1. Urządzenie może przysysać próżniowo maskę o wymiarach 5 "X5" kwadratowych, bez specjalnych wymagań co do grubości płyty (zakres od 1 do 3 mm).
2. Urządzenie może być stosowane do podłoża kołowego o średnicy ф 100 mm;
3. Grubość podłoża ≤ 5 mm;
4. Oświetlenie:
Źródło światła: Używana jest lampa rtęciowa GCQ350Z z ultra-wysokim ciśnieniem rtęciowym zasilaną prądem stałym.
Zakres oświetlenia: ≤ ф 117 mm, Obszar ekspozycji: ф 100 mm
w zakresie ф 100 mm nierównomierność ekspozycji ≤ ± 3%, a intensywność ekspozycji >6mw/cm2 (ten wskaźnik mierzony jest za pomocą źródła światła UV linii I 365nm).
5. To urządzenie używa zaimportowanego relaju czasowego do sterowania pneumatycznymi żaluzjami, zapewniając dokładne i niezawodne działanie.
6. Ten sprzęt to maszyna kontaktowej ekspozycji, która może osiągnąć:
7. Twardy kontaktowy proces ekspozycji: Wykorzystanie próżni w rurociągach pozwala uzyskać wysoki stopień próżni, próżnia ≤ -0,05MPa
8. Delikatne narażenie na kontakt: Ciśnienie kontaktowe może podnieść próżnię do wartości między -0,02MPa a -0,05MPa.
9. Mikrokontaktowe narażenie: Mniejsze niż delikatne narażenie, próżnia ≥ -0,02MPa.
10. Rozdzielczość narażenia: Rozdzielczość narażenia w trybie twardego kontaktu tego urządzenia może osiągnąć ponad 1 μm (dokładność "płyty" i "czipy" użytkownika musi być zgodna z przepisami państwowymi, a środowisko, temperatura, wilgotność i pył mogą być ściśle kontrolowane. Używany jest zaimportowany dodatni fotorezyst, a grubość jednolitego fotorezystu może być ściśle kontrolowana. Ponadto, procesy przed i po są zaawansowane).
11. Wyrównywanie: System obserwacyjny składa się z dwóch kamer CCD zamontowanych na dwóch mikroskopach o pojedynczych rurkach i połączonych z ekranem wyświetlania przez kabel wideo.