Technischer Parameter |
Messmodus |
PSI/VSI/übergeordnete Tiefenschärfe/Helles Feld |
Einzelnes Messfeld (20× Objektiv) |
500*350μm (automatisches Stitching) |
|
Winkeljustierung |
±12° manuell |
|
Z-Achsenanpassung |
20mm elektrisch + 50mm manuell (Groß- und Feinjustiermechanismus) |
|
Längsscanbereich |
0-10mm |
|
Längsauflosung |
<0,2nm |
|
Wiederholgenauigkeit der Längsroughness-Messung |
0,01nm (PSI-Modus) |
|
anzeigefehler der Schritt Höhe abmessungen |
<0,75% (VSI-Modus) |
|
Seitliche Auflösung: @550nm |
0,69µm (20× Objektivlinse) |
|
Messbare Probenreflektivität |
0,1%-100% |
|
Messzeit |
<5s (PSI-Modus) |
|
Analysefunktion |
Analysefunktion |
3D-Höhenschätzung, 3D-Rauheitsanalyse, 2D-Abmessungsmessung |
3D-Datenoutput |
3D-Punktwolken-Daten, Graustufen-Bild-Daten, angepasster Bericht |
Objektivvergrößerung |
2.5X |
5x |
10X |
20x |
50x |
100x |
Numerische Blende |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Optische Auflösung @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Fokus-Tiefe (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Arbeitsabstand (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved