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Modell |
MDS-UC08 |
MDS-UC12 |
MDHYS82 |
MDHYS122 |
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Maximale Wafergröße |
6'' und 8'' |
12 " |
6'' und 8'' |
12 " |
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Laserquelle |
LED-Lampe, Wellenlänge 365nm, Lichtintensität ≥ 1000mJ/cm2 |
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Membrantyp |
UV-Membran |
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Lampenlebensdauer |
10000h |
10000h |
20000h |
20000h |
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Energieversorgung |
AC220V, 5A |
AC220V, 5A |
AC220V, 6A |
AC220V, 6A |
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Gesamtabmessungen W * D * H. |
650mm * 420mm * 250mm |
570mm * 630mm * 340mm |
780mm * 620mm * 295mm |
930mm * 790mm * 350mm |
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Gewicht |
30 kg |
60 kg |
55 kg |
75 kg |
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Funktionsmerkmale |
Manuelles Be- und Entladen der Wafer Die Bestrahlungszeit kann beliebig eingestellt werden Ausgestattet mit Kühlventilator Die Ein-Klick-Bedienung ist bequem und schnell Das Gerät verfügt über eine Selbstschutzfunktion Es kann je nach Bedarf angepasst werden |
Manuelles Be- und Entladen der Wafer Die Bestrahlungszeit kann beliebig eingestellt werden Ausgestattet mit Kühlventilator Optionale Stickstoff-Ladefunktion Optionaler eingebetteter UV-Energiesensor Es kann je nach Bedarf angepasst werden |
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