MDXN-25D Mask Aligner , China MDXN-25D Mask Aligner Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produktu

To urządzenie to precyzyjna maszyna do litografii opracowana przez naszą firmę specjalnie dla charakterystycznych zastosowań maszyn do litografii w różnych uczelniach i instytucjach badawczych. Jest主要用于 do opracowania i produkcji małych i średnich układów scalonych, komponentów półprzewodnikowych, urządzeń optyczno-elektronicznych oraz urządzeń fal powierzchniowych.
Na podstawie utrzymania pierwotnych głównych wskaźników technicznych urządzenia dokonaliśmy optymalizacji niektórych konstrukcji i elementów urządzenia, zmniejszyliśmy niektóre niepotrzebne działania mechaniczne oraz zapewniliśmy, że punkty awarii urządzenia są minimalizowane w jak największym stopniu, a działanie urządzenia jest również bardzo stabilne i niezawodne.

Specyfikacja

Główne parametry techniczne

1. Typ ekspozycji: jednostronna.
2. Obszar ekspozycji: 110×110mm.
3. Niejednorodność oświetlenia ekspozycji: ≤±3%.
4. Intensywność ekspozycji: 0-30mw/cm2调节elna.
5. Kąt promieniowania UV: ≤3°.
6. Centralna długość fali światła ultrafioletowego: 365nm.
7. Czas życia źródła światła UV: ≥500 godzin.
8. Użycie elektronicznego zwrotu migawki.
9. Rozdzielczość ekspozycji: 1 μm;
10.Zakres skanowania mikroskopowego: X: ±15mm Y: ±15mm;
11.Zakres wyrównania: korekta X,Y ±4mm; korekta w kierunku Q ±3°;
12.Dokładność wygrawerowania: 1 μ Dokładność "wersji" i "czipy" użytkownika musi być zgodna z przepisami państwowymi,
a środowisko, temperatura, wilgotność oraz pył mogą być ściśle kontrolowane. Używany jest zaimportowany fotorezystywny materiał dodatni, a grubość jednolitego fotorezystu może być ściśle kontrolowana. Ponadto, procesy przed i po są zaawansowane;
13.Ilość odseparowania;调节 od 0~50 μm;
14.Metoda ekspozycji: bliska ekspozycja, która umożliwia twardy kontakt, miękkie kontaktowanie i ekspozycję przy minimalnym wysiłku; 15.Formuła znajdowania kwadratu: powietrze

Pakowanie i Dostawa

Profil Firmy

Mamy 16-letnie doświadczenie w sprzedaży urządzeń. Możemy zapewnić Ci kompleksowe rozwiązania w zakresie profesjonalnych linii pakowania półprzewodników z Chin, zarówno dla etapu początkowego, jak i końcowego.