1. Tryb pracy: Robot ładujący automatycznie ładuje wafle z pudełka na wafle AB (nadające się do recyklingu) do wstępnego pozycjonowania
stole warsztatowym, a poprzez regulację kamery pozycjonującej płytkę i system automatycznego obracania, uzyskuje się wstępne pozycjonowanie płytki; Następnie robot ładujący ładuje wstępnie ustawione płytki na stół warsztatowy do wyrównywania. Dzięki komputerowemu rozpoznawaniu obrazu i automatycznej regulacji systemu wyrównywania można osiągnąć automatyczne wyrównanie grafiki na masce i płytkach. Istnieje także możliwość wykonania jednej ekspozycji bez wyrównywania grafiki. Po automatycznym naświetleniu przez system naświetlania, robot rozładowujący automatycznie umieszcza wafle w pudełku po waflach CD (nadających się do recyklingu).
2. Obszar ekspozycji: 160 × 160 mm;
3. Nierównomierne natężenie oświetlenia: ≤ 3%;
4. Intensywność ekspozycji: regulowana w zakresie 0 ~ ≥ 40 mw/cm2 (kąt świecenia 2°);
5. Kąt świecenia UV: ≤ 3°;
6. Środkowa długość fali światła ultrafioletowego: 365 nm;
7. Żywotność źródła światła UV: ≥ 20000 godzin;
8. Zdolność separacji: regulacja 0 ~ ≥ 1000um;
9. Dokładność ustawienia: ≤ ± 1.5 μM;
10. Dokładność ekspozycji: ekspozycja kontaktowa ± 1 μm. Separacja przy bliskiej ekspozycji 20 μM, kąt wiązki 2° ≤ ± 2 μM
11. Metody ekspozycji: kontakt twardy, miękki i kontakt zbliżeniowy;
12. Tryb ekspozycji: Możesz wybrać pomiędzy ekspozycją jednorazową lub ekspozycją offsetową
13. System rozpoznawania obrazu do wstępnego pozycjonowania i automatycznego obrotu (w tym wstępne pozycjonowanie stołu): kąt obrotu Q ≥ ± 180°, dokładność obrotu Q ≤ 0.01°;
14. System rozpoznawania obrazu i automatycznego ustawiania (w tym stół do ustawiania UVW): zakres ustawiania XY ≥ ± 5mm, kąt obrotu Q ≥ ± 3°, a sterowanie dwoma soczewkami mikroskopu odbywa się za pomocą dwóch platform elektrycznych XYZ.
15. Rozmiar maski: 5” × 5” i 7” × 7”;
16. Rozmiar wafla: 4” i 6”;
17. Stanowiska robocze do klisz górnych i dolnych: stanowiska podwójne;
18. Poduszka powietrzna na stopy
19. Załadunek i rozładunek dwuramiennego ramienia robota: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Liczba wafli w pudełku waflowym: ustalana na podstawie liczby wafli w pudełku waflowym Klienta;
21. Podnoszenie stołu pozycjonującego: Z ≥ ± 25mm;
22. Czas ekspozycji: regulowany od 0 do 999.9 sekundy;
23. Rytm produkcji:> 120 sztuk na godzinę;
24. Zasilanie: jednofazowe AC220V 50 Hz, pobór mocy ≤ 3KW;
25. Ciśnienie czystego powietrza: ≥ 0.4 MPa;
26. Stopień próżni: -0.07 MPa ~ -0.09 MPa;
27. Rozmiar: 1400 * 1000 * 2100 mm;
28. Waga: około 400kg