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Modell |
MDS-UC08 |
MDS-UC12 |
MDHYS82 |
MDHYS122 |
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Maximale Wafersgröße |
6’’&8’’ |
12” |
6’’&8’’ |
12” |
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Lichtquelle<br> |
LED-Lampe, Wellenlänge 365nm, Lichtintensität ≥ 1000mJ/cm2 |
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Membrantyp |
UV-Membran |
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Lampenlebensdauer |
10000h |
10000h |
20000H |
20000H |
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Stromversorgung |
AC220V,5A |
AC220V,5A |
AC220V,6A |
AC220V,6A |
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Gesamtabmessung B*T*H |
650mm*420mm*250mm |
570mm*630mm*340mm |
780mm*620mm*295mm |
930mm*790mm*350mm |
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Gewicht |
30KG |
60 kg |
55 kg |
75kg |
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Funktionale Merkmale |
Manuelles Waferschlichten und -entladen Die Bestrahlungszeit kann beliebig eingestellt werden Mit Kühlventilator ausgestattet Einklick-Betrieb ist praktisch und schnell Die Anlage verfügt über eine Selbstschutzfunktion Es kann nach Bedarf angepasst werden |
Manuelles Waferschlichten und -entladen Die Bestrahlungszeit kann beliebig eingestellt werden Mit Kühlventilator ausgestattet Optionale Stickstoffauffüllfunktion Optionaler integrierter UV-Energiesensor Es kann nach Bedarf angepasst werden |
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