מערכת תחריט יונים תגובתית
לספק פתרונות מותאמים אישית ללקוחות באופן מקצועי
התאמה אישית של RIE (Cl₂) כפול קאמרי
בפברואר 2024, קיבלנו בקשה מלקוח לתהליך כלור פרוסות 100 מ"מ.
זוהי אפליקציה מעניינת עבורנו מכיוון שגז התהליך הנדרש מכיל גזים רעילים Cl2 ו- BCl3. עלינו לשפר את כל התצורות של המכונה כדי למנוע בעיות בטיחות, ותכננו במיוחד מבנה דו-חדרי של תא התהליך ותא ההעברה כדי להגן בצורה מושלמת על המפעיל תוך עמידה בדרישות התהליך.
לאחר כ-5 חודשים של תכנון וייצור, ביצענו מספר רב של בדיקות מדגמיות וסימולציות ייצור במעבדה הפנימית של החברה, ומסרנו במהירות את הציוד לאחר שעברנו את קבלת הלקוח.
זכויות יוצרים © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. כֹּל הַזְכוּיוֹת שְׁמוּרוֹת
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
לא
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
