Sprzęt ten jest używany głównie do opracowywania i produkcji małych i średnich układów scalonych, elementów półprzewodnikowych oraz urządzeń do powierzchniowych fal akustycznych. Dzięki zaawansowanemu mechanizmowi poziomującemu i małej sile poziomującej maszyna ta nadaje się nie tylko do naświetlania różnego rodzaju podłoży, ale także do naświetlania łatwo rozdrobnionych podłoży takich jak arsenek potasu i stal fosforanowa, a także do naświetlania nie podłoża okrągłe i małe.