Model |
MDTS-WT2200 |
Liczba osi przerzedzania |
2 |
Liczba stanowisk roboczych |
3. Metoda indeksowa |
Wrzeciono ściernicy |
Liczba wrzecion pneumatycznych: 2 Silnik wrzeciona: silnik o zmiennej częstotliwości 7.5 kW Prędkość: 0~6000 obr./min, płynna regulacja Specyfikacja tarczy szlifierskiej: Φ203mm Typ tarczy szlifierskiej: tarcza diamentowa |
System podawania ściernicy |
Ilość: zestawy 2 Metoda sterowania systemem podawania: prowadnica LM i śruba kulowa połączenie Silnik napędowy: silnik serwo Minimalna prędkość posuwu: 0.1um/sek. Maksymalna prędkość posuwu: 50 mm/sek. |
Workbench |
Ilość: 3, tryb indeksu Silnik wrzeciona: Silnik serwo Prędkość: 0~300 obr./min, płynna regulacja Metoda adsorpcji: Adsorpcja próżniowa |
Stół obrotowy warsztatowy |
Tryb napędu: silnik serwo Zakres obrotu: 0~240° Pozycjonowanie kształtu: pozycjonowanie wspomagane czujnikiem |
Automatyczna grubość system miar |
Metoda pomiaru: Pomiar w czasie rzeczywistym za pomocą IPG Ilość głowic pomiarowych: 2 Czujnik pomiarowy: czujnik poziomu 0.1um |
Ładowanie automatyczne/ system rozładunkowy |
Typ pudełka: kaseta 6-8 cali, 25 warstw Automatyczna metoda załadunku/rozładunku: manipulator płytek zapewnia transport cienkich płytek bez uszkodzeń Grubość wafla: 150um-1000um |
Funkcja czyszczenia stołu roboczego |
Metoda czyszczenia: polerowanie kamieniem olejowym i płukanie dwupłynowe wodą DI + powietrzem |
Automatyczne czyszczenie/ system suszenia |
Czyszczenie: czyszczenie dyszy DIW Metoda suszenia: Dmuchanie + suszenie Prędkość: maks. 1000 obr./min., regulowana bezstopniowo |
System eliminacji ładunków elektrostatycznych |
Wentylator Ion Bar Orion |
Chłodziarka wrzecionowa |
Temperatura: 18–22 ° C Przepływ: 4~8L/min |
System sterowania |
System sterowania: system sterowania PC, ekran dotykowy, 3-kolorowa lampka alarmowa Chiński/angielski interfejs człowiek-maszyna |
Maksymalny rozmiar wafla |
Maksymalna kompatybilność z 8 calami |
Zakres prędkości |
0 ~ 6000 RPM |
Przejazd w osi Z |
160mm |
Prędkość posuwu w osi Z |
0.1~100um/sek |
Prędkość szybkiego cofania osi Z |
50mm / s |
Rozdzielczość osi Z |
0.1um |
Zakres pomiaru grubości online |
0 ~ 1800um |
Rozdzielczość pomiaru grubości online |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone.