Urządzenia CVD do materiałów grafenu i nanorurek węglowych / Urządzenia półprzewodnikowe , China Urządzenia CVD do materiałów grafenu i nanorurek węglowych / Urządzenia półprzewodnikowe Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produktu

Urządzenia CVD do materiałów graphene i nanotycznych

Urządzenie jest主要用于procesowym nanopokrywaniu materiałów graphene i nano; Dyfuzja, utlenianie i annealing krzemowej polikrystalicznej i krzemowca węglowego.

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment details

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment factory

Specyfikacja

styl konstrukcyjny	Poziomy, system jednotubowy lub wielotubowy z automatycznym sterowaniem
Dopasowanie do rozmiaru talerzy	2-8"
Metoda dostarczania i pobierania talerzy	Automatyczna wiosłowa kwarcowa łódź pchająca-ciągnąca, połączona z ręcznym pobieraniem i wydzielaniem czypków.
Maksymalna temperatura	1050℃
Temperatura pracy	400 ℃~850 ℃ ciągle dostosowywalne
Stabilność temperatury w jednym punkcie	400℃~850℃≤±0.5℃/24h
Systemowy limit próżni	Lepszy niż 1Pa
prędkość odkačania	Czas odkačania do limitu próżni ＜ 15Min
zakres ciśnienia roboczego	5Pa do 1 × 105Pa ciągle dostosowywalne
Zasilanie	3-fazowy 5-przewodowy 380V±10%, 50Hz
woda chłodząca	2~4Kgf/cm², 8L/min;

Pakowanie i Dostawa

Profil Firmy

Mamy 16-letnie doświadczenie w sprzedaży urządzeń. Możemy zapewnić Ci kompleksowe rozwiązania w zakresie profesjonalnych linii pakowania półprzewodników z Chin, zarówno dla etapu początkowego, jak i końcowego.