubgeschwindigkeit
|
µm/s
|
0,01~100
|
|
Vorschubgeschwindigkeit
|
mm/min
|
300
|
|
Auflösung
|
um
|
0.1
|
|
Arbeitsstückachse
|
TYP
|
-
|
Kugellager
|
MENGE
|
-
|
1
|
|
Geschwindigkeit
|
u/min
|
0 bis 300
|
|
Leistung
|
kW
|
0.75
|
|
Saugkuppentyp
|
-
|
Mikroporöse Keramik
|
|
Wafer-Saugmethode
|
-
|
Vakuumanziehung
|
|
Wafer-Übertragung
|
-
|
Handbuch
|
|
Andere Aufgaben
|
Wafer-Zentrierung
|
-
|
-
|
Wafer-Reinigung
|
-
|
-
|
|
Reinigung der Saugtassen
|
-
|
-
|
|
SCHLEIFRAD
|
mm
|
φ200
|
|
ONLINE
abmessungen |
Messbereich
|
um
|
0~1800
|
Auflösung
|
um
|
0.1
|
|
Wiederholgenauigkeit
|
um
|
±0,5
|
|
Bearbeitung
genauigkeit |
Intra-Wafer-Genauigkeit (TTV)
|
um
|
≤2
|
Zwischen-Wafer-Genauigkeit (WTW)
|
um
|
±3
|
|
Oberflächenrauheit (Ry)
|
um
|
0,1(2000#finish)
|
|
Erscheinung
|
Erscheinungsfärbung
|
um
|
Orange-Muster
|
Abmessungen(B×T×H)
|
mm
|
690×1720×1780
|
|
Gewicht
|
kg
|
1400
|
Abschleifbare Wafer
|
Größe
|
Zoll
|
6,8,12
|
Reibungsart
|
-
|
Senkrecht-eintauchende Schleifmethode
|
|
Schleifscheibenwelle
|
Typen
|
-
|
Luftlager
|
MENGE
|
-
|
1
|
|
Geschwindigkeit
|
u/min
|
0~5000
|
|
Ausgangsleistung
|
KW
|
5.5/7.5
|
|
Hubweg
|
mm
|
150
|
|
Vorschubgeschwindigkeit
|
µm/s
|
0,01~100
|
|
Vorschubgeschwindigkeit
|
mm/min
|
300
|
|
Auflösung
|
um
|
0.1
|
|
Arbeitsstückachse
|
TYP
|
-
|
Kugellager
|
MENGE
|
-
|
1
|
|
Geschwindigkeit
|
u/min
|
0 bis 300
|
|
Saugkuppentyp
|
-
|
Mikroporöse Keramik
|
|
Wafer-Saugmethode
|
-
|
Vakuumanziehung
|
|
Wafer-Übertragung
|
-
|
Handbuch
|
|
Andere Aufgaben
|
Wafer-Zentrierung
|
-
|
-
|
Wafer-Reinigung
|
-
|
-
|
|
Reinigung der Saugtassen
|
-
|
-
|
|
SCHLEIFRAD
|
mm
|
φ300
|
|
ONLINE
abmessungen |
Messbereich
|
um
|
0~1800
|
Auflösung
|
um
|
0.1
|
|
Wiederholgenauigkeit
|
um
|
±0,5
|
|
Bearbeitung
genauigkeit |
Intra-Wafer-Genauigkeit (TTV)
|
um
|
≤3
|
Zwischen-Wafer-Genauigkeit (WTW)
|
um
|
±3
|
|
Oberflächenrauheit (Ry)
|
um
|
0,13(2000#finish)
|
|
Erscheinung
|
Erscheinungsfärbung
|
um
|
Orange-Muster
|
Abmessungen(B×T×H)
|
mm
|
790×2170×1830
|
|
Gewicht
|
kg
|
1800
|
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