Halbleiterindustrie-Ausrüstungen MDLB-MC200 Photomaskenreiniger

Nein.

Projekt

TECHNISCHE DATEN

Anmerkungen

1

Geräteübersicht

Gerätename: Photomaskenreiniger

Geräte-Modell: MDLB-MC200

Gesamtabmessungen (ungefähr): 1300mm (B) * 1000mm (T) * 1950mm (H)

Gesamtgewicht der Maschine (ungefähr): 300KG

Arbeitsplattenhöhe: 900 ± 50mm

Substratgröße-Spezifikationen: Geeignet für 2/4/5/6/8 Zoll quadratische Maskenplatten

Prozessablauf: Manuelles Wafer-Einlegen → Reinigung (Bürste, Reinigungslösung → Hochdruckwasser → Megasonisches Wasser → Deionisiertes Wasser → Trocknung mit Stickstoffgas) → Manuelles Wafer-Entfernen

Ausrüstungstyp: halbautomatisch, manuelles Laden und Entladen

2

Aufbau der Ausrüstung

Gehäuse: Edelstahl, glatt, korrosionsbeständig, leicht zu reinigen

Reinigungskammer: PP, glatt, korrosionsbeständig, leicht zu reinigen

Rohrleitung: PU/PFA-Rohrleitung wird verwendet

Arbeitsbeleuchtung: Korrosionsfestes gelbes Licht zur Beleuchtung

Türaufmachtyp: Doppeltür mit Türöffnungsalarmfunktion

Touchscreen: 10-Zoll-Vollfarben-Touchscreen * 1

FFU: Klasse 100

Lecksicherer Bodenstütz: verfügbar

3

Mit einer Leistung von mehr als 50 W

Menge: 1

Geschwindigkeit: -3000~3000 U/min

Leerlauf

Maximale Beschleunigung der Spindelrotation: 3000 U/s

Leerlauf

Geschwindigkeitsgenauigkeit: ± 1 U/min (50 U/min~3000 U/min)

Geschwindigkeitsauflösung: 1 U/min

4

Automatischer Schwenkarm

Menge: 3

Schwenkarmgeschwindigkeit: 1~30 °/S

5

Reinigungsmodul

Reinigungsschwenkarm: 1 Kanal destilliertes Wasser, 1 Kanal Stickstoffgas

Megasonic-Arm: 1 Megasonic, 1 Hochdruckwasser

Bürstenarm: 1 Bürste, 1 Wasser, 1 Reinigungslösung

Reinigungsverfahren: automatische Reinigung

Deionisierter Wassersaugfunktion: verfügbar

Rückspülung (deionisiertes Wasser): 1 Strecke

Versorgungsverfahren: Reinigungslösung: Membranpumpe

Deionisiertes Wasser: direkt vom Werk geliefert

Drucktank mit Flüssigkeitsspiegeldetektion

6

Bürstenbürste

Anzahl: 1 (mit Selbstreinigungsfunktion)

Geschwindigkeit: bis zu 1000 U/min, verstellbare Geschwindigkeit

Höhe manuell einstellbar

7

Lastenfach

Menge: 5

Material: PPS+Edelstahl

Größe: Geeignet für 2/4/5/6/8 Zoll quadratische Maschenplatten

Substratbefestigungsmethode: Klaubefestigungsmethode

8

Kontrollsystem

Steuerungssystem: PLC-Steuerung verwenden

Programm: 100 Gruppen, jede Gruppe besteht aus 100 Schritten, mit einer maximalen Schrittzeit von 3000,0 Sekunden

Auflösung: 0,1S

Das Programm kann gespeichert, aufgerufen, geändert und gelöscht werden

Verschlüsselungsrechte festlegen: für Gerätebetreiber, Techniker, Administratoren und Hersteller jeweils

Signalturm-Typ: 3 Farben – rot, gelb, grün