Reaktiivinen ionisyövytysjärjestelmä
Ammattimaisesti räätälöityjä ratkaisuja asiakkaille
Kaksikammioinen RIE (Cl₂) -räätälöinti
Helmikuussa 2024 saimme asiakkaalta pyynnön 100 mm kiekon klooriprosessista.
Tämä on meille mielenkiintoinen sovellus, koska tarvittava prosessikaasu sisältää myrkyllisiä kaasuja Cl2 ja BCl3. Meidän on parannettava kaikkia koneen konfiguraatioita turvallisuusongelmien välttämiseksi, ja olemme erityisesti suunnitelleet kaksikammioisen prosessikammion ja siirtokammion rakenteen suojaamaan käyttäjää täydellisesti ja täyttämään samalla prosessivaatimukset.
Noin 5 kuukauden suunnittelun ja tuotannon jälkeen teimme useita näytetestejä ja tuotantosimulaatioita yrityksen sisäisessä laboratoriossa ja toimitimme laitteet nopeasti asiakkaan hyväksynnän jälkeen.
Tekijänoikeus © Guangzhou Minder-Higtech Co.,Ltd. Kaikki oikeudet pidätetään