Toczony krążek |
Rozmiar |
Calowanie |
4,5,6,8 |
Kasetka waferowa |
Liczba |
- |
2 |
Sposób tarcia |
- |
Pionowa metoda toczenia w głąb |
|
Oś toczywa |
Typy |
- |
Podkładki powietrzne |
ILOŚĆ |
- |
2 |
|
Prędkość |
obr/min |
0~5000 |
|
Moc wyjściowa |
KW |
5.5/7.5 |
|
Skok |
mm |
150 |
|
Prędkość posuwu |
um/s |
0.01~100 |
|
Prędkość przewijania |
mm/min |
300 |
|
Rozdzielczość |
um |
0.1 |
|
Oś robocza |
Typ |
- |
Pod rollingowe |
ILOŚĆ |
- |
3 |
|
Typ Przyssawki |
- |
Ceramika mikroporowa |
|
Metoda ssąca wafera |
- |
Adsorpcja próżniowa |
|
Prędkość |
obr/min |
0~300 |
|
Transport wafera |
- |
Ramię robota |
|
- |
Obrotowy dysk |
||
Inne funkcje |
Centrowanie wafera |
- |
Wyrównanie ruchomych igieł |
Czyszczenie wafera |
- |
Czyszczenie wodą i powietrzem, suszenie wirujące |
|
Czyszczenie kubka ssącego |
- |
Czyszczenie kamieniem cierpkim |
|
KOŁO SZLIFUJĄCE |
mm |
φ200 |
|
ONLINE pomiar |
Zakres pomiaru |
um |
0~1800 |
Rozdzielczość |
um |
0.1 |
|
Dokładność powtarzalności |
um |
±0,5 |
|
Obróbki dokładność |
Dokładność wewnątrzwaferowa (TTV) |
um |
≤ 2 |
Dokładność między płytkami (WTW) |
um |
±3 |
|
Roughness powierzchni (Ry) |
um |
0.13(2000#finish) |
|
Wygląd |
Kolorowanie wyglądu |
um |
Wzorzec pomarańczowy |
Wymiary (S×G×W) |
mm |
1200×2750×1950 |
|
Waga |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved