Główny układ plazmy próżniowej (60) |
||||
Rozmiar urządzenia |
D 950×S 900×W 1650mm |
|||
waga |
350 kg |
|||
Źródło zasilania na zamówienie |
AC380V, 50/60Hz, 5 przewodów, 16A (ogólny typ otwarty powyżej C) |
|||
Specyfikacja generatora plazmowego |
||||
moc |
częstotliwości radiowych |
częstotliwość średnia |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
częstotliwość zasilania |
13,56MHz |
40 K Hz |
||
System próżniowy |
||||
pompa próżniowa |
Dwustopniowa pompa obrotowa (olejowa): 40m3/h |
|||
rura próżniowa |
Cała linia z nierdzewnej stali, w tym przeguby próżniowe o wysokiej wytrzymałości |
|||
jakość materiału |
Stop aluminium (dostosowalna jaskinia z nierdzewnej stali) |
|||
grubość |
25mm |
|||
ciasnotka |
Wojskowe spawanie hermetyczne |
|||
Wewnętrzne wymiary jaskini |
375*375*430mm (szerokość * wysokość * głębokość) |
|||
Skuteczny rozmiar płyty elektrycznej |
247*281mm (szerokość * głębokość) |
|||
Dostępna przestrzeń rozstawu |
22mm |
|||
Układ elektroplastyczny |
Poziomy układ, może być aktywna ekstrakcja |
|||
podkłady |
Standardowy zestaw, materiał opcjonalny (aluminium, stal siatkowa) |
|||
przestrzeń robocza |
6 warstw |
|||
procesowe gazowe |
||||
Zakres przepływu |
0~300SCCM |
|||
Trasa gazu procesowego |
Standardowo z dwoma ścieżkami, można dostosować. Rura przewodząca gaz procesowy wykonana jest z ferroflonu |
|||
navar |
||||
SC |
PLC |
|||
tryb interaktywny |
7-calowy ekran dotykowy |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved