Strukturgröße |
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Grundlagenrahmen |
820*820*1000mm |
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Kammerkapazität |
10L |
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Maximale Basis Höhe |
110mm |
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Beobachtungsfenster |
Einschließen |
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Gewicht |
220kg |
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Vakuumsystem |
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Vakuumpumpe |
Vakuumpumpe mit Ölbefleckungsfiltervorrichtung |
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Vakuumniveau |
Bis zu 5Pa |
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Vakuumausstattung |
1. Vakuumpumpe 2. Elektroventil |
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Pumpgeschwindigkeitssteuerung |
Die Pumpgeschwindigkeit der Vakuumpumpe kann über die Host-Computer-Software eingestellt werden |
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Pneumatisches System |
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Prozessgas |
N2, N2 / H2 (95% / 5%), HCOOH |
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Erster Gaspfad |
Stickstoff/Wasserstoffmischung (95%/5%) |
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Zweiter Gaspfad |
HCOOH |
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Heiz- und Kühlungssystem |
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Heizmethode |
Strahlungserwärmung, Kontaktwärmeleitung, Erwärmungsrate 150°C/min |
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Kühlmethode |
Kontaktkühlung, die maximale Kühlrate beträgt 120°C/min |
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Heißplatte |
Material Kupferlegierung, Wärmeleitfähigkeit: ≥200W/m·°C |
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Erhitzungsgröße |
240*210mm |
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Heizgerät |
Heizgerät: es wird eine Vakuumanheißröhre verwendet; die Temperatur wird durch das Siemens PLC-Modul erfasst und durch die Hostcomputersteuerung Advantech mittels PID-Regelung gesteuert. |
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Temperaturbereich |
Max. 400°C |
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Leistungsanforderungen |
380V, 50/60HZ Dreiphasen, maximal 40A |
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Kontrollsystem |
Siemens PLC + IPC |
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Leistungsausstattung der Anlage |
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Kühlmittel |
Frostschutzmittel oder destilliertes Wasser â 除20âºC |
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Druck: |
0,2、0,4Mpa |
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Kühlflüssigkeitsdurchfluss |
>100L/min |
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Wasserkapazität des Wassertanks |
âº=60L |
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Eingangswassertemperatur |
â 除20âºC |
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Luftquelle |
0,4MPaâº=Luftdruckâº=0,7MPa |
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Stromversorgung |
Einfachphasiges Dreiadr System 220V, 50Hz |
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Spannungsschwankung |
Bereich Einphasig 200、230V |
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Frequenzschwankungsbereich |
50HZ±1HZ |
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Leistungsausstattung der Anlage |
Verbrauch ca. 5KW; Erdwiderstand â¤4Ω; |
Gastgeber |
System einschließlich Vakuumkammer, Hauptgestell, Steuerungs-Hardware und -Software |
Stickstoffleitung |
Stickstoff oder Stickstoff/Wasserstoff-Mischung können als Prozessgas verwendet werden |
Ameisensäureleitung |
Einführen von Ameisensäure in die Prozesskammer mittels Stickstoff |
Wasserkühlung |
Kühlung der Oberabdeckung, Unterkammer und Heizplatte |
Wasserkühler |
Bereitstellen einer kontinuierlichen Wasserkühlung für das Gerät |
Vakuumpumpe |
Vakuumpumpaneinheit mit Ölnebelfiltration |
Temperatur |
10~35â´£ |
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Relative Luftfeuchtigkeit |
≤80% |
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Die Umgebung der Anlage ist sauber und ordentlich, die Luft ist rein, und es sollte kein Staub oder Gas vorhanden sein, das zu Korrosion von elektrischen Geräten und anderen metallischen Oberflächen führen kann oder eine Leitung zwischen Metallen verursacht. |
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