1.MDAM-CMPA200 to idealny system dozoru i polerowania dla dużych objętościowych operacji dozoru i polerowania różnych materiałów waferowych (SiC, Szafir, GaN, AlN...) oraz komponentów, takich jak materiały filtrujące, materiały klinowe, panele LCD itp.
2.Cztery napędzane silnikiem głowice polerujące i cztery nadmiernie duże głowice polerujące umożliwiają jednoczesne polerowanie do 48 waferów o rozmiarze 2". Dlatego seria MP jest idealna do użytku w środowisku produkcyjnym z pełną obciążeniem.
3.Panel automatycznego sterowania maszyną używa przenośnego ekranu dotykowego, a parametry procesowe mogą być swobodnie wprowadzane i zmieniane.
4.Automatyczne sterowanie i inteligentne systemy ładowania/rozładunku mogą szybko polerować wafer do powierzchni przygotowanej do epitaksji. Ten system jest szczególnie przydatny w operacjach na twardych substratach, a także może obsługiwać wafer o średnicy do 8".
5. Maszyna precyzyjnego szlifowania i polerowania MDAM-CMPA200 obejmuje主机, system zdalnego sterowania, przyrząd do trzymania, systemwentylacyjny, system wypełnienia, dyski szlifujące i polerujące itp.
6. Maszyna precyzyjnego szlifowania i polerowania MDAM-CMPA200, główna jednostka oraz wszystkie części zapasowe są wykonane z materiałów o wysokim oporze na korozyję, cała maszyna jest odporna na korozyję i nadaje się do chemicznego mechanicznego szlifowania i polerowania różnych materiałów półprzewodnikowych.
7. Przy pomocy niezależnego systemu zdalnego sterowania można również osiągnąć wspólne sterowanie wieloma maszynami. Przy pomocy jednego terminalu kontrolnego można zarządzać kilkoma maszynami szlifującymi i polerującymi, co ułatwia zmianę parametrów procesowych podczas pracy. Pozwala to także na precyzyjną kontrolę liczbową wielu procesów jednocześnie, co znacząco podnosi wydajność pracy i dokładność procesu.
8. System automatycznego wypełniania może dostosowywać prędkość kropleniowania zgodnie z różnymi wymaganiami technologicznymi, a także automatycznie wyłącza się, gdy skończy się śrubka do szlifowania, aby zapobiec uszkodzeniu próbki w przypadku braku śrubki.
9. System sterowania urządzeniem ma funkcję timera. Po osiągnięciu przeskokowego czasu system automatycznie wyłącza się.