Geräte für die Halbleiterindustrie MDLB-MC200 Fotomaskenreiniger, China Geräte für die Halbleiterindustrie MDLB-MC200 Fotomaskenreiniger Hersteller, Lieferanten, Fabrik

MDLB-MC200

Fotomaskenreiniger

Reinigungseinheit:

Die Reinigungskammer ist aus korrosionsbeständigen Materialien gefertigt, die eine glatte Oberfläche haben und leicht zu reinigen sind. Am Boden des inneren Hohlraums befindet sich ein Abfallablassanschluss, der die Schwerkraft nutzt, um Abfallflüssigkeit in die Abwasserleitung der Fabrik abzulassen. Im Hohlraum befindet sich ein Sauganschluss, der die Atmosphäre rechtzeitig aus dem Hohlraum absaugen kann. Ausgestattet mit 3 automatischen Schwenkarmen kann eine automatische Reinigung erreicht werden.

Tabelle der Konfigurationsparameter:

Nein.	PROJEKT	Spezifikationen	Bemerkungen
1	Geräteübersicht	Gerätename: Photomask Cleaner
		Gerätemodell: MDLB-MC200
		Gesamtabmessungen (ungefähr): 1300 mm (B) * 1000 mm (T) * 1950 mm (H)
		Gesamtgewicht der Maschine (ungefähr): 300 kg
		Höhe des Operationstisches: 900 ± 50 mm
		Substratgrößenspezifikationen: geeignet für quadratische Maskenplatten mit 2/4/5/6/8 Zoll
		Prozessablauf: manuelle Waferplatzierung → Reinigung (Bürste, Reinigungslösung → Hochdruckwasser → Megaschallwasser → deionisiertes Wasser → Stickstoffgas-Trocknung) → manuelle Waferentnahme
		Gerätetyp: halbautomatisch, manuelles Be- und Entladen
2	Gerätebau	Schale: Edelstahl, glatt, korrosionsbeständig, leicht zu reinigen
		Reinigungskammer: PP, glatt, korrosionsbeständig, leicht zu reinigen
		Rohrleitung: Es wird eine PU/PFA-Anpassungsleitung verwendet
		Arbeitsbeleuchtung: Korrosionsschutz-Gelblichtbeleuchtung
		Türöffnungsart: Doppeltür mit Türöffnungsalarmfunktion
		Touchscreen: 10-Zoll-Vollfarb-Touchscreen * 1
		FFU: Klasse 100
		Auslaufsichere Bodenstütze: verfügbar
3	Hochpräziser Servomotor	Menge: 1
		Geschwindigkeit: -3000~3000rpm	Leere Ladung
		Maximale Beschleunigung der Spindelrotation: 3000 U/min	Leere Ladung
		Geschwindigkeitsgenauigkeit: ± 1 U/min (50 U/min – 3000 U/min)
		Geschwindigkeitsauflösung: 1 U/min
4	Automatische Schwinge	Menge: 3
4	Automatische Schwinge	Schwenkarmgeschwindigkeit: 1~30 °/S
5	Reinigungseinheit	Reinigungsschwenkarm: 1 Kanal deionisiertes Wasser, 1 Kanal Stickstoffgas Megasonic-Arm: 1 Megasonic, 1 Hochdruckwasser Bürstenarm: 1 Bürste, 1 Wasser, 1 Reinigungslösung
		Reinigungsmethode: Automatische Reinigung
		Deionisiertes Wasser Saugfunktion: verfügbar
		Rückspülung (deionisiertes Wasser): 1 Weg
		Fördermethode: Reinigungslösung: Membranpumpe Deionisiertes Wasser: direkt vom Werk geliefert
		Druckbehälter mit Füllstandserkennung
6	Pinselpinsel	Anzahl: 1 (mit Selbstreinigungsfunktion)
		Geschwindigkeit: bis zu 1000 U/min, einstellbare Geschwindigkeit
		Höhe manuell einstellbar
7	Lastschale	Menge: 5
		Material: PPS + Edelstahl
		Größe: Geeignet für 2/4/5/6/8 Zoll quadratische Maskenplatten
		Befestigungsmethode für Substrat: Krallenbefestigungsmethode
8	Kontrollsystem	Steuerungssystem: mittels SPS-Steuerung
		Programm: 100 Gruppen, jede Gruppe besteht aus 100 Schritten, mit einer maximalen Einzelschrittzeit von 3000.0 Sekunden Auflösung: 0.1S
		Das Programm kann gespeichert, aufgerufen, geändert und gelöscht werden
		Verschlüsselungsberechtigungen festlegen: für Gerätebetreiber, Techniker, Administratoren und Hersteller
		Signalturmtyp: rot, gelb, grün 3 Farben