Mikä on Rapid Thermal Processing (RTP) -järjestelmän tarkoitus kiekkojen valmistusprosessissa? Suomi

RTP käyttää halogeeni-infrapunalamppuja lämmönlähteenä lämmittääkseen materiaalin nopeasti haluttuun lämpötilaan, mikä parantaa materiaalin kiderakennetta ja optoelektronisia ominaisuuksia.

Sen ominaisuuksia ovat korkea hyötysuhde, energiansäästö, korkea automaatioaste ja tasainen lämmitys.

Lisäksi RTP:llä on myös korkea lämpötilan säätötarkkuus ja lämpötilan tasaisuus, mikä voi täyttää erilaisten monimutkaisten prosessien tarpeet.

Lisäksi RTP ottaa käyttöön kehittyneen mikrotietokoneen ohjausjärjestelmän ja PID:n suljetun silmukan lämpötilansäätötekniikan, sillä on korkea lämpötilan säätötarkkuus ja lämpötilan tasaisuus, ja se voi täyttää erilaisten monimutkaisten prosessien tarpeet.

Käyttämällä tehokkaita lämmönlähteitä, kuten halogeeni-infrapunalamppuja, lämmittämään kiekko nopeasti ennalta määrättyyn lämpötilaan, jotkin kiekon sisällä olevat viat voidaan poistaa ja sen kiderakennetta ja optoelektronista suorituskykyä voidaan parantaa.

Tämä erittäin tarkka lämpötilan säätö on erittäin tärkeä kiekon laadun kannalta ja voi tehokkaasti parantaa kiekon suorituskykyä ja luotettavuutta.

Kiekkojen valmistusprosessissa RTP:n käyttö sisältää seuraavat näkökohdat, mutta ei rajoitu niihin:

1. Kiderakenteen optimointi:

Korkea lämpötila auttaa järjestämään kiderakennetta uudelleen, poistamaan kiderakenteen vikoja, parantamaan kiteen järjestystä ja siten parantamaan puolijohdemateriaalien elektronista johtavuutta.

2. Epäpuhtauksien poisto:

RTP voi edistää epäpuhtauksien diffuusiota puolijohdekiteistä, mikä vähentää epäpuhtauksien pitoisuutta. Tämä auttaa parantamaan puolijohdelaitteiden elektronisia ominaisuuksia ja vähentämään energiatasoja tai epäpuhtauksien aiheuttamaa elektronien sirontaa.

3. CMOS-tekniikassa RTP:tä voidaan käyttää substraattimateriaalien, kuten piioksidin tai piinitridin, poistamiseen erittäin ohuiden SOI-laitteiden muodostamiseksi.

RTP on puolijohteiden valmistusprosessin keskeinen laite, jolle on ominaista korkea tarkkuus, korkea hyötysuhde ja suuri joustavuus. Sillä on suuri merkitys kiekkojen suorituskyvyn parantamisessa ja puolijohdeteollisuuden kehityksen edistämisessä.