Model |
MDTS-WT2200 |
Liczba osi cienienia |
2 |
Liczba stanowisk roboczych |
3, Metoda indeksowania |
Oś toczywa |
Liczba wirników powietrza: 2 Silnik wirowy: zmiennoczęstotliwościowy silnik 7,5kW Prędkość: 0~6000obr/min, bezstopniowo regulowalna Specyfikacja koła tarczowego: Φ203mm Typ koła tarczowego: koło tarczowe z diamentem |
System podawania koła tarczowego |
Ilość: 2 zestawy Metoda sterowania systemem podawania: przewód liniowy LM i śruba kulowa łączność Silnik napędowy: silnik serwowy Minimalna prędkość podawania: 0,1um/sec Maksymalna prędkość podawania: 50mm/sec |
Stół roboczy |
Ilość: 3, tryb indeksowania Silnik wirowy: silnik serwowy Prędkość: 0~300obr/min, bezstopniowo regulowalna Metoda adsorpcji: adsorpcja próżniowa |
Obracająca się płyta robocza |
Tryb napędu: silnik serwowy Zakres obrotu: 0~240° Kształt pozycjonowania: pozycjonowanie wspomagane przez czujnik |
Automatyczna grubość system pomiarowy |
Metoda pomiaru: IPG kontaktowy pomiar online w czasie rzeczywistym Liczba głowic pomiarowych: 2 Czujnik pomiarowy: czujnik na poziomie 0,1um |
Automatyczne ładowanie\ system rozładunkowy |
Typ pudła: 6-8 calowego Kasetty, 25 warstw Metoda automatycznego ładowania\rozładunku: wykorzystanie manipulatora waferowego, aby zapewnić transport cienkich waferów bez uszkodzeń Grubość wafera: 150um-1000um |
Funkcja czyszczenia stanowiska roboczego |
Metoda czyszczenia: polerowanie olejkiem DI + woda + powietrze dwufazowe spłukiwanie |
Automatyczne czyszczenie/ System Suszenia |
Czyszczenie: czyszczenie dysza DIW Metoda suszenia: wydmuchanie + suszenie Prędkość: maksymalnie 1000rpm bezstopniowo regulowalna |
System eliminowania statycznego |
Pasek jonowy lub wentylator orion |
Chłodnica wierta |
Temperatura: 18-22°C Przepływ: 4~8L/min |
System sterowania |
System sterowania: system sterowania PC, ekran dotykowy, truskolorowy sygnalizator alarmowy Interfejs człowiek-maszyna w języku chińskim/angielskim |
Maksymalny rozmiar płytki |
Maksymalna zgodność z płytami o średnicy 8 cali |
Zakres prędkości |
0~6000 RPM |
Przesunięcie osi Z |
160mm |
Prędkość posuwu w osi Z |
0.1~100um/sec |
Szybkie cofanie osi Z |
50mm/sec |
Rozdzielczość osi Z |
0,1um |
Zakres pomiaru grubości online |
0~1800um |
Wydzielczość pomiaru grubości online |
0,1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved