Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Strona główna
O Nas
Sprzęt M.H
Rozwiązanie
Użytkownicy zagraniczni
Wideo
Skontaktuj Się z Nami
Strona główna> Wyrównywarka maski
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine
  • Fotolitografia Aligner / Alignment Machine

Fotolitografia Aligner / Alignment Machine Polska

Opis produktów
Maszyna do litografii Mask Aligner
Mask Aligner jest używany głównie do opracowywania i produkcji małych i średnich układów scalonych, komponentów półprzewodnikowych, urządzeń optoelektronicznych, urządzeń do powierzchniowych fal akustycznych, obwodów cienkowarstwowych i urządzeń energoelektronicznych
Urządzenie do naświetlania masek Znane również jako: maszyna do naświetlania wyrównującego maskę, system naświetlania, system litografii itp., Jest podstawowym wyposażeniem do produkcji chipów. Wykorzystuje technologię podobną do drukowania zdjęć, aby wydrukować drobne wzory na masce na płytce krzemowej pod wpływem światła
Składa się głównie z: stołu warsztatowego o wysokiej precyzji wyrównywania, mikroskopu pionowego z oddzielnym polem widzenia lornetki, mikroskopu poziomego z oddzielnym polem widzenia lornetki, aparatu cyfrowego, komputerowego systemu pamięci obrazu, głowicy ekspozycyjnej wielopunktowego źródła światła (oko muchy), systemu sterowania PLC, układ pneumatyczny, układ próżniowy, bezpośrednio podłączona pompa próżniowa, dodatkowy stół antywibracyjny i skrzynka na akcesoria
Produkcja fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Fabryka fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Charakterystyka
1. Głowica ekspozycyjna o wysokiej równomierności / mechanizm poziomowania flotacji powietrza / niezawodne narażenie na mocowanie próżniowe. wysoka rozdzielczość.
2. Metoda wyrównywania za pomocą maski zapewnia stabilność i podawanie podłoża, które zapewniają spójność grawitacji prowadzącej i siły.
3. Korzystanie z prostej prowadnicy bez przerw, wysoka precyzja i duża prędkość.
4. Wszystkie modele przystosowane do pracy ze wszystkimi standardowymi fotomaskami. takie jak AZ, Shipley, SU 8.
5. Wszystkie modele Jakość wzoru przenoszona przez system na podłoże 5 aplikacji maski powinna być taka sama jak jakość wzoru po nałożeniu pierwszej maski.
6. Czas ekspozycji regulowany w zakresie od 1 sekundy do 1 godziny. Dokładność ustawienia 1 µm
Dostawca fotolitografii wyrównującej / maszyny wyrównującej
Szczegóły fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Szczegóły fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Fabryka fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Produkcja fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Szczegóły fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Fabryka fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Fabryka fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Produkcja fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Szczegóły fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Specyfikacja
Model
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31

MD-G33



Typ ekspozycji
Jedna strona

Wyrównanie dwustronne i ekspozycja dwustronna



Tryb ekspozycji
Kontakt twardy, miękki i bezkontaktowy




Ilość głowicy ekspozycji
1 Głowica ekspozycyjna

2 Głowica ekspozycyjna



Rodzaj źródła światła
Kulista lampa rtęciowa GCQ350



Głowica naświetlająca LED UV

metoda chłodzenia
chłodzenie powietrzem




Obszar ekspozycji
Φ100mm
110 x 110mm
Φ100mm

150mm × 150mm



Tryb ekspozycji
Kompatybilny z kontaktem twardym, miękkim




Nierówność ekspozycji
Φ100mm<±3%<>
≤ ± 3%




Rozdzielczość ekspozycji
2μm
1 μm




Intensywność wiązki (365 nm)
≥6mw/cm²
≤40mw/cm2
≥5 mw/cm2

0 ~ 30 mw/cm2



Niejednorodność belki
≤ ± 4%
≤ ± 3%




Maksymalny kąt odchylenia światła UV
4 °
3 °




Zasięg oświetlenia
≤Φ117mm
Φ117mm
≤Φ117mm

Przód i tył ≥ Φ115mm



Tryb kompensacji błędu klina
Półkulista automatyczna kompensacja

Automatyczna eliminacja

3-punktowa automatyczna kompensacja


Przesuw osi X i Y
± 4mm
± 5mm
± 4mm

± 5 mm



Podróż θ
± 3 °
≤5 °
≤±5°

≤0.5 °



Rozdzielczość przemieszczenia podłoża XYZ
0.5μm
0.3μm
0.3μm

0.01μm



System mikroskopowy
Dwa mikroskopy jednobębenkowe/dwie kamery CCD




rozmiar wyświetlacza
15 cali




Rozdzielczość systemu obrazowania
2μm
1.5μm
1.5μm

1.5μm



Maska i odległość pomiaru podłoża
0.5 μm
0.3 μm




Wymiar przekątnej powierzchni docelowej CCD
1/3, (6mm)



40 mm ~ 110 mm

Ustawianie rozmiaru tabeli
≤ Kwadrat 5*5 cali (konfigurowalne specyfikacje)




Rozmiar podłoża
Kwadrat Φ 100 mm lub 100*100 mm
Kwadrat 60*49.5 mm
2 ”-4”

1"x1"-5"x5"



Grubość podłoża
1-3mm
≤5 mm
1-3mm

≤5 mm



Pompa próżniowa
Wyciszenie bezolejowe(-0.07~-0.08MPα)




Czyste sprężone powietrze
≥0.4MPα




Zasilacz laboratoryjny
AC 220 V ± 10% 50 Hz 1.5 kW




Stopień czystości pokoju
Klasa 100




Czysta temperatura w pomieszczeniu
25 ℃ ± 2 ℃




Wilgotność względna pomieszczenia czystego
≤60%




Amplituda drgań pomieszczenia czystego
≤4 μm




Rozmiar urządzenia
1300 × 720 × 1600 mm


1500 × 800 × 1600 mm


masa sprzętu
200 kg


280 kg


Produkcja precyzyjnych systemów osiowania wymaga niemal idealnej precyzji procesu mechanicznego. Innym problemem technicznym układu ustawiającego jest mikroskop ustawiający. Aby poprawić pole widzenia mikroskopu, wiele wysokiej klasy maszyn litograficznych wykorzystuje oświetlenie LED. Istnieją dwa zestawy systemów wyrównywania z funkcją ustawiania ostrości. Składa się głównie z dwojga oczu i dwóch pól widzenia skierowanych na główny korpus mikroskopu, jednej pary okularu i jednej pary soczewek obiektywowych (maszyna litograficzna zwykle zapewnia użytkownikom okular i soczewkę obiektywową o różnym powiększeniu). Funkcją systemu wyrównywania CCD jest powiększanie znaczników wyrównania maski oraz próbkowanie i obrazowanie ich na monitorze.
Fabryka fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Fabryka fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Etap przedmiotu obrabianego jest kluczową częścią maszyny litograficznej, która składa się z etapu ogólnego ruchu próbki maski (XY), etapu ruchu względnego próbki maski (XY), etapu obrotu, mechanizmu poziomowania próbki, mechanizmu ogniskowania próbki , stolik waflowy, zacisk maski i stolik z wysuwaną maską. Mechanizm poziomowania próbki składa się z gniazda kulowego i półkuli. W procesie poziomowania najpierw do gniazda kuli i półkuli doprowadzane jest powietrze pod ciśnieniem, a następnie gniazdo kuli, półkula i próbka przesuwają się w górę za pomocą ręcznego pokrętła ogniskowania, tak aby można było wypoziomować próbkę względem maski, a następnie dwupozycyjny trójdrożny zawór elektromagnetyczny przełącza gniazdo kuli i półkulę w tryb podciśnienia w celu zablokowania i utrzymania stanu poziomowania.
Szczegóły fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Dostawca fotolitografii wyrównującej / maszyny wyrównującej
Fabryka fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Szczegóły fotolitografii Aligner / Alignment Machine
Fabryka fotolitografii Aligner / Alignment Machine



Minder-Hightech oferuje zaawansowaną technologię fotolitografii za pomocą maszyny do wyrównywania/wyrównywania.

 

Czy zmagasz się z niewystarczającą dokładnością podczas drukowania obwodów na swoich produktach elektronicznych? Dzięki maszynie do wyrównywania/wyrównywania firmy Minder-Hightech możesz odpocząć wiedząc, że osiągniesz wysoki poziom precyzji w produkcji obwodów drukowanych.

 

Dzięki temu rewolucyjnemu produktowi możesz bezproblemowo przenieść obraz o wysokiej rozdzielczości na produkt za pomocą fotolitografii. Maszyna ta gwarantuje dokładność poprzez działający system dopasowywania materiału do obrazu.

 

Po wydrukowaniu i przesłaniu zdjęć maszyna oblicza wymaganą ekspozycję i dopasowanie materiału do wzmianek o zdjęciach. Obliczenia te przeprowadza się przy użyciu najnowszego oprogramowania komputerowego, które można aktualizować w celu dostosowania do rozwoju technologicznego w przemyśle produkcyjnym.

 

Umożliwi to wykonanie szerokiej gamy, w tym mikroukładów, obwodów częstotliwości radiowej (RF) i obwodów wbudowanych. Urządzenie może zapewnić najlepszą głębokość trawienia, szerokość ścieżki i wyrównanie między warstwami poprzez dodanie różnych procedur uzupełniających, takich jak trawienie chemiczne i galwanizacja.

 

Zaletą naszego produktu jest możliwość uzyskania wysokiego wyrównania, co gwarantuje bardzo precyzyjne umiejscowienie wzorów na materiale. Możesz wygodnie wydrukować wiele skomplikowanych projektów bez żadnych deformacji.

 

Jest przyjazny dla użytkownika, kompaktowy i wydajny, dzięki czemu nadaje się do różnych zakładów produkcyjnych lub wielkości firmy. Dodatkowo nasze urządzenie jest objęte ręczną konserwacją i szkoleniem na miejscu z udziałem naszego zespołu wsparcia technicznego.

 

Maszyna do wyrównywania/wyrównywania firmy Minder-Hightech wykorzystuje technologię fotolitografii, aby pomóc Ci osiągnąć najlepsze rezultaty podczas drukowania obwodów. Poznaj nowy poziom technologii, który zapewnia wysoką dokładność i precyzję, której nie mogą dorównać tradycyjne metody drukowania. Maszyna do wyrównywania/wyrównywania firmy Minder-Hightech jest tym, czego potrzebuje Twoja firma produkcyjna, aby być o krok przed konkurencją. Skontaktuj się z nami już dziś, aby cieszyć się korzyściami płynącymi z najlepszej technologii wyrównywania/maszyn wyrównujących na rynku.


Zapytanie ofertowe

Zapytanie ofertowe E-mail WhatsApp WeChat
Topy
×

Skontaktuj się z nami