System trawienia plazmowego ze sprzęganiem indukcyjnym (ICP) Sprzęt półprzewodnikowy, Chiny System trawienia plazmowego ze sprzęganiem indukcyjnym (ICP) Sprzęt półprzewodnikowy Producenci, Dostawcy, Fabryka

opis produktu

System trawienia plazmowego ze sprzężeniem indukcyjnym (icp).

Indukcyjny system trawienia plazmowego ze sprzężeniem (ICP) Dostawca sprzętu półprzewodnikowego

Indukcyjny system trawienia plazmowego ze sprzężeniem (ICP) Fabryka sprzętu półprzewodnikowego

Wynik procesu

Kwarc / krzem / trawienie kratowe

Używając maski BR do trawienia materiałów kwarcowych lub krzemowych, wzór siatki ma najcieńszą linię do 300 nm, a nachylenie wzoru ściany bocznej jest bliskie> 89 °, co można zastosować do wyświetlaczy 3D, urządzeń mikrooptycznych, komunikacji optoelektronicznej, itp

Trawienie złożone/półprzewodnikowe

Dokładna kontrola temperatury powierzchni próbki może dobrze kontrolować morfologię trawienia materiałów na bazie GaN, GaAs, InP i metali. Nadaje się do urządzeń z niebieską diodą LED, laserów, komunikacji optycznej i innych zastosowań.

Indukcyjny system trawienia plazmowego ze sprzężeniem (ICP) Produkcja sprzętu półprzewodnikowego

Trawienie materiałów na bazie krzemu

nadaje się do trawienia materiałów na bazie krzemu, takich jak Si, SiO2 i SiNx. Może realizować trawienie linii krzemu powyżej 50 nm i trawienie głębokich otworów w krzemie poniżej 100um

Specyfikacja

Konfiguracja projektu i schemat budowy maszyny

Pozycja	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Rozmiar produktu	≤6 cali	≤8 cali	≤6 cali	≤8 cali	Niestandardowe ≥ 12 cali
Źródło zasilania SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
Źródło zasilania BRF	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Pompa molekularna	Niekorozyjny: 600/1300 (L/s)/niestandardowy			Antykorozyjne: 600/1300 (L./s)/niestandardowe		600/1300(L/s) /niestandardowe
Pompa przednia	Pompa mechaniczna/pompa sucha			Sucha pompa antykorozyjna		Pompa mechaniczna/pompa sucha
Pompa do wstępnego pompowania	Pompa mechaniczna/pompa sucha			Pompa mechaniczna/pompa sucha
Ciśnienie procesowe	Niekontrolowane ciśnienie/0-0.1/1/10Torr kontrolowane ciśnienie
Rodzaj gazu	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (Do 12 kanałów, bez gazów korozyjnych i toksycznych)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Niestandardowe (do 12 kanałów)
Zakres gazu	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
Załaduj blokadę	Tak/Nie			Tak
Przykładowa kontrola temp	10°C ~ Temperatura pokojowa/ -30°C ~ 150°C /Niestandardowe			-30°C~200°C/niestandardowe
Tylne chłodzenie helem	Tak/Nie			Tak
Wyściółka komory technologicznej	Tak/Nie			Tak
Kontrola temperatury ściany szczelinowej	Nie/Tem. pokojowa -60/120°C			Temperatura pokojowa~60/120°C
System sterowania	Automatyczny/niestandardowy
Materiał trawiący	Na bazie krzemu: Si/SiO2/ SiNx/SiC..... Materiały organiczne: PR/organiczne film......			Na bazie krzemu: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Materiał magnetyczny/materiał stopowy Materiały metaliczne: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Materiały organiczne: PR/folia organiczna...... Głębokie trawienie krzemu

Pakowanie i dostawa

Profil firmy

Mamy 16 lat doświadczenia w sprzedaży sprzętu. Możemy zapewnić Ci kompleksowe rozwiązania w zakresie urządzeń półprzewodnikowych z zakresu front-end i back-end, profesjonalne rozwiązania z Chin.