Gospodarz plazmy próżniowej(200) |
||
Rozmiar urządzenia |
1050×1700×1050mm (szerokość, wysokość i głębokość) |
|
waga |
800Kg |
|
zapotrzebowanie na moc |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Specyfikacje generatora plazmy |
||
zasilanie sieciowe |
o częstotliwości radiowej |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Częstotliwość zasilania |
13.56MHz |
KHz 40 |
System próżniowy |
||
pompa próżniowa |
Pompa jednobiegunowa Feiyue VSV100 + pompa obu Rootsa BSJ70 |
|
linia próżniowa |
Wszystkie rury ze stali nierdzewnej i mieszki próżniowe o wysokiej wytrzymałości |
|
materiał |
stop aluminium |
|
grubość |
25mm |
|
szczelność |
Zgrzewana uszczelka klasy wojskowej |
|
Wymiary wewnętrzne komory |
600 × 600 × 600 mm (szer. × wys. × gł.) |
|
Efektywny rozmiar płytki elektrodowej |
472 x 451 mm (szer. x gł.) |
|
przestrzeń dostępna |
35mm |
|
Układ płytki elektrodowej |
Pozioma płyta elektrodowa |
|
taca robocza |
Jeden zestaw jest standardem, a materiał jest opcjonalny (aluminium, siatka stalowa) |
|
Workspace |
podłogi 8 |
|
Gaz procesowy |
||
Zakres przepływu |
0 ~ 300SCCM |
|
Obieg gazu procesowego |
Wyposażony w gaz trójdrożny O2, Ar, N2 |
|
System sterowania |
||
kontrola systemu |
sterowanie PC |
|
tryb interaktywny |
Interfejs Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone.