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  • Maschine zur Entfernung von Fotolack auf Halbleiterwafern PR-Entfernungsanlagen Serious
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Maschine zur Entfernung von Fotolack auf Halbleiterwafern PR-Entfernungsanlagen Serious Deutschland

Beschreibung

BATCH-PLASMA Maschine zur Entfernung von Fotolack von Halbleiterwafern

Die Verarbeitungstemperatur ist niedrig und kann das Plasma unter hohem Druck halten
DESCUM Waferreinigung Nasse Entfernung von Fotolack Entfernung von Oberflächenrückständen Entfernung von Fotolackrückständen nach Belichtung und Entwicklung
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Normen
PLASMA-Quelle
RF
Mikrowelle
Power
1000w
1250w
Anwendbarer Umfang
4 ~ 8 Zoll
4 bis 8 Jahre
Anzahl einzelner Verarbeitungssegmente
4 ~ 6 Zoll = 50 Stück / 8 Zoll = 25 Stück
4 ~ 6 Zoll = 50 Stück/8 Zoll = 25 Stück
Aussehen Abmessungen
1250x1630x1900mm
1250x1630x1900mm
Systemkontrolle
PC
PC
Automatisierungsstufe
Auto
Auto
Fabrik
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Produktdetails
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Verpackung & Lieferung
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Unternehmensprofil
16 Jahre Erfahrung im Geräteexport! Wir können Ihnen eine Komplettlösung für Front-/Back-End-Prozesse und Geräte für Halbleiter bieten!
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