Główny układ plazmy próżniowej (60)
|
||||
Rozmiar urządzenia
|
D 950×S 900×W 1650mm
|
|||
Waga
|
350 kg
|
|||
Źródło zasilania na zamówienie
|
AC380V, 50/60Hz, 5 przewodów, 16A (ogólny typ otwarty powyżej C)
|
|||
Specyfikacja generatora plazmowego
|
||||
Moc
|
częstotliwości radiowych
|
częstotliwość średnia
|
||
0~600W
|
0-1000W
|
|||
częstotliwość zasilania
|
13,56MHz
|
40 K Hz
|
||
System próżniowy
|
||||
Pompa próżniowa
|
Dwustopniowa pompa obrotowa (olejowa): 40m3/h
|
|||
rura próżniowa
|
Cała linia z nierdzewnej stali, w tym przeguby próżniowe o wysokiej wytrzymałości
|
|||
Jakość materiału
|
stop aluminium (dostosowalna jaskinia z nierdzewnej stali)
|
|||
Grubość
|
25mm
|
|||
ciasnotka
|
Wojskowe spawanie hermetyczne
|
|||
Wewnętrzne wymiary jaskini
|
375*375*430mm (szerokość * wysokość * głębokość)
|
|||
Skuteczny rozmiar płyty elektrycznej
|
247*281mm (szerokość * głębokość)
|
|||
Dostępna przestrzeń rozstawu
|
22mm
|
|||
Układ elektroplastyczny
|
Poziomy układ, może być aktywna ekstrakcja
|
|||
Podkłady
|
Standardowy zestaw, materiał opcjonalny (aluminium, stal siatkowa)
|
|||
przestrzeń robocza
|
6 warstw
|
|||
Procesowe gazowe
|
||||
zakres przepływu
|
0~300SCCM
|
|||
Trasa gazu procesowego
|
Standardowo z dwoma ścieżkami, można dostosować. Rura przewodząca gaz procesowy wykonana jest z ferroflonu
|
|||
navar
|
||||
SC
|
PLC
|
|||
tryb interaktywny
|
7-calowy ekran dotykowy
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved