MDLB-MC200
Oczyszczacz fotomaski
Jednostka oczyszczania:
Kammera do czyszczenia jest przetwarzana z materiałów odpornych na korozyję, które mają gładką powierzchnię i są łatwe w czyszczeniu. Na dole komory znajduje się otwór odpływu odpadów, który wykorzystuje siłę grawitacji, aby umożliwić odpływ cieczy do sieci odprowadzania odpadów zakładu. Wewnątrz komory znajduje się otwór wentylacyjny, który może efektywnie usuwać atmosferę z komory. Wyposażona jest w 3 automatyczne ramiona wahadłowe, które mogą realizować automatyczne czyszczenie.
Tabela parametrów konfiguracji:
- Nie, nie. |
Projekt |
Specyfikacje |
Uwagi |
1 |
Opis Urządzenia |
Nazwa urządzenia: Czyszczarka photomaski |
|
Model urządzenia: MDLB-MC200 |
|||
Całkowite wymiary (okoli): 1300mm (S) * 1000mm (G) * 1950mm (W) |
|||
Waga całego urządzenia (okoli): 300KG |
|||
Wysokość stołu operacyjnego: 900 ± 50mm |
|||
Specyfikacje rozmiaru podłoża: odpowiednie dla kwadratowych płyt maskowych o rozmiarach 2/4/5/6/8 cali |
|||
Proces technologiczny: ręczne umieszczenie płytki → czyszczenie (pędzel, roztwór myjący → woda w wysokim ciśnieniu → woda megasoniczna → woda deionizowana → suszenie gazem azotowym) → ręczne usunięcie płytki |
|||
Rodzaj urządzenia: półautomatyczny, ręczne ładowanie i rozładowywanie |
|||
2 |
Konstrukcja urządzenia |
Obudowa: nierdzewna stal, gładka, odporna na korozyję, łatwa do czyszczenia |
|
Kammera do czyszczenia: PP, gładka, odporna na korozyję, łatwa do czyszczenia |
|||
Rurociąg: stosowany jest rurociąg z PU/PFA |
|||
Oświetlenie robocze: antykorozyjne żółte oświetlenie |
|||
Styl otwierania drzwi: Drzwi podwójne z funkcją alarmu przy otwarciu drzwi |
|||
Ekran dotykowy: 10-calowy pełnkolorowy ekran dotykowy * 1 |
|||
FFU: Klasa 100 |
|||
Wsparcie antywyciekowe: dostępne |
|||
3 |
Silnik serwowy z wysoką precyzją |
Ilość: 1 |
|
Prędkość: -3000~3000 obr./min |
Obciążenie zerowe |
||
Maksymalne przyspieszenie obrotu wału: 3000obr./s |
Obciążenie zerowe |
||
Dokładność prędkości: ± 1obr./min (50obr./min~3000obr./min) |
|||
Rozdzielczość prędkości: 1obr./min |
|||
4 |
Automatyczny ramieñ wahadłowy |
Ilość: 3 |
|
Prędkość ramienia wahadłowego: 1~30 °/s |
|||
5 |
Jednostka czyszcząca |
Czyszczące ramię wahadłowe: 1 kanał wody jonowej, 1 kanał azotu Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 Wysokie Ciśnienie Wody Ramię szczotkowe: 1 szczotka, 1 woda, 1 roztwór czystący |
|
Metoda czyszczenia: automatyczne czyszczenie |
|||
Funkcja ssania wody jonowej: dostępna |
|||
Przypłukanie (woda jonowa): 1 trasa |
|||
Metoda dostarczania: Roztwór czystący: Pompowanie membranowe Woda jonowa: dostarczana bezpośrednio przez zakład produkcyjny |
|||
Czarny zbiornik z wykrywaniem poziomu cieczy |
|||
6 |
Szczotka do mycia |
Ilość: 1 (z funkcją samoczyszczenia) |
|
Prędkość: do 1000 obr./min, regulowalna |
|||
Wysokość调节 ręcznie |
|||
7 |
Podkład na ładunek |
Ilość: 5 |
|
Materiał: PPS + nierdzewna stal |
|||
Rozmiar: Nadaje się do maski kwadratowej o wymiarach 2/4/5/6/8 cali |
|||
Metoda przytrzymywania podłoża: Metoda kleszczy |
|||
8 |
System sterowania |
System sterowania: Używanie sterownika PLC |
|
Program: 100 grup, każda składająca się z 100 kroków, maksymalny czas pojedynczego kroku wynosi 3000.0 sekund Dokładność: 0,1S |
|||
Program może być zapisywany, wywoływany, modyfikowany i usuwany |
|||
Ustaw uprawnienia szyfrowania: dla operatorów urządzenia, techników, administratorów oraz producentów odpowiednio |
|||
Typ wieży sygnałowej: czerwony, żółty, zielony 3 kolory |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved