Automatyczna pojedyncza płyta chemiczno-mechaniczna polerka wafli CMP, Chiny Automatyczna pojedyncza płyta chemiczno-mechaniczna polerka wafli CMP Producenci, Dostawcy, Fabryka

opis produktu

ATOM Pojedyncza płyta CMP

Funkcje maszyny

Urządzenie jest elastyczne i może obsługiwać wiele głowic.
Możliwości przetwórcze urządzenia są zbliżone do możliwości powszechnie stosowanych modeli urządzeń o tej samej wielkości.
Dobra spójność procesów między urządzeniami.

Obszary zastosowań

Polerowanie STI, ILD/IMD, TSV, TGV o wymiarach 4-8 cali oraz polerowanie powierzchni związków takich jak SiC, LT, LN, GaAs itp.

Parametry techniczne

Głowice 4-calowe, 6-calowe, 8-calowe, sterowanie wielostrefowe
Typ płyty Φ20 cali 508MM
Dokładność sterowania ciśnieniem głowicy <0.05 PSI
Dokładność sterowania prędkością obrotową głowicy i płyty <2 obr./min

produkt automatyczna pojedyncza płyta waflowa chemiczno-mechaniczna polerka cmp-53

1. Jednostka LoadPort

Port można obrócić, aby zanurzyć kasetę w zbiorniku Qtank, zapobiegając tworzeniu się kryształów zawiesiny na
polerowana powierzchnia Wafer. Wyposażona w funkcję Cassette Mapping.

produkt automatyczna pojedyncza płyta waflowa chemiczno-mechaniczna polerka cmp-54

2. Jednostka odzyskująca materiał robota

Wyposażony w robota 4-osiowego, może automatycznie przenosić wafle z kasety do jednostki polerującej.

produkt automatyczna pojedyncza płyta waflowa chemiczno-mechaniczna polerka cmp-55

3. Jednostka polerująca

Ta jednostka jest wyposażona w płytę * 1, głowicę * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 i punkt końcowy EPD
wykrywanie. Może osiągnąć automatyczne ładowanie i rozładowywanie płytek, wielostrefową kontrolę głowicy, szlam
zmiana punktu docelowego za pomocą ustawień przepisu, wykrywanie punktu końcowego i inne funkcje.

produkt automatyczna pojedyncza płyta waflowa chemiczno-mechaniczna polerka cmp-56

Głowica polerska CMP

Głowice polerskie zastosowane w tym urządzeniu zostały w całości niezależnie opracowane, zaprojektowane i wyprodukowane przez naszą firmę.
Wśród nich 4-calowa głowica 3-gniazdowa jest unikalnym produktem stworzonym przez naszą firmę, wypełniającym lukę w Chinach, w której nie ma głowicy 4-calowej z wieloma wnękami. Nasza firma może szybko zmodyfikować lub dostosować głowicę zgodnie z charakterystyką produktu klienta. Podczas opracowywania produktów cienkowarstwowych TGV (200um) wewnętrzna struktura głowicy została zmodyfikowana, aby spełnić wymagania polerowania cienkich warstw. Podczas procesu opracowywania technologii polerowania powierzchni LN OX nasza firma głęboko ulepszyła głowicę 6-calową i pomyślnie spełniła wymagania klienta dotyczące produktu.

produkt automatyczna pojedyncza płyta waflowa chemiczno-mechaniczna polerka cmp-57

Zastosowania

Tradycyjny proces polerowania planarnego układów scalonych;

Proces TGV/TSV;

Inteligentne cięcie i wstępne wiązanie CMP；

Polerowanie podłoża SIC/polerowanie arsenkiem galu.

produkt automatyczna pojedyncza płyta waflowa chemiczno-mechaniczna polerka cmp-58

Specyfikacja

Port	Ilość * 1, z Q-tankiem
Robot	Ilość * 1, do transferu wafli
HCLU	Ilość * 1, do automatycznego załadunku i rozładunku wafli
Głowica polerska	Ilość * 13 kontroli wnęki, dokładność kontroli 0.1 PSI, może obsługiwać operacje na płytkach 400-1200 UM.
Prędkość głowicy polerskiej	5-150RPM
Tarcza polerska	Ilość * 1 Rozmiar tarczy polerskiej 508 mm, prędkość polerowania 10-150 obr./min.
Ramię przycinające	Ilość * 1 pad polerski. Pad polerski można polerować online (jednocześnie) lub offline (po polerowaniu). Przycinanie ramię jest wyposażone w wałek trymujący, który może się obracać i poruszać w górę i w dół, a prędkość i siła docisku mogą być kontrolowane. narzędzie do przycinania jest zamontowane na wale przycinającym i można je szybko usunięte. W zależności od różnych typów padów polerskich, skonfigurowane są różne typy narzędzi do obciągania, w tym obciąganie szczotki, pierścionki diamentowe i tarcze diamentowe.
Jednostka sterująca ciśnieniem powietrza głowicy polerującej UPA	Ilość * 13 Regulowana strefa dla lepszego efektu planaryzacji powierzchni
Pompa dozująca płyn polerujący	Ilość * 2. Pompy perystaltyczne służą do dostarczania cieczy, przy czym 2 pompy perystaltyczne są skonfigurowane do dostarczania różnego rodzaju środków polerujących. płynów do tarczy polerującej. Każda pompa może być używana na dowolnym etapie procesu.
Ramię do szlamu	Ilość * 1 może kontrolować punkt lądowania szlamu i może czyścić pad polerski.
System sterowania operacyjnego może osiągnąć kontrolę na poziomie użytkownika, np. w trybie operatora, trybie konserwacji i trybie technicznym, a także w trybie zmiennym. tryby ious są kontrolowane za pomocą haseł. Oprogramowanie systemowe może edytować parametry procesu każdego kroku procesu i spłaszczać i polerować cienką warstwę na powierzchni chipa zgodnie z programem. Może monitorować stan działania sprzętu, monitorować parametry procesu w czasie rzeczywistym, a oprogramowanie może automatycznie przechowywać różne dane procesu. Wyposażone w wyłącznik awaryjny Przycisk, służący do natychmiastowego zatrzymania pracy urządzenia i odcięcia zasilania sterującego.

Pakowanie i dostawa

produkt automatyczna pojedyncza płyta waflowa chemiczno-mechaniczna polerka cmp-59

produkt automatyczna pojedyncza płyta waflowa chemiczno-mechaniczna polerka cmp-60

Profil firmy

FAQ

1. O cenie:
Wszystkie nasze ceny są konkurencyjne i podlegają negocjacjom. Cena różni się w zależności od konfiguracji i złożoności dostosowania Twojego urządzenia.

2. O próbce:
Możemy dostarczyć Ci usługi produkcji próbek, ale możesz pobierać od nas pewne opłaty.

3. O płatnościach:
Po potwierdzeniu planu, najpierw musisz zapłacić nam depozyt, a fabryka zacznie przygotowywać towar. Po
sprzęt jest gotowy i zapłacisz resztę, a my go wyślemy.

4. O dostawie:
Po zakończeniu produkcji sprzętu wyślemy Ci film potwierdzający akceptację, możesz także przyjechać na miejsce, aby obejrzeć sprzęt.

5. Instalacja i debugowanie:
Po dostarczeniu sprzętu do fabryki możemy wysłać inżynierów, aby zainstalowali i usunęli usterki sprzętu. Przedstawimy Ci osobną wycenę opłaty za tę usługę.

6. O gwarancji:
Nasz sprzęt ma 12-miesięczny okres gwarancji. Po okresie gwarancji, jeśli jakiekolwiek części ulegną uszkodzeniu i będą wymagały wymiany, naliczymy jedynie cenę zakupu.