Miksi fotoresisti on poistettava?
Kuten hyvin tiedetään, fotoresisti on puolijohdekiekkojen valmistuksen ydinmateriaali. Kiekkojen valmistusprosessissa fotolitografian osuus kiekkojen kokonaisvalmistuskustannuksista on noin 35 % ja kuluttaa 40-50 % koko kiekkoprosessista, joten se on puolijohteiden valmistuksen kriittisin prosessi.
Välttämätön vaihe fotolitografiaprosessissa on fotoresistin poistaminen kiekosta. Kun kuvion replikointi ja siirto on suoritettu loppuun, kiekon pinnalla oleva fotoresist on poistettava kokonaan.
Fotoresistin ICP-plasmapoisto
ICP-plasmavaloresistin poistokone käyttää tiheää, vähän vaurioitunutta plasmalähdettä, ja se on varustettu kypsällä etä-ICP-tekniikalla, jotta saavutetaan korkea fotoresistin poistonopeus ja vaurioiden estäminen; Itsenäisen kammiorakenteen ottaminen käyttöön tasaisen virtauskentän jakautumisen ja erinomaisen tasaisuuden saavuttamiseksi fotoresistin poistamisessa.
Tuotteen edut:
● Yhteensopiva yleisten 4-8 tuuman pyöreiden kiekkojen kanssa
● Pystyy prosessoimaan kahta kiekkoa kerrallaan säilyttäen alhaisemman lämpötilan käsittelyn aikana
● Korkea automaatioaste, täysautomaattinen kiekkojen lataus ja purku sekä puhdistusprosessi
● Suuri plasmatiheys, hyvä fotoresistin poistovaikutus
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
EI
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
