Rozmiar wafera
|
Płytki 4”~ 8”
|
Grubość wafli
|
100~750 mikronów
|
Typ płytek
|
Si, SiC, GaN lub inne materiały
|
Rodzaj folii
|
Niebieski film, film UV
Szerokość: 230 ~ 300 mm Długość: 100 m Grubość: 0,05 ~ 0,2 mm |
Pierścień nośnikowy waferów
|
6”, 8” DISCO
|
Metoda ładowania i rozładunku
|
Ręczne umieszczanie i usuwanie waferów/pierścieni nośników
|
Dokładność pozycjonowania filmu
|
±0,5 mm
Standardowe płyty 6” i 8” dla waferów 6” i 8” |
Pompa próżniowa
|
Minder-Hightech
|
Kontrola antystatyczna
|
Wentylator deionizacyjny
|
jednostka sterująca
|
Na podstawie sterownika PLC, z ekranem dotykowym 10"
|
Ochrona bezpieczeństwa
|
Wyposażony w ochronę kurtyną światłową i przycisk nagłego zatrzymania
|
Napięcie zasilania
|
Jednofazowy prąd przemienny AC 220V, 16A
|
Sprężone powietrze
|
0,45~0,6MPa, przepływ 70L/min
|
Obudowa maszyny
|
Biała metalowa obudowa obsadzona plastikiem
|
Objętość
|
850mm (szerokość)*1750mm (głębto) *1970mm (wysokość)
|
Waga netto
|
480 kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved