MCXJ-MLS8 System druku bez maski , China MCXJ-MLS8 System druku bez maski Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produktu

Próbka:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Schemat budowy urządzenia

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

Specyfikacja

Schemat budowy hosta ekspozycji

struktura	zilustrować
Ekranowanie powierzchni roboczej	Obszar ekspozycji: powierzchnia robocza, obszar umieszczenia podłoża
System optyczny	Obszar formowania promieni laserowych
System kontroli środowiskowej	Kontrola temperatury i ciśnienia dodatniego wewnątrz urządzenia
System platformy	Kontroluje ruch stołu ekspozycyjnego, aby ukończyć operację ścieżki ekspozycji
System sterowania	System kontrolny całego urządzenia

Uwaga: Ze względu na ulepszenia maszyny, rzeczywisty wygląd może się zmienić, konkrety podlegają rzeczywistemu produktowi.

- Nie, nie.	Środowisko	Wymagać
1	Środowisko źródła światła	Żółte światło
2	Temperatura	22℃±2℃
3	Wilgotność	50%±10%
4	Czystość	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, suche, czyste powietrze
6	Zasilanie	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Przewód ziemi musi być zakorzeniony,
7	Woda chłodząca	Temp.：10℃~ 20℃ Ciśnienie：0.3MPa ~ 0.5MPa Przepływ：20L/min Różnica ciśnień：powyżej 0.3MPa Przyjęto kalibr：Rc3/8
8	Miejsce	poziom：±3mm/3000mm drgania：VC-B Współczynnik nośności：750kg/㎡
10	Internet	Jeden port sieciowy
11	Rozmiar maszyny	130011002100mm
12	Waga urządzenia	1500kg

- Nie, nie.	Projekt	Spec.	Uwagi
1	Rozdzielczość	0.6um/lub inne wymagania	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Grubość podłoża	0.2mm～4mm
4	Dokładność siatki dat	60nm
5	Nakładanie	±500nm	130 mm x 130 mm
6	Dokładność łączenia	±200nm	AZ703
7	Maksymalny rozmiar ekspozycji	190X190mm
8	Przepustowość	≥300mm2/min	≤50mj/cm2;
9	źródło światła	LD 375nm
10	moc świetlna	6W
11	Jednorodność energii	≥ 95%
12	życie świetlne	10000h

Pakowanie i Dostawa

Profil Firmy

Mamy 16-letnie doświadczenie w sprzedaży urządzeń. Możemy zapewnić Ci kompleksowe rozwiązania w zakresie profesjonalnych linii pakowania półprzewodników z Chin, zarówno dla etapu początkowego, jak i końcowego.