Gospodarz plazmy próżniowej (200) |
||
Rozmiar urządzenia |
1050×1700×1050mm(szerokość, wysokość i głębokość) |
|
Waga |
800kg |
|
moc wymagana |
AC380V, 50/60Hz, 5 przewodów, 30A |
|
Specyfikacja generatora plazmy |
||
napięcie sieciowe |
częstotliwości radiowych |
Jeśli |
0~1000W |
0-2000w |
|
Częstotliwość mocy |
13,56MHz |
40 KHz |
System próżniowy |
||
Pompa próżniowa |
Pompa unipolarna Feiyue VSV100 + dwie pompy Roots BSJ70 |
|
linia próżniowa |
Wszystkie rury z nierdzewnej stali oraz wysokoprzeciągowe membrany próżniowe |
|
Materiał |
Stop aluminiumowy |
|
Grubość |
25mm |
|
ciasnotka |
Zamknięcie spawane klasy wojskowej |
|
Wymiary wewnętrzne przestrzeni |
600×600×600mm(S×W×G) |
|
Skuteczny rozmiar płyty elektrodowej |
472 X 451mm (S×G) |
|
dostępna przestrzeń |
35mm |
|
Układ płyty elektrodowej |
Pionowa płyta elektrodowa |
|
zestaw roboczy |
Jeden zestaw jest standardowy, a materiał jest opcjonalny (aluminium, stalowa siatka) |
|
przestrzeń robocza |
8 pięter |
|
Procesowe gazowe |
||
zakres przepływu |
0~300SCCM |
|
Obwód procesowego gazu |
Wyposażony w O2, Ar, N2 trójdrożny gaz |
|
System sterowania |
||
System sterowania |
Kontrola PC |
|
tryb interaktywny |
Interfejs Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved