מדוע יש צורך להסיר פוטו-רזיסט?
כידוע, photoresist הוא חומר הליבה לייצור פרוסות מוליכים למחצה. בתהליך ייצור הפרוסים, הפוטוליתוגרפיה מהווה כ-35% מסך עלות ייצור הפרוסים וצורכת 40-50% מתהליך הפרוסים כולו, מה שהופך אותו לתהליך הקריטי ביותר בייצור מוליכים למחצה.
שלב הכרחי בתהליך הפוטוליתוגרפיה הוא הסרת הפוטו-רזיסט מהוואפר. לאחר השלמת תהליך השכפול וההעברה של הדפוס, יש להסיר לחלוטין את הפוטו-רזיסט שנותר על משטח הפרוסה.
הסרת פלזמה ICP של photoresist
המכונה להסרת פוטו-רזיסט פלזמה ICP מאמצת עיצוב מקור פלזמה בצפיפות גבוהה, נזק נמוך ומצוידת בטכנולוגיית ICP מרחוק בשלה כדי להשיג רמה גבוהה של קצב הסרת פוטו-רזיסט ודיכוי נזקים; אימוץ עיצוב מבנה תא עצמאי להשגת חלוקת שדה זרימה אחידה ואחידות מעולה בהסרת פוטו-רזיסט.
יתרונות מוצר:
● תואם לפרוסות עגולים בגודל 4-8 אינץ' מיינסטרים
● יכול לעבד שני פרוסות בכל פעם, תוך שמירה על טמפרטורה נמוכה יותר במהלך העיבוד
● רמה גבוהה של אוטומציה, השגת טעינת ופריקה של פרוסות אוטומטיות לחלוטין, תהליך ניקוי
● צפיפות פלזמה גבוהה, אפקט הסרה טוב של photoresist
זכויות יוצרים © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. כֹּל הַזְכוּיוֹת שְׁמוּרוֹת
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
לא
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
