Reaktywny system trawienia jonowego
Profesjonalne dostarczanie klientom rozwiązań dostosowanych do ich potrzeb
Podwójna komora RIE (Cl₂) dostosowana
W lutym 2024 roku otrzymaliśmy od klienta zapytanie o proces chlorowania płytek o średnicy 100 mm.
To interesująca aplikacja dla nas, ponieważ wymagany gaz procesowy zawiera toksyczne gazy Cl2 i BCl3. Musimy ulepszyć wszystkie konfiguracje maszyny, aby uniknąć problemów z bezpieczeństwem, i specjalnie zaprojektowaliśmy dwukomorową strukturę komory procesowej i komory transferowej, aby doskonale chronić operatora, spełniając jednocześnie wymagania procesu.
Po około 5 miesiącach projektowania i produkcji przeprowadziliśmy liczne testy próbek i symulacje produkcji w wewnętrznym laboratorium firmy, a po uzyskaniu akceptacji klienta szybko dostarczyliśmy sprzęt.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone.