Einzelhöhle, Doppelhöhle und Vierfachhöhle Starke Prozessfähigkeit, in der Lage Anwendungen wie Wafer Start und Prozessreinigung zu unterstützen Gute Konsistenz der Geräte-Inter-Chip-Technologie
Anwendungsbereiche
Oberflächenpartikelentfernung von 4-8 Zoll Silizium- und Verbindungshalbleiterwafern
Technische Parameter
4-Zoll-, 6-Zoll- und 8-Zoll-Bürstenkammer Spinner-Drehzahl bis zu 4000 U/min Doppelarm-Bürstenkammer, verfügt über Bürste, AS, JET, Megasonics Reinigungsverfahren Kann Flüssigkeitsreinigungsfunktion unterstützen
LoadPort-Einheit, Ladeeinheit
LoadPort ist die Ladeeinheit dieses Geräts
In der Lage Wafer Mapping durchzuführen Mit Wafer-Schiebefehlserkennung ausgestattet
Transfer-Roboter-Einheit
Doppelklingen-Roboter, optional mit Vakuum oder Tablett-Typ-Klingen.
Ausrichtungs- und Drehungseinheit
Kann flache Kanten ausrichten und positionieren Wafer kann gedreht werden, um die Kristallrückseite zu reinigen
Bürsten-Einheit
Anzahl der Bürstenarme * 2 Waferhalter: Spannklemme oder Saugtyp Bürste, AS, JET, Megasonics-Reinigungsmodi, unterstützt pharmazeutische Reinigung
1. Unterstützt gleichzeitige Wafer-Eingabe und -Ausgabe sowie A-Eingabe und B-Ausgabe-Modi 2. Kann das Reinigen der Vorderseite von Kammer A und der Rückseite von Kammer B unterstützen 3. Kann das parallele Reinigen von zwei Kammern unterstützen
Beschreibung der Bürsteneinheit
Wie in der Abbildung dargestellt Wafer wird oben auf dem Spinner befestigt
Arm1&Arm2 können in Kombination mit verschiedenen Bürstenmethoden verwendet werden wie zuvor beschrieben, um Wafers zu reinigen.
Nach dem Reinigen dreht der Spinner sich schnell, um den Wafer zu trocknen
Ausrichtungs- und Drehungseinheit
Wafer kann für Wohnzwecke und Ausgleichszwecke verwendet werden
Wafer kann umgedreht werden
Gerätegröße: 160x150x220 (mm) Lade- und Entladeverfahren: gleiches Ein- und Ausladen & A ein und B aus Anzahl der Bürstenheiten: 2 Bürstenmodi: Bürste, AS, JET, Megasonics Reinigungsverfahren, unterstützt pharmazeutische Reinigung
Verpackung & Lieferung
Unternehmensprofil
FAQ
1. Preisinformationen: Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Komplexität der Anpassung Ihres Geräts.
2. Über Stichprobe: Wir können Ihnen Stichprobenproduktionsdienstleistungen anbieten, Sie müssen jedoch einige Gebühren übernehmen.
3. Über Zahlung: Wenn der Plan bestätigt ist, müssen Sie uns zuerst einen Anzahlbetrag zahlen und die Fabrik wird beginnen, die Waren vorzubereiten. Nachdem die ausrüstung bereitsteht und Sie den Restbetrag bezahlt haben, werden wir sie verschicken.
4. Über Lieferung: Nachdem die Fertigung des Geräts abgeschlossen ist, werden wir Ihnen das Akzeptanzvideo senden und Sie können auch vor Ort kommen, um das Gerät zu inspizieren.
5. Installation und Feinabstimmung: Wenn das Gerät in Ihrer Fabrik eintrifft, können wir Ingenieure entsenden, um das Gerät zu installieren und einzustellen. Dafür werden wir Ihnen eine separate Kostenvorabschätzung bereitstellen.
6. Über die Garantie: Unsere Geräte haben eine Garantie von 12 Monaten. Nach Ablauf der Garantieperiode werden wir bei Schäden an Ersatzteilen nur den Kostenpreis verlangen, falls diese ersetzt werden müssen.
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