Polska

Minder-Hightech jest producentem półprzewodników. Półprzewodniki są kluczowymi komponentami wielu elementów nowoczesnego życia, takich jak telefony komórkowe i komputery. Obecnie istnieje kilka etapów tworzenia półprzewodników, ale pierwszym krokiem jest stworzenie wzoru na płaskiej powierzchni, znanej jako wafel.

Aby odtworzyć ten wzór, nakładamy na wafer specjalny materiał. Substancja ta jest znana jako fotorezyst. Po nałożeniu fotorezystu naświetlamy go światłem. Pod wpływem światła obszar fotorezystu zostaje utwardzony i wzmocniony. Obszary w cieniu pozostają miękkie i można je zetrzeć.

Po uzyskaniu pożądanego wzoru na waflu, fotorezyst musi zostać usunięty z obszarów, w których będziemy wykonywać dalszą obróbkę. To tutaj Środek do czyszczenia plazmy wchodzi do gry, dosłownie.

Metody usuwania fotorezystu oparte na plazmie

Plazma to stan gazu o wysokim poziomie energii, ze względu na wysoki ładunek elektryczny, który do niego przyłożono. A ten aktywowany gaz jest bardzo przydatny do usuwania fotorezystu z powierzchni wafla. Poprzez plazmę fotorezyst może stać się kruchy, a jego czyszczenie staje się znacznie łatwiejsze.

Stosujemy dwie różne techniki usuwania fotorezystu wykorzystujące plazmę: trawienie na sucho i spopielanie.

Trawienie na sucho: W tej technice rzeczywista plazma wchodzi w interakcję z fotorezystem. Plazma reaguje z fotorezystem w miejscu, w którym się styka. Ta reakcja rozkłada fotorezyst i zamienia go w gaz. Ta gazowa substancja może być następnie oczyszczona z powierzchni płytki, co powoduje odsłonięcie obszarów, które wymagają czystości i dostępności do postępu.

Popielenie — To jest inny sposób, w tej metodzie niereaktywna plazma jest używana jako fotorezyst. Plazma rozbija fotorezyst na drobne, małe kawałki. Następnie te małe kawałki można zmyć z wafla. To podejście jest odpowiednie i chroni wafel, jednocześnie usuwając niepotrzebny fotorezyst.

Wykorzystanie plazmy reaktywnej do usuwania fotorezystu

Obróbka powierzchni plazmą jest bardzo potężnym narzędziem, które pomaga nam usunąć najtwardszy fotorezyst z wafla. Plazma jest niesamowita sama w sobie, ale najlepsze jest to, że możemy ją przekształcić w superselektywny środek. Oznacza to, że można ją dostroić tak, aby reagowała tylko konkretnie z fotorezystem, a nie z innymi materiałami pod nim.

Na przykład: jeśli mamy wzór na waflu, gdzie metal jest umieszczony pod fotorezystem, możemy użyć rodzaju plazmy, która reaguje tylko z fotorezystem. W ten sposób możemy wytrawić fotorezyst bez uszkadzania metalu pod nim. Teraz jest to bardzo ważne, ponieważ potrzebujemy wszystkich części wafla, aby zachować jego integralność podczas procesu.

Technika plazmowa do usuwania fotorezystu

Minder-Hightech wykorzystuje nową technologię plazmową do paskowania fotorezystu z naszych płytek. Pozwala nam to na produkcję bezbłędnych półprzewodników, które są wysokiej jakości.

Szybkie, dostosowane do Twoich potrzeb Nasze systemy są zaprojektowane tak, aby bezproblemowo integrować się z Twoim przepływem pracy. Oznacza to, że jesteśmy w stanie usunąć fotorezyst w krótkim czasie. A ponieważ jesteśmy szybcy, zaspokajamy pełne zapotrzebowanie naszych klientów, dostarczając świetne produkty, gdy ich potrzebują.

Ale nasze systemy plazmowe są również bardzo dokładne, oprócz ich wydajności. Ta precyzja zapewnia nam możliwość usunięcia wyłącznie samego fotorezystu. Nasza technologia zapobiega uszkodzeniu wszystkich innych części wafla przez nasz proces, a na to nie możemy sobie pozwolić. Ta metodyczna praktyka staje się tym bardziej niezbędna dla jakości półprzewodników, które produkujemy.

Usuwanie fotorezystu z półprzewodników za pomocą plazmy

Krótko mówiąc, plazma to supermoc, która pozwala nam usunąć część fotorezystu z powierzchni wafla w wysoce efektywny sposób. My w Minder-Hightech stosujemy najnowszą i najlepszą technologię plazmową, aby produkować półprzewodniki o jakości dokładnie bez żadnych defektów. Jeśli chodzi o systemy plazmowe, nasze rozwiązania są produkowane tak, aby zrównoważyć prędkość z dokładnością, a jednocześnie być bardzo wydajnymi. Oznacza to, że jesteśmy w stanie sprostać wymaganiom naszych klientów, a także dostarczać wysokiej jakości produkty bezbłędnie. To ma na celu usprawnienie procesu produkcji półprzewodników, ponieważ używamy usuwanie plazmy technologii, która sprawi, że nasze półprzewodniki będą jak najlepsze, aby wszelkiego rodzaju urządzenia elektroniczne stały się niezawodnymi gadżetami.