1. Rodzaj narażenia: jednostronne narażenie
2. Obszar narażenia: 110X110mm;
3. Jednolitość narażenia: ≥ 97%;
4. Intensywność narażenia: 0-30mw/cm2调节;
5. Kąt promieniowania UV: ≤ 3 °
6. Centralna długość fali światła ultrafioletowego: 365nm;
7. Czas użytkowania źródła światła UV: ≥ 20000 godzin;(gwarancja 2 lata)
8. Użycie elektronicznego zwrotu migawki;
9. Rozdzielczość narażenia: 1 μ M
10.Zakres widzenia kamery: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Zakres wyrównania: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Dokładność wyrównania: 1um (w dobrych warunkach środowiskowych).
13. Zakres odległości rozdziału: 0-50um.adjustable.
14. Metoda ekspozycji: ekspozycja kontaktowa. (twardy/miękkimikrodotknięcie)
15. Metoda równowagi: Płynna podpora powietrzna.
16. System mikroskopowy: system CCD z dwoma polami widzenia, obiektyw 1.6X~10X, system przetwarzania obrazów komputerowych, monitor LCD 19 "; Całkowite powiększenie 91-570x. Odległość obiektywu: 50-120mm.
17. Rozmiar maski: 127*127mm;102*102mm
18. Rozmiar podłoża: Φ102mm;Φ76mm
19. Grubość podłoża: ≤1mm
20. Czas ekspozycji: 0-999.9 sekund regulowalnych.
21.Moc: 220V 50Hz 1.5kw.
22.czy źródło powietrza? 0,4Mpa
23.Stopień próżni: -0,07MPa~-0,09Mpa