Gospodarz plazmy próżniowej (200) |
||||
Rozmiar urządzenia |
1050×1700×1050mm (szerokość, wysokość i głębokość) |
|||
waga |
800kg |
|||
moc wymagana |
AC380V, 50/60Hz, 5 przewodów, 30A |
|||
Specyfikacja generatora plazmy |
||||
napięcie sieciowe |
częstotliwości radiowych |
Jeśli |
||
0~1000W |
0-2000w |
|||
Częstotliwość mocy |
13,56MHz |
40 KHz |
||
System próżniowy |
||||
pompa próżniowa |
Pompa unipolarna Feiyue VSV100 + dwie pompy Roots BSJ70 |
|||
linia próżniowa |
Wszystkie rury z nierdzewnej stali oraz wysokoprzeciągowe membrany próżniowe |
|||
materiał |
Stop aluminiumowy |
|||
grubość |
25mm |
|||
ciasnotka |
Zamknięcie spawane klasy wojskowej |
|||
Wymiary wewnętrzne przestrzeni |
600×600×600mm(S×W×G) |
|||
Skuteczny rozmiar płyty elektrodowej |
472 X 451mm (S×G) |
|||
dostępna przestrzeń |
35mm |
|||
Układ płyty elektrodowej |
Pionowa płyta elektrodowa |
|||
zestaw roboczy |
Jeden zestaw jest standardowy, a materiał jest opcjonalny (aluminium, stalowa siatka) |
|||
Przestrzeń robocza |
8 pięter |
|||
Procesowe gazowe |
||||
Zakres przepływu |
0~300SCCM |
|||
Obwód procesowego gazu |
Wyposażony w O2, Ar, N2 trójdrożny gaz |
|||
System sterowania |
||||
system sterowania |
Kontrola PC |
|||
tryb interaktywny |
Interfejs Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved