Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Strona główna
O Nas
MH Equipment
Rozwiązanie
Użytkownicy za Granicą
Wideo
Skontaktuj się z nami
Strona główna> Mask Aligner
  • MDLB-ASD2C2D Automatyczna maszyna do nakładania warstw i rozwijania
  • MDLB-ASD2C2D Automatyczna maszyna do nakładania warstw i rozwijania

MDLB-ASD2C2D Automatyczna maszyna do nakładania warstw i rozwijania

Opis produktu

MDLB-ASD2C2D Automatyczna maszyna do nakładania warstw i rozwijania

Urządzenie posiada ramę z nierdzewnej stali, a blachy wewnętrzne i zewnętrzne są wykonane z lustrzanych paneli z nierdzewnej stali. Na dole urządzenia zamontowano koła obrotowe z funkcją poziomej regulacji. Na górze znajduje się wieża sygnałowa o 3 kolorach z dzwoneczkiem. Górna część urządzenia to system sterowania i FFU, środkowa część to jednostka procesowa, a dolna część to system rurociągów chemicznych. Wszystkie części bezpośrednio stykające się z chemikaliami są wykonane z materiałów odpornych na korozyję, takich jak SUS304, PP, PTFE itp. Rurociągi pneumatyczne są wykonane z przewodów PU, a rurociągi chemiczne z odpornych na korozyję przewodów PFA. Interfejs operacyjny człowieko-maszyna urządzenia to ekran dotykowy o rozmiarze 17 cali, który umożliwia wykonywanie funkcji takich jak obsługa urządzenia, ustawianie formuł i przeglądanie dzienników. Jednostka SPIN oraz inne komory procesowe są wyposażone.
Żółte światło dla łatwego konserwowania sprzętu. Wygląd urządzenia przedstawiony jest na rysunku 1.1.1, a układ urządzenia na rysunku 1.1.2.
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine supplier
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine details
Specyfikacja
projekt
Specyfikacje
uwagi


1


Opis Urządzenia
Nazwa urządzenia: Pełnie automatyczna jednolita maszyna do rozwijania kleju
Model urządzenia: MD-2C2D6
Specyfikacje przetwarzanych krążków: zgodne ze standardowymi krążkami o średnicy 4/6 cali
Przepływ procesu jednolitego nakładania kleju: Przekrojowanie koszyka → centracja → jednolite nakładanie kleju (kroplowanie → jednolite nakładanie kleju → usunięcie krawędziowego, tylnego
mycia) → płyta grzewcza → płyta chłodząca → umieszczanie w koszyku
Przepływ procesu rozwijania: Przekrojowanie koszyka → centracja → rozwijanie (roztwór rozwijający → woda deionizowana, tylnie mycie →
suszenie azotem) → płyta grzewcza → płyta chłodząca → umieszczanie w koszyku
Całkowity rozmiar (okoli): 2100mm (S) * 1800mm (G) * 2100mm (W)
Rozmiar szafki chemicznej (okoli): 1700(S) * 800(G) * 1600mm (W)
Całkowita waga (około): 1000kg
Wysokość stanowiska roboczego: 1020 ± 50mm


2
Jednostka kasetowa
Ilość: 2
Zgodny rozmiar: 4/6 cali
Wykrywanie kaset: wykrywanie mikroprzełącznikiem
Wykrywanie wysuwnia: Tak, czujnik refleksyjny


3


robot
Ilość: 1
Typ: Robot o podwójnym ramieniu z wentylacyjnym adsorpcją
Stopień swobody: 4-osiowy (R1, R2, Z, T)
Materiał palców: ceramika
Metoda fixacji podłoża: metoda adsorpcji próżniowej
Funkcja mapowania: Tak
Dokładność pozycjonowania: ± 0,1mm


4
Jednostka centrująca
Ilość: 1 zestaw
Opcjonalne dopasowanie optyczne
Metoda dopasowania: mechaniczne dopasowanie
Dokładność centracji: ± 0,2mm


5


Jednostka jednolitego naklejania
Ilość: 2 zestawy (poniżej znajdują się konfiguracje dla każdej jednostki)
Prędkość obrotowa wiorka: -5000obr/min~5000obr/min
nóżka transportująca
Dokładność obrotu wału: ± 1obr/min (50obr/min~5000obr/min)
Minimalna regulacja prędkości obrotowej wału: 1obr/min
Maksymalne przyspieszenie obrotowe wału: 20000obr/min/s
nóżka transportująca
Ramię do kropli: 1 zestaw
Trasa rurociągu fotograficznego: 2 trasy
Średnica dysz fotograficznych: 2,5mm
Izolacja fotograficzna: 23 ± 0,5 ℃
opcjonalnie
Dysza nawilżająca: Tak
RRC: Tak
Bufor: Tak, 200ml
Metoda naklejania kleju: opcjonalne są naklejanie w centrum i skanujące naklejanie
Ramię usuwania krawędzi: 1 zestaw
Średnica dyszusu usuwania krawędzi: 0,2mm
Monitorowanie przepływu cieczy do usuwania krawędzi: zmiennoprzecinkowy licznik przepływu
Zakres przepływu cieczy do usuwania krawędzi: 5-50ml/min
Rura spłukiwania: 2 sposoby (każdy 4/6 cala z 1 kanałem)
Monitorowanie przepływu spłukiwania: zmiennoprzecinkowy licznik przepływu
Zakres przepływu cieczy do spłukiwania: 20-200ml/min
Metoda fixacji płytek: mała powierzchniowa adsorpcja próżniowa Chuck
Alarm ciśnienia próżniowego: cyfrowy czujnik ciśnienia próżniowego
Materiał obuwnicy: PPS
Materiał kubka: PP
Monitorowanie wentylacji kubka: cyfrowy czujnik ciśnienia


6


Jednostka deweloperska
Witraż: tak
Ilość: 2 zestawy (poniżej znajdują się konfiguracje dla każdej jednostki)
Prędkość obrotowa wiorka: -5000obr/min~5000obr/min
nóżka transportująca
Dokładność obrotu wału: ± 1obr/min (50obr/min~5000obr/min)
Minimalna regulacja prędkości obrotowej wału: 1obr/min
Maksymalne przyspieszenie obrotowe wału: 20000obr/min/s
nóżka transportująca
Ramię deweloperskie: 1 zestaw
Rura deweloperska: 2-kierunkowa (pompa ksztaltu wachlarzowego/kolumnowego)
Filtracja deweloperu: 0,2um
Kontrola temperatury deweloperu: 23 ± 0,5 ℃
opcjonalnie
Zakres przepływu roztworu dozownikowego: 100~1000ml/min
Tryb ruchu ramienia dozującego: punkt stały lub skanujący
Ramię dozujące: 1 zestaw
Linia wody jonowej: 1 obwód
Średnica dysku wody jonowej: 4mm (średnica wewnętrzna)
Zakres przepływu wody jonowej: 100~1000ml/min
Linia suszenia azotem: 1 obwód
Średnica dysku azotowego: 4mm (średnica wewnętrzna)
Zakres przepływu azotu: 5-50L/min
Monitorowanie przepływu roztworu dozowniczego, wody jonowej i azotu: zmiennoprzecinkowy licznik przepływu
Rura spłukiwania: 2 sposoby (każdy 4/6 cala z 1 kanałem)
Monitorowanie przepływu spłukiwania: zmiennoprzecinkowy licznik przepływu
Zakres przepływu cieczy do spłukiwania: 20-200ml/min
Metoda fixacji płytek: mała powierzchniowa adsorpcja próżniowa Chuck
Alarm ciśnienia próżniowego: cyfrowy czujnik ciśnienia próżniowego
Materiał obuwnicy: PPS
Materiał obuwnicy: PPS
Materiał kubka: PP
Monitorowanie wentylacji kubka: cyfrowy czujnik ciśnienia


7


Jednostka lepienia
Ilość: 2
opcjonalnie
Zakres temperatury: temperatura pokojowa~180 ℃
Jednorodność temperatury: Temperatura pokojowa~120 ℃± 0,75 ℃
120,1℃~ 180℃ ± 1,5℃
(Usunąć 10mm od krawędzi, z wyjątkiem otworu dla pinu wyproszonego)
Minimalna ilość dostosowania: 0,1 ° C
Metoda kontroli temperatury: regulacja PID
Zakres wysokości PIN: 0-20mm
Materiał PIN: korpus SUS304, nakładka pin PI
Przerwa pieczenia: 0,2mm
Alarm przegrzania: alarm odchylenia dodatniego i ujemnego
Metoda podawania: Nawiewanie, 10 ± 2ml/min
Próżnia w komorze: -5-20KPa


8


Jednostka płyty grzejnej
Ilość: 10
Zakres temperatury: temperatura pokojowa~250 ℃
Jednorodność temperatury: Temperatura pokojowa~120 ℃± 0,75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃
(Usunąć 10mm od krawędzi, z wyjątkiem otworu dla pinu wyproszonego)
Minimalna ilość dostosowania: 0.1 ℃
Metoda kontroli temperatury: regulacja PID
Zakres wysokości PIN: 0-20mm
Materiał PIN: korpus SUS304, nakładka pin PI
Przerwa pieczenia: 0,2mm
Alarm przegrzania: alarm odchylenia dodatniego i ujemnego


9
Jednostka płyty chłodzącej
Ilość: 2
Zakres temperatury: 15-25 ℃
Metoda chłodzenia: chłodzenie za pomocą stało temperaturowego obwodu pompowego


10


Dostawa chemikaliów
Magazynowanie photoresistu: pneumatyczna pompa klejowa * 4 zestawy (opcjonalny zbiornik lub elektryczna pompa klejowa)
Objętość wyciskania kleju: maksymalnie 12ml na sesję, dokładność ± 0.2ml
Usunięcie krawędzi/ mycie tylna/ podawanie RRC: naciskowy zbiornik 18L * 2 (automatyczne uzupełnianie)
Monitorowanie poziomu cieczy przy usuwaniu krawędzi/ myciu tylnym/ RRC: czujnik fotoelektryczny
Monitorowanie poziomu cieczy photoresistu: czujnik fotoelektryczny
Odpływ odpadkowej cieczy adhezyjnej: zbiornik odpadów 10L
Podawanie rozwinięcia: naciskowy zbiornik 18L * 4 (przechowywany w szafce chemicznej na zewnątrz maszyny)
Podawanie wody deionizowanej: bezpośredni dopływ z fabryki
Rozwój monitorowania poziomu cieczy: czujnik fotoelektryczny
Odpływ rozwoju: odpływ przemysłowy
Dostawa lepkiego środka: naciskowy zbiornik 10L * 1, naciskowy zbiornik 2L * 1
Monitorowanie poziomu lepkiego środka: czujnik fotoelektryczny


11


system sterowania
Metoda sterowania: PLC
Interfejs operacyjny człowiek-maszyna: ekran dotykowy 17 cali
Niezawodne Źródło Zasilania (UPS): Tak
Ustaw uprawnienia szyfrowania dla operatorów urządzenia, techników, administratorów
Typ wieży sygnałowej: czerwony, żółty, zielony 3 kolory


12
Wskaźniki niezawodności systemu
Czas działania: ≥95%
MTBF: ≥ 500h
MTTR: ≤ 4h
MTBA: ≥24h
Wskaźnik fragmentacji: ≤ 1/10000


13
Inne funkcje
Żółte światło: 4 zbiory (położenie: nad jednostką mieszania kleju i rozwoju)
THC: Tak, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
opcjonalnie
FFU: Klasa 100, 5 zestawów (jednostka procesowa i obszar ROBOTA)
Pakowanie i Dostawa
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine manufacture
MDLB-ASD2C2D Automatic Coating and Developing Machine manufacture
Profil Firmy
Mamy 16-letnie doświadczenie w sprzedaży urządzeń. Możemy zapewnić Ci kompleksowe rozwiązania w zakresie profesjonalnych linii pakowania półprzewodników z Chin, zarówno dla etapu początkowego, jak i końcowego.

Zapytanie

Zapytanie Email Whatsapp WeChat
Top
×

Skontaktuj się z nami