MDHS-AL8 8" W pełni automatyczna jednostronna maszyna do drukowania , China MDHS-AL8 8" W pełni automatyczna jednostronna maszyna do drukowania Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produktu

MDHS-AL8 8" W pełni automatyczna jednostronna maszyna do drukowania

1. Tryb pracy: Roboter ładowania automatycznie ładuje płytki z A-B (odtwarzalnych) pojemników na płytki na preliminaryjne pozycjonowanie

stół roboczy, a poprzez dostosowanie położenia kamery i systemu automatycznego obrotu wafera osiągana jest wstępna lokalizacja wafera; Robot ładowania następnie umieszcza wstępnie zlokalizowane waferki na stole do wyrównania. Dzięki rozpoznawaniu obrazów komputerowych i dostosowaniu systemu automatycznego wyrównywania można osiągnąć automatyczne wyrównanie rysunków na maseczce i waferach. Możliwe jest również wykonanie jednego narażenia bez wyrównywania rysunków. Po automatycznym narażeniu przez system nadnarażenia, robot rozładunkowy automatycznie umieszcza waferki w pudle na waferki C-D (odtwarzalne).
2. Obszar narażenia: 160 × 160mm;
3. Nierównomierność oświetlenia podczas narażenia: ≤ 3%;
4. Intensywność narażenia: 0~≥ 40mw/cm2调节 (kąt promieniowania 2 °);
5. Kąt promieniowania UV: ≤ 3 °;
6. Długość fali światła ultrafioletowego: 365nm;
7. Czas życia źródła światła UV: ≥ 20000 godzin;
8. Pojemność oddzielenia: 0~≥ 1000um regulowalna;
9. Dokładność wyrównywania: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Dokładność ekspozycji: Ekspozycja kontaktowa ± 1 μm. Odległa ekspozycja separacji 20 μm, kąt promieniowania 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Metody ekspozycji: twardy kontakt, miękki kontakt i ekspozycja bezkontaktowa;
12. Tryb ekspozycji: Możesz wybrać między jednorazową ekspozycją a ekspozycją przesuniętą
13. System wstępnej identyfikacji obrazu i automatycznej rotacji (w tym wstępna pult roboczy): kąt obrotu Q ≥ ± 180 °, dokładność obrotu Q ≤ 0,01 °;
14. System rozpoznawania obrazu i automatycznego wyrównywania (w tym pult UVW do wyrównywania): zakres wyrównywania X Y ≥ ± 5mm, kąt obrotu Q ≥ ± 3 ° oraz dwie soczewki mikroskopu są kontrolowane przez dwie platformy elektryczne XYZ.
15. Rozmiar maski: 5 "× 5" i 7" × 7 ";
16. Rozmiar talerza: 4 "i 6";
17. Górne i dolne stacje magazynowe taśm: dwie stacje;
18. Poduszka amortyzująca pod stopami
19. Roboticzny ramie dwuramienny do ładowania i rozładunku: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Liczba płytek w pudle z płytkami: określana na podstawie liczby płytek w pudle klienta;
21. Podnoszenie stołu pozycjonującego: Z ≥ ± 25mm;
22. Czas ekspozycji: dostosowywalny od 0 do 999,9 sekund;
23. Tempo produkcji: >120 sztuk na godzinę;
24. Zasilanie: jednofazowe AC220V 50Hz, zużycie energii ≤ 3KW;
25. Ciśnienie powietrza czystego: ≥ 0,4MPa;
26. Stopień próżni: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Rozmiar: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Waga: około 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Ten sprzęt składa się z głowicy ekspozycyjnej LED ultrafioletowej, systemu rozpoznawania obrazów i automatycznego obrotu, prepozycjonowanego stanowiska roboczego oraz systemów podobnych do rozpoznawania obrazów i automatycznego wyrównywania, stanowisk wyrównujących, robotów załadunkowych, robotów rozładunkowych, półek oraz urządzeń sterowania elektrycznego, dodatkowych akcesoriów itp.

Specyfikacja

1. Głowa ekspozycyjna: Jeden ultrafioletowy moduł ekspozycyjny LED (365nm);
2. Stanowisko rozpoznawania obrazu i wstępnego wyrównania:
1) 1 kamera (1,3 miliona pikseli)
2) Uchwyt pozycjonujący w centrum
3) 1 zestaw obrotowej platformy (z wykorzystaniem silnika serwopędowego)
4) 1 zestaw systemu pozycjonującego
3. System rozpoznawania obrazu i automatycznego wyrównywania:
1) 2 kamery (5 milionów pikseli, wysoka częstotliwość klatek)
2) 2 obiektywy (obiektywa 4x o wysokiej definicji)
3) Jeden komputer przemysłowy
4) Jeden kontroler (sterowany przez PLC)
5) Jeden zestaw platformy wyrównującej (używającej 5-fazowego silnika krokowego)
6) Zestaw systemu sportowego
7) Urządzenie górnego płytki wykorzystuje silnik do podnoszenia i opuszczania
7) Oprogramowanie wykorzystuje najnowszą wersję LabVIEW Professional Edition
4. Mechaniczny ramie ładowania i rozładunku:
1) X Y. Zestaw automatycznego mechanizmu poruszającego się w osi Z
2) Dwuramiowy manipulator roboczy (ramiona do ładowania i rozładunku)
5. Mechanizm fixujący talerze waferowe:
1) AB to stałe pozycjonowanie pudła z filmem do karmienia
2) CD to stałe pozycjonowanie pudła filmu do cięcia
3) G to stałe pozycjonowanie pudła filmu w pozycji NG
6. Stały podstawka kamery:
7. Dwa zestawy mechanizmów regulacji elektrycznej Y.Z (sterowanych przez silniki serwowe)
8. Szynka i konsola sterowania elektrycznego:
1) 1 komputer przemysłowy
2) Jeden zestaw PLC;
3) Jeden zestaw elektromagnesowych zaworów i systemu sterującego
4) Zestaw cyfrowych przyrządów pneumatycznych
5) Jeden zestaw konsoli sterującej
8. Dodatkowe akcesoria:
1) Trachealny: 15 metrów
2) 2 zawory elektromagnetyczne
3) Pompka próżniowa: 1 sztuka
9. Dane techniczne:
1) Jeden podręcznik użytkownika
2) Jeden certyfikat zgodności
10. Dodatkowe
Oprogramowanie urządzenia musi być wyposażone w protokół komunikacyjny SECS, a nabywca udostępnia bibliotekę dynamiczną z funkcją połączenia z systemem MES nabywcy, automatycznie rejestrując numer partii produktu, numer zadania i stan operacji oraz przekazując je. W tym samym czasie ma funkcję identyfikacji kodu QR maski, porównywania go z kodem QR maski w systemie MES i zapobiegania wybraniu błędnej maski.

Pakowanie i Dostawa