Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Strona główna
O Nas
Sprzęt M.H
Rozwiązanie
Użytkownicy zagraniczni
Wideo
Skontaktuj Się z Nami
Strona główna> Wyrównywarka maski
  • Automatyczna maszyna do powlekania i wywoływania MDLB-ASD2C2D
  • Automatyczna maszyna do powlekania i wywoływania MDLB-ASD2C2D

Automatyczna maszyna do powlekania i wywoływania MDLB-ASD2C2D Polska

opis produktu

Automatyczna maszyna do powlekania i wywoływania MDLB-ASD2C2D

W urządzeniu zastosowano ramę ze stali nierdzewnej, a wewnętrzną i zewnętrzną blachę stanowią panele lustrzane ze stali nierdzewnej. Spód urządzenia wyposażony jest w uniwersalne kółka z możliwością regulacji w poziomie. Na górze znajduje się 3-kolorowa wieża sygnalizacyjna z brzęczykiem. Górna część urządzenia to system sterowania i FFU, środkowa część to jednostka procesowa, a dolna część to system rurociągów chemicznych. Wszystkie części mające bezpośredni kontakt z chemikaliami wykonane są z materiałów odpornych na korozję, takich jak SUS304, PP, PTFE itp. Rurociągi pneumatyczne wykonujemy z rur PU, a rurociągi chemiczne z odpornych na korozję rur PFA. Interfejs obsługi urządzenia to 17-calowy ekran dotykowy, na którym można realizować takie funkcje, jak obsługa urządzenia, ustawianie formuł i przeglądanie dzienników. Jednostka SPIN oraz pozostałe komory procesowe wyposażone są w.
Żółte światło ułatwia konserwację sprzętu. Wygląd sprzętu pokazano na rysunku 1.1.1, a układ sprzętu pokazano na rysunku 1.1.2.
Dostawca automatycznej maszyny do powlekania i wywoływania MDLB-ASD2C2D
Szczegóły dotyczące automatycznej maszyny do powlekania i wywoływania MDLB-ASD2C2D
Specyfikacja
projekt
Dane Techniczne
Uwagi


1


Przegląd urządzeń
Nazwa sprzętu: W pełni automatyczna, jednolita maszyna do wywoływania kleju
Model wyposażenia: MD-2C2D6
Specyfikacje płytek do przetwarzania: kompatybilne ze standardowymi płytkami 4/6 cala
Przebieg procesu jednolitego kleju: Krojenie kosza z kwiatami → centrowanie → jednolity klej (kapiący → jednolity klej → usuwanie krawędzi, tył
mycie) → płyta grzejna → płyta zimna → umieszczenie kosza
Przebieg procesu opracowywania: Krojenie kosza z kwiatami → centrowanie → wywoływanie (roztwór wywołujący → woda dejonizowana, płukanie wsteczne →
suszenie azotem) → płyta grzejna → płyta zimna → umieszczenie kosza
Całkowity rozmiar (w przybliżeniu): 2100 mm (szer.) * 1800 mm (gł.) * 2100 mm (wys.)
Rozmiar szafki chemicznej (w przybliżeniu): 1700 (szer.) * 800 (gł.) * 1600 mm (wys.)
Waga całkowita (w przybliżeniu): 1000 kg
Wysokość stołu warsztatowego: 1020 ± 50 mm


2
Jednostka kasetowa
Ilość: 2
Kompatybilny rozmiar: 4/6 cala
Wykrywanie kasety: wykrywanie mikroprzełącznika
Wykrywanie wysunięcia: Tak, czujnik odblaskowy


3


robot
Ilość: 1
Typ: Dwuramienny robot adsorpcyjny próżniowy
Stopień swobody: 4-osiowy (R1, R2, Z, T)
Materiał palców: ceramiczny
Metoda utrwalania podłoża: metoda adsorpcji próżniowej
Funkcja mapowania: Tak
Dokładność pozycjonowania: ± 0.1 mm


4
Jednostka centrująca
Ilość: zestaw 1
Opcjonalne ustawienie optyczne
Metoda wyrównania: wyrównanie mechaniczne
Dokładność centrowania: ± 0.2 mm


5


Jednolita jednostka klejąca
Ilość: 2 zestawy (poniżej przedstawiono konfiguracje dla każdej jednostki)
Prędkość obrotowa wrzeciona: -5000 obr./min ~ 5000 obr./min
niosąc koło napinające
Dokładność obrotu wrzeciona: ± 1 obr./min (50 obr./min ~ 5000 obr./min)
Minimalna regulacja prędkości obrotowej wrzeciona: 1 obr./min
Maksymalne przyspieszenie obrotów wrzeciona: 20000 obr/min/s
niosąc koło napinające
Ramię ociekowe: 1 zestaw
Trasa tuby fotomaski: 2 trasy
Średnica dyszy fotorezystu: 2.5 mm
Izolacja fotorezystu: 23 ± 0.5 ℃
fakultatywny
Dysza nawilżająca: Tak
RRC: Tak
Bufor: Tak, 200ml
Metoda upuszczania kleju: upuszczanie centralne i upuszczanie skanowania są opcjonalne
Ramię do usuwania krawędzi: 1 zestaw
Średnica dyszy do usuwania krawędzi: 0.2 mm
Monitorowanie przepływu cieczy podczas usuwania krawędzi: przepływomierz pływakowy
Zakres przepływu płynu do usuwania krawędzi: 5-50ml/min
Rurociąg płukania wstecznego: 2 sposoby (4/6 cala każdy z 1 kanałem)
Monitorowanie przepływu płukania wstecznego: przepływomierz pływakowy
Zakres przepływu płynu do płukania wstecznego: 20-200ml/min
Metoda mocowania wiórów: uchwyt adsorpcyjny próżniowy o małej powierzchni
Alarm ciśnienia podciśnienia: cyfrowy czujnik ciśnienia podciśnienia
Materiał uchwytu: PPS
Materiał miseczki: PP
Monitorowanie wydechu kubka: cyfrowy czujnik ciśnienia


6


Jednostka rozwijająca się
Migawka: tak
Ilość: 2 zestawy (poniżej przedstawiono konfiguracje dla każdej jednostki)
Prędkość obrotowa wrzeciona: -5000 obr./min ~ 5000 obr./min
niosąc koło napinające
Dokładność obrotu wrzeciona: ± 1 obr./min (50 obr./min ~ 5000 obr./min)
Minimalna regulacja prędkości obrotowej wrzeciona: 1 obr./min
Maksymalne przyspieszenie obrotów wrzeciona: 20000 obr/min/s
niosąc koło napinające
Ramię rozwijające: 1 zestaw
Rurociąg rozwijający: 2-drogowy (dysza wachlarzowa/kolumnowa)
Filtracja wywoływacza: 0.2um
Kontrola temperatury wywoływacza: 23 ± 0.5 ℃
fakultatywny
Zakres przepływu roztworu rozwijającego: 100 ~ 1000 ml/min
Tryb ruchu ramienia wywołującego: punkt stały lub skanowanie
Ramię utrwalające: 1 zestaw
Rurociąg wody dejonizowanej: 1 obwód
Średnica dyszy wody dejonizowanej: 4mm (średnica wewnętrzna)
Zakres przepływu wody dejonizowanej: 100 ~ 1000 ml/min
Rurociąg do suszenia azotu: 1 obwód
Średnica dyszy azotowej: 4mm (średnica wewnętrzna)
Zakres przepływu azotu: 5-50L/min
Deweloper, woda dejonizowana, monitorowanie przepływu azotu: przepływomierz pływakowy
Rurociąg płukania wstecznego: 2 sposoby (4/6 cala każdy z 1 kanałem)
Monitorowanie przepływu płukania wstecznego: przepływomierz pływakowy
Zakres przepływu płynu do płukania wstecznego: 20-200ml/min
Metoda mocowania wiórów: uchwyt adsorpcyjny próżniowy o małej powierzchni
Alarm ciśnienia podciśnienia: cyfrowy czujnik ciśnienia podciśnienia
Materiał uchwytu: PPS
Materiał uchwytu: PPS
Materiał miseczki: PP
Monitorowanie wydechu kubka: cyfrowy czujnik ciśnienia


7


Jednostka klejąca
Ilość: 2
fakultatywny
Zakres temperatur: temperatura pokojowa ~ 180 ℃
Jednolitość temperatury: Temperatura pokojowa ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃
(Usuń 10 mm od krawędzi, z wyjątkiem otworu na kołek wypychacza)
Minimalna wielkość regulacji: 0.1°C
Metoda kontroli temperatury: regulacja PID
Zakres wysokości PINu: 0-20mm
Materiał PINu: korpus SUS304, zaślepka PIN PI
Szczelina pieczenia: 0.2 mm
Alarm przekroczenia temperatury: alarm odchylenia dodatniego i ujemnego
Metoda podawania: Bulgotanie, 10 ± 2 ml/min
Podciśnienie pracy komory: -5-20KPa


8


Jednostka gorącej płyty
Ilość: 10
Zakres temperatur: temperatura pokojowa ~ 250 ℃
Jednolitość temperatury: Temperatura pokojowa ~ 120 ℃ ± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ 180.1 ℃ ~ 250 ℃ ± 2.0 ℃
(Usuń 10 mm od krawędzi, z wyjątkiem otworu na kołek wypychacza)
Minimalna wielkość regulacji: 0.1 ℃
Metoda kontroli temperatury: regulacja PID
Zakres wysokości PINu: 0-20mm
Materiał PINu: korpus SUS304, zaślepka PIN PI
Szczelina pieczenia: 0.2 mm
Alarm przekroczenia temperatury: alarm odchylenia dodatniego i ujemnego


9
Jednostka zimnej płyty
Ilość: 2
Zakres temperatur: 15-25 ℃
Metoda chłodzenia: chłodzenie pompą obiegową o stałej temperaturze


10


Zaopatrzenie chemiczne
Magazyn fotomaski: pneumatyczna pompa kleju * 4 zestawy (opcjonalny zbiornik lub elektryczna pompa kleju)
Objętość dozowania kleju: maksymalnie 12 ml na sesję, dokładność ± 0.2 ml
Usuwanie krawędzi/płukanie pleców/zaopatrzenie RRC: Zbiornik ciśnieniowy 18 l * 2 (automatyczne uzupełnianie)
Usuwanie krawędzi/płukanie wsteczne/monitorowanie poziomu cieczy RRC: czujnik fotoelektryczny
Monitorowanie poziomu cieczy fotomaski: czujnik fotoelektryczny
Wypływ jednolitego płynu odpadowego kleju: Zbiornik płynu odpadowego o pojemności 10 litrów
Zasilanie dewelopera: zbiornik ciśnieniowy 18 l * 4 (przechowywany w szafce chemicznej na zewnątrz maszyny)
Zasilanie wodą dejonizowaną: bezpośrednie zasilanie fabryki
Opracowanie monitorowania poziomu cieczy: czujnik fotoelektryczny
Zrzut odpadów deweloperskich: zrzut odpadów fabrycznych
Dostawa lepiszcza: zbiornik ciśnieniowy 10L * 1, zbiornik ciśnieniowy 2L * 1
Monitorowanie poziomu lepiszcza: czujnik fotoelektryczny


11


System sterowania
Metoda sterowania: PLC
Interfejs obsługi człowieka i maszyny: 17-calowy ekran dotykowy
Zasilacz bezprzerwowy (UPS): Tak
Ustaw uprawnienia szyfrowania dla operatorów urządzeń, techników i administratorów
Typ wieży sygnalizacyjnej: czerwony, żółty, zielony 3 kolory


12
Wskaźniki niezawodności systemu
Czas sprawności: ≥95%
MTBF: ≥ 500h
MTTR: ​​≤ 4h
MTBA: ≥24h
Współczynnik fragmentacji: ≤ 1/10000


13
Inne funkcje
Żółte światło: 4 zestawy (pozycja: nad modułem mieszania i wywoływania kleju)
THC: Tak, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
fakultatywny
FFU: klasa 100, 5 zestawów (jednostka procesowa i obszar ROBOT)
Pakowanie i dostawa
MDLB-ASD2C2D Automatyczna maszyna do powlekania i wywoływania
MDLB-ASD2C2D Automatyczna maszyna do powlekania i wywoływania
Profil firmy
Mamy 16 lat doświadczenia w sprzedaży sprzętu. Możemy zapewnić Ci kompleksowe rozwiązania w zakresie urządzeń półprzewodnikowych z zakresu front-end i back-end, profesjonalne rozwiązania z Chin.

Zapytanie ofertowe

Zapytanie ofertowe E-mail WhatsApp WeChat
Topy
×

Skontaktuj się z nami