1. Energia potrzebna dla urządzenia: Zasilanie główne: 220V, 50HZ, zużycie energii ≤1.5KW;
2. Wyposażony w wentylator próżniowy o zasilaniu 220V;
3. Wymiary i waga: Wymiary: 1200(długość)×720(szerokość)×1500(wysokość). Waga ≤170kg;
4. Umieść korpus maszyny na dedykowanym stanowisku roboczym;
5. Typ ekspozycji: kontaktowy, dopasowanie płyty, dwustronna ekspozycja;
6. Obszar ekspozycji: φ100mm;
7. Nierównomierność ekspozycji: ≤±3%;
8. Intensywność ekspozycji: ≥5mw/cm2;
9.Wydzielczość ekspozycji: 2μm;
10.Tryb ekspozycji: Dwustronna jednoczesna ekspozycja;
11.Zakres wyrównania: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Dokładność wykonywania: 2μm;
13.Zakres obrotu: Dostosowanie obrotu w kierunku Q ≤±5°;
14.Mikroskopowy system: system CCD z podwójnym polem widzenia, obiektyw 1.6X~10X, system przetwarzania obrazu komputerowego, monitor LCD 19";
15.Rozmiar maski: Możliwość próżniowej absorpcji