Aparat do wyrównywania / Maszyna do wyrównywania fotolitografii , China Aparat do wyrównywania / Maszyna do wyrównywania fotolitografii Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis Produktów

Mask Aligner Maszyna do litografii

Mask Aligner jest主要用于 we wzorcowaniu i produkcji małych i średnich skalach zintegrowanych obwodów, półprzewodnikowych elementów, urządzeń optyczno-elektronicznych, powierzchniowych fal akustycznych, obwodów cienkofilmowych i urządzeń elektronicznych energetycznych
Mask Aligner, znany również jako: maszyna do wyrównania maski, układ ekspozycyjny, system litograficzny itp., jest podstawowym urządzeniem do produkcji chipów. Wykorzystuje technologię podobną do drukowania fotograficznego, aby wydrukować drobne wzory z maski na krzemową płytkę za pomocą ekspozycji światłowej.
Głównie składa się z: wysokoprecyzyjnego stołu do wyrównywania, binokularnego mikroskopu o oddzielonych polach widzenia wertykalnego, binokularnego mikroskopu o oddzielonych polach widzenia poziomego, kamery cyfrowej, komputerowego systemu pamięci obrazów, wielopunktowego źródła światła (fly eye) z głowicą ekspozycyjną, systemu sterującego PLC, układu pneumatycznego, systemu próżniowego, bezpośrednio połączonego wentylatora próżniowego, drugiego stołu antywibracyjnego oraz pudła z akcesoriami.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Cechy

1. Głowica ekspozycyjna fly-eye o wysokiej jednorodności / mechanizm wypływowy z wyrównaniem powietrza / niezawodna ekspozycja próżniowa o wysokim rozdzielczości.
2. Metoda wyrównywania przy użyciu maski zapewnia stabilność i podawanie podłoża, co gwarantuje spójność siły ciężkości kierunkowej i siły.
3. Używanie bezszwowych przewodników liniowych, wysoka precyzja, szybka prędkość.
4. Wszystkie modele są odpowiednie do pracy ze wszystkimi standardowymi fotoopornikami, takimi jak AZ, Shipley, SU 8.
5. Wszystkie modele: jakość wzoru przeniesionego przez system na podłoże po 5 zastosowaniach maski powinna być taka sama jak jakość wzoru po zastosowaniu pierwszej maski.
6. Czas ekspozycji jest dostosowywalny od 1 sekundy do 1 godziny. Dokładność wyrównania 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Specyfikacja

Model	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Typ ekspozycji	jedna strona			Wyrównanie i ekspozycja dwustronna
Tryb ekspozycji	Kontakt twardy, miękki i bezkontaktowy przybliżony
Ilość głów ekspozycyjnych	1 głowa ekspozycyjna			2 głowy ekspozycyjne
Rodzaj źródła światła	Kulista lampa rtęciowa GCQ350						Głowa ekspozycyjna LED UV
Metoda chłodzenia	chłodzenie powietrzne
Pole ekspozycji	Φ100mm	110×110mm	Φ100mm		150mm×150mm
Tryb ekspozycji	Zgodne z twardym i miękkim kontaktowaniem
Nierównomierność ekspozycji	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Rozdzielczość ekspozycji	2μm	1 μm
Intensywność promieniowania (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Nierównomierność promienia	≤±4%	≤ ± 3%
Maksymalny kąt odchylenia światła UV	4°	3°
Zasięg oświetlenia	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Przed i tył ≥ Φ115mm
Tryb kompensacji błędu w kształcie koślawego	Automatyczna kompensacja półsferyczna			Automatyczne eliminowanie		Automatyczna kompensacja trzypunktowa
Przesunięcie osi X i Y	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
Przesunięcie θ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
Rozdzielczość przesunięcia podłoża XYZ	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
System mikroskopowy	Dwa mikroskopy o jednym filarze / Dwie kamery CCD
Rozmiar wyświetlacza	15 cali.
Rozdzielczość systemu obrazującego	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Odległość pomiarowa między maską a podłożem	0.5 µm	0.3 µm
Przekątna wymiar powierzchni celu CCD	1/3, (6mm)						40mm～110mm
Rozmiar stołu ustawieniowego	≤ Kwadrat 5×5 cali (Dostosowalne specyfikacje)
Rozmiar podłoża	Φ 100mm lub kwadrat 100×100mm	Kwadrat 60×49.5mm	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Grubość podłoża	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
Pompa próżniowa	Bezolejowe ciśnienie（-0.07～－0.08MPα）
Czyste skompresowane powietrze	≥0.4MPα
Zasilanie	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Klasa czystego pomieszczenia	Klasa 100
Temperatura czystego pomieszczenia	25℃±2℃
Względna wilgotność pomieszczenia czystego	≤60%
Amplituda drgań w pomieszczeniu czystym	≤4μm
Rozmiar urządzenia	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
waga sprzętu	200KG				280kg

Produkcja systemu wysokiej-precyzyjnego dopasowania wymaga niemal doskonałego procesu mechanicznego. Kolejnym technicznym problemem systemu dopasowania jest mikroskop dopasowania. Aby zwiększyć pole widzenia mikroskopu, wiele zaawansowanych maszyn litograficznych używa oświetlenia LED. Istnieją dwa zestawy systemu dopasowania z funkcją fokusu. Składa się on głównie z dwóch oczu i dwóch pól widzenia skierowanych na główne ciało mikroskopu, jednej pary okularów i jednej pary obiektywów (maszyna litograficzna zwykle oferuje użytkownikom okulary i obiektywy o różnych powiększeniach). Funkcją systemu CCD dopasowania jest powiększenie znaczników dopasowania maski i próbki oraz wyświetlenie ich na monitorze.

Etap roboczy jest kluczową częścią maszyny litograficznej, która składa się z podestu ruchu ogólnego maski i próbki (XY), podestu ruchu wzglęlednego maski i próbki (XY), etapu obrotowego, mechanizmu wyrównywania próbki, mechanizmu fokusuowania próbki, podestu płytki, zacisku maski i podestu wyjściowego maski. Mechanizm wyrównywania próbek obejmuje kulowy siedzenie i półkulę. W procesie wyrównywania najpierw stosuje się powietrze pod ciśnieniem do kulowego siedzenia i półkuli, a następnie kulowe siedzenie, półkula i element próbkowy poruszają się w górę za pomocą koła fokusującego, aby wyrównać próbkę względem maski, a następnie trójdrogowa zawór elektromagnetyczny przełącza kulowe siedzenie i półkulę na próżnię w celu zablokowania i utrzymania stanu wyrównania.

Minder-Hightech oferuje Ci nowoczesną technologię dla fotolitografii poprzez Alineatora/Maszynę Wyrównującą.

Czy masz problem z brakiem wystarczającej dokładności podczas drukowania obwodów na swoich produktach elektronicznych? Dzięki wyrownaniarki/urządzeniu do wyrownania Minder-Hightech możesz być pewien, że osiągniesz wysoką precyzję w produkcji drukowanych obwodów.

Dzięki temu rewolucyjnemu rozwiązaniu możesz bezproblemowo przenieść obraz o wysokiej rozdzielczości na produkt za pomocą fotolitografii. To urządzenie gwarantuje dokładność dzięki systemowi operacyjnemu wyrownującemu materiał do obrazu.

Po wydrukowaniu i przesłaniu zdjęć, maszynę oblicza ilość ekspozycji niezbędną oraz sposób, w jaki materiał jest wyrownany względem zdjęć. Te obliczenia są wykonywane przy użyciu najnowszego oprogramowania komputerowego, które można aktualizować w celu dostosowania się do rozwoju technologicznego w przemyśle produkcyjnym.

Pozwoli Ci to wykonać szeroki zakres produktów, w tym mikroobwodów, obwodów radioczęstotliwościowych (RF) i wbudowanych obwodów. Urządzenie może osiągnąć najlepszą głębokość etczowania, szerokość ścieżki oraz dopasowanie między warstwami dzięki dodaniu różnych uzupełniających procedur, takich jak etczowanie chemiczne i elektrochemiczne nawiercanie.

Przewaga naszego produktu polega na jego zdolności do uzyskania wysokiej dokładności dopasowania, co gwarantuje, że wzory są umiejscawiane z dużą precyzją na materiale. Możesz wygodnie drukować wiele skomplikowanych projektów bez jakichkolwiek nieforemności.

Jest przyjazny dla użytkownika, kompaktowy i efektywny, co czyni go odpowiednim dla różnych zakładów produkcyjnych lub rozmiaru firmy. Dodatkowo, nasze urządzenie obejmuje ręczne konserwacje oraz szkolenie na miejscu z naszym zespołem personelu technicznego wsparcia.

Urządzenie do wyrównywania Minder-Hightech wykorzystuje technologię fotolitografii, aby pomóc Ci osiągnąć najlepsze wyniki podczas drukowania obwodów. Odkryj nowy poziom technologii, która oferuje Ci wysoką dokładność i precyzję, której nie mogą dorównać tradycyjne metody drukowania. Urządzenie do wyrównywania Minder-Hightech to to, czego Twoja firma produkcyjna potrzebuje, aby być krok przed konkurencją. Skontaktuj się z nami dzisiaj, aby cieszyć się korzyściami najlepszej technologii urządzenia do wyrównywania dostępnej na rynku.