Jednostka gospodarza plazmy próżniowej (150) |
||||
Rozmiar urządzenia |
D 1100×S 940×W 1755mm |
|||
waga |
600kg |
|||
Źródło zasilania na zamówienie |
AC380V, 50/60Hz, 5 przewodów, 25A (otwarty typ powyżej C) |
|||
Specyfikacja generatora plazmowego |
||||
moc |
częstotliwości radiowych |
częstotliwość średnia |
||
0~1000W |
0-2000w |
|||
częstotliwość zasilania |
13,56MHz |
40 K Hz |
||
System próżniowy |
||||
pompa próżniowa |
Pompa monopola skoku VSV 65 + Pompa Bowse Lots BSJ 70 |
|||
rura próżniowa |
Cała linia z nierdzewnej stali, w tym przeguby próżniowe o wysokiej wytrzymałości |
|||
jakość materiału |
alufer |
|||
grubość |
25mm |
|||
ciasnotka |
Wojskowe spawanie hermetyczne |
|||
Wewnętrzne wymiary jaskini |
500*500*600mm (szerokość * wysokość * głębokość) |
|||
Skuteczny rozmiar płyty elektrycznej |
372(W) X 451(D)mm |
|||
Dostępna przestrzeń rozstawu |
24 mm |
|||
Układ elektroplastyczny |
Pionowa płyta elektrodowa |
|||
podkłady |
Standardowy zestaw, materiał opcjonalny (aluminium, stal siatkowa) |
|||
przestrzeń robocza |
8 warstw |
|||
Procesowe gazowe |
||||
Zakres przepływu |
0~300SCCM |
|||
Trasa gazu procesowego |
Standardowo z dwoma ścieżkami, można dostosować. Rura przewodząca gaz procesowy wykonana jest z ferroflonu |
|||
System sterowania |
||||
SC |
Kontrola PC |
|||
tryb interaktywny |
Interfejs Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved