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Wafer-Schreiber Bruchgerät

Trockenprozess Zerlegung:

Wafer Scriber Breaker / Wafer Scribe und Break Equipment

Geeignet für spezialisierte Geräte zur Zerschneidung und Spaltung von Verbundhalbleiterwafermaterialien wie GaN, GaAs, InP usw. mit einem Durchmesser von weniger als 4 Zoll. Wird häufig in Lasergeräten, Fotodetektoren und Mikrowellenbauelementen für die Spaltsegmentierung eingesetzt.

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Schneidkopf

X-Richtung

Reichweite: 120mm

Rollerdruck

0~100gf

Positionsgenauigkeit: 5 μ m

Messerdruck

0~20gf

Y-Richtung

Reichweite: 100mm

Gewicht der Ausrüstung

etwa 60 kg

Positionsgenauigkeit: ±5 μ m

Linse Y-Richtung

Reichweite: 650*650*400mm

T-Richtung

360-Grad-Drehung

Außenmaße

1170mmx730 mmx500mm

Wafergröße

Geeignet für 4-Zoll (100mm) Wafer

Betriebsschnittstelle

19,5" TFT-Farbbildschirm, Chinesischsprachiges Interface

Bildsystem

6,0X-Vergrößerung (4,0X optional)

Kontrollsystem

Windows 7 Betriebssystem, spezielle Steuerungssoftware für Spaltmaschinen

Standardkonfiguration

Host \ Computer \ 19,5" Display \ ESD-Spaltmaschinensteuerungssoftware \ Maus und Tastatur

 

Einsatzlösung für die Halbleiterindustrie-Ausrüstungslinie:

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