Główny aparat plazmy próżniowej (150) |
||
Rozmiar urządzenia |
D 1100×S 940×W 1755mm |
|
Waga |
600kg |
|
Źródło zasilania na zamówienie |
AC380V, 50/60Hz, 5 przewodów, 25A (otwarty typ powyżej C) |
|
Specyfikacja generatora plazmowego |
||
Moc |
częstotliwości radiowych |
częstotliwość średnia |
0~1000W |
0-2000w |
|
częstotliwość zasilania |
13,56MHz |
40 K Hz |
System próżniowy |
||
Pompa próżniowa |
Pompa monopola skoku VSV 65 + Pompa Bowse Lots BSJ 70 |
|
rura próżniowa |
Cała linia z nierdzewnej stali, w tym przeguby próżniowe o wysokiej wytrzymałości |
|
Jakość materiału |
alufer |
|
Grubość |
25mm |
|
ciasnotka |
Wojskowe spawanie hermetyczne |
|
Wewnętrzne wymiary jaskini |
500*500*600mm (szerokość * wysokość * głębokość) |
|
Skuteczny rozmiar płyty elektrycznej |
372(W) X 451(D)mm |
|
Dostępna przestrzeń rozstawu |
24 mm |
|
Układ elektroplastyczny |
Pionowa płyta elektrodowa |
|
Podkłady |
Standardowy zestaw, materiał opcjonalny (aluminium, stal siatkowa) |
|
przestrzeń robocza |
8 warstw |
|
Procesowe gazowe |
||
zakres przepływu |
0~300SCCM |
|
Trasa gazu procesowego |
Standardowo z dwoma ścieżkami, można dostosować. Rura przewodząca gaz procesowy wykonana jest z ferroflonu |
|
System sterowania |
||
SC |
Kontrola PC |
|
tryb interaktywny |
Interfejs Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved